JJF1092-2002光切显微镜校准规范.pdf

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1、中华人民共和国国家计量技术规范JJF1092-2002光切显微镜校准规范CalibrationSpecificationforLight一SectionMicroscopes2002一11一04发布2003一05一04实施国家质量监督检验检疫总局发布JJF1092-2002产小.光切显微镜校准规范.。广J‘-勺心JJF1092-2002。.令今。.。代替JJG76-1980心CalibrationSpecificationfor..洲飞少Light一SectionMicroscopes本校准规范经国家质量监督检验检疫总局于2002

2、年11月04日批准，并自2003年05月04日起施行。归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位:广西计量测试研究所陕西省计量测试研究所上海光学仪器研究所本规范委托归口单位负责解释JJF1092-2002本规范主要起草人:全贻智(广西计量测试研究所)张磊(陕西省计量测试研究所)张兴德(上海光学仪器研究所)JJF1092-2002目录范围2引用文献3概述4计量特性················································································

3、···⋯⋯(1)(l)4.1测微目镜视场及示值误差(2)4.2狭缝像两边缘的直线度和平行度(z)4.3工作台纵横向导轨移动平面对工作台表面的平行度(z)4.4狭缝像在垂直方向的弯曲度(z)4.5托架受20N侧向力时引起物方像的位移(2)4.6仪器示值误差(3)5校准条件······················································································一(s)5.1环境条件··········⋯⋯(s)5.2测量标准器及其他设备(3)6校准项目

4、和校准方法(3)6.1测微目镜视场及示值误差(’)6.2狭缝像两边缘的直线度和平行度(4)6.3工作台纵横向导轨移动平面对工作台表面的平行度(4)6.4狭缝像在垂直方向上的弯曲度(4)6.5托架受20N侧向力时引起物方像的位移(’)6.6仪器示值误差(6)7校准结果的表达(6)9复校时间间隔(v)附录A仪器示值误差校准结果的测量不确定度评定(9)附录B校准证书内容···································一.LTF1092-2002光切显微镜校准规范范围本规范适用于光切显微镜的校准。2引用文献本规范引用

5、下列文献:JJF1001-1998通用计量术语及定义JJF1059-1999测量不确定度评定与表示GB/T1031-1995表面粗糙度参数及其数值使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3概述光切显微镜外形结构如图1所示，它以光切法测量原理(图2)测量表面粗糙度的轮廓峰高和谷深，其测量范围(1.0一80)femo摄影装置照明灯旋手横臂微调手轮手轮众柱基座4计t特性4.1测微目镜视场及示值误差测微目镜鼓轮指示零位时，测微目镜分划板的毫米刻线应套在双刻线指标内。在仪器视场中，狭缝像与被测物的像应能同时调节清晰，并处于视场中

6、央，其清晰IJJF1092-2002褚Pz,图2h一工作表面微观不平度深度;S,又‘光带照明在工件表面的峰谷点;S',,S,:一成像在分划板上的S,,S:点;。一光带投射工件表面的夹角;尸一在目镜视场中经放大了的工件表面峰谷深度度范围不应小于60%视场直径范围;在目镜视场中观察线纹尺的像应平行而对称，不应有明显偏斜或扇形。测微目镜鼓轮在任意一周内的示值误差不超过0.005mm，在全量程内示值误差不超过O.Olmmo4.2狭缝像两边缘的直线度和平行度狭缝像边缘应平直，不应有目力可见的弯曲和缺口。狭缝像两边缘的平行度在目镜视场中不超过

7、0.03mmo4.3工作台纵横向导轨移动平面对工作台表面的平行度4.3.1平面工作台工作表面，在工作台整个工作行程中任意3mm内的平行度不超过0.002mma4.3.2V形块的V形槽工作表面，在工作台整个工作行程内的平行度不超过0.005mmo4.4狭缝像在垂直方向的弯曲度在使用60x物镜时，不超过0.007mm，在使用30x物镜时，不超过O.Ollmmo4.5托架受20N侧向力时引起物方像的位移托架受20N侧向力时引起物方像的位移不超过0.05mm。当外力去除后，物方像不返回原位的位移不超过0.03mmo4.6仪器示值误差使用不

8、同放大倍数物镜时，仪器允许的相对示值误差列于表1oJJF1092-2002裹1仪器相对示值误差校准用单刻线样板刻线深度物镜放大倍数相对示值误差/%或阶梯量块阶梯尺寸h/jam7x40-60士514x8、20士1030x2~7t1860x0.8~1.