资源描述：
《光栅光谱仪误差分析 光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、光栅光谱仪误差分析光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究15光栅光谱仪误差分析光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究15光栅光谱仪误差分析光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究15光栅光谱仪误差分析光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究15光栅光谱仪误差分析光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究15光栅光谱仪误差分析光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究15光栅光谱仪误差分析光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究15第28卷 第1期2006年2月 光 学 仪 器OPTICALINSTRU
2、MENTSVol.28,No.1February,2006文章编号:100525630(2006)0120074206光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究尹邦胜,曾立波,雷俊锋,杨 琨(武汉大学光谱与成像仪器工程中心,湖北武汉430072)Ξ 摘要:采用了双光束干涉的迈克尔逊干涉仪系统的傅里叶变换红外光谱仪,在动镜运动过程中,动镜可能在三个方向发生倾斜。通过建立干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜误差进行了系统分析。在误差分析的基础上,对动
3、镜容许的最大倾斜角度进行了讨论,并对其动态校正技术的要点做了分析。关键词:傅里叶变换光谱仪;动镜倾斜;调制度;动态校正中图分类号:TH744 文献标识码:AErroranalysisofthemirrortiltinginspectrumtransforminterferometerandthestudyondynamicalignmenttechnologyYINBang2sheng,ZENGLi2bo,LEIJun2feng,YANGKun(EngineeringResearchCenterofSpectru
4、mandImagingInstruments,WuhanUniversity,Wuhan430072,China) Abstract:TheMichelsoninterferometersystemwhichhastwo2beaminterferenceisappliedinF15ouri2erTransforminterferometer,themovingmirrorcouldtiltinthreedirectionsinmotion.Inthispaper,atwodimensionmathematicalm
5、odeloftheinterferentialplaneisbroughtout,andthefunctionofthein2terferogramisestablished.Byanalyzingthemodulationdepth,phaseerrorandfrequencynoise,theer2rorofthemovingmirrorisstudiedtheoretically.Basedontheerroranalysis,themaxtitlinganglecanbecomputed,thekeymeth
6、odsondynamicalignmentarealsodiscussed.Keywords:Fouriertransformspectrometer;tiltingofthemovingmirror;modulationdepth;dy2namicalignment1 引 言在傅里叶变换红外光谱仪中,迈克尔逊干涉仪是其光学系统的核心部分。光谱仪性能好坏,很大程度上取决于干涉系统中动镜的移动精度。光谱仪要求动镜在作直线扫描运动的同时,必须与定镜保持严格的垂直关系。主要是为了减小系统非准直带来的调制度误差和相位误差[1
7、～3]。在傅里叶变换红外光谱仪的研制中发现,系统准直性失调有多种来源,文献[4]对其作了详细的阐述,根据其随光程差变化而变化的特性可分为四类:(1)由于器件加工缺陷或安装不良引起的固定误差;(2)由Ξ收稿日期:2005205216基金项目:“十五”国家科技攻关计划资助项目(2004BA210A02)作者简介:尹邦胜(19802),男,湖南邵阳人,硕士研究生,主要从事傅里叶变换红外光谱仪方面的研究。?1994-2010ChinaAcademicJournalElectronicPublishingHouse.Allri
8、ghtsreserved.15http://www.cnki.net第1期尹邦胜等: 光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究 ?75?于运动部件缺陷造成的随电机位置变化而变化的系统误差;(3)频率较低的外界振动或外加信号干扰;(4)频率较高的随机扰动。各种因素的影响最终都表现为:运镜相对理想状态的定镜产生倾斜,动镜和定镜对分束器的镜像不再保
