毕业论文（设计）绿光激光器光学系统滤波器的设计与制备

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1、长春理工大学本科毕业设计毕业设计(论文)原创承诺书1．本人承诺：所呈交的毕业设计(论文)《绿光激光器光学系统滤波器的设计与制备》，是认真学习理解学校的《长春理工大学本科毕业设计工作条例》后，在教师的指导下，保质保量独立地完成了任务书中规定的内容，不弄虚作假，不抄袭别人的工作内容。2．本人在毕业设计(论文)中引用他人的观点和研究成果，均在文中加以注释或以参考文献形式列出，对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体均已在文中注明。3．在毕业设计(论文)中对侵犯任何方面知识产权的行为，由本人承担相应的法律责任。4．本人完全了解学校关于保存、使用毕业设计(论文

2、)的规定，即：按照学校要求提交论文和相关材料的印刷本和电子版本；同意学校保留毕业设计(论文)的复印件和电子版本，允许被查阅和借阅；学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存毕业设计，可以公布其中的全部或部分内容。以上承诺的法律结果将完全由本人承担！作者签名：年月日长春理工大学本科毕业设计摘要光学干涉截止滤光片是绿光激光器光学系统重要的光学元件，尤其在医疗技术和光通信方面有着重要应用。为了研制出适用于绿光激光器光学系统的干涉截止滤光膜，筛选出H4和SiO2作为高低折射率材料，根据光学薄膜理论，利用TFC和大众版膜系设计软件进行膜系优化设计，得到了相对易于

3、制备的膜系结构。用电子束加热蒸发方法并加以离子辅助沉积系统制备薄膜，采用晶控的方法控制膜厚。通过对镀制后基片的光谱测试结果分析，由光谱测试曲线可以得出该滤光膜在532nm波长处透射率T>95%，在1064nm波长处反射率R>99%，满足本课题绿光激光器光学系统的使用要求，最终得到了光谱性能较好的滤光膜。关键词：激光滤光膜膜系设计真空镀膜离子辅助沉积II长春理工大学本科毕业设计AbstractThisresearchisthefilterusedingreenlaseropticalsystem,Preparationofhightransmissio

4、natthewavelengthof532nm,thewavelengthof1064nmdualbandfiltermembranewithhighreflection.ByselectingH4andSiO2asthehighandlowrefractivematerials,Accordingtothetheoryofopticalfilms,continuallyoptimizingthefilmsystemdesigncurvebyTFCandthepublicversionofthefilmsystemdesignsoftware,the

5、nobtainfilmsystemthatrelativeeasyformaking.Thethinfilmsarepreparedthroughelectronbeamheatingevaporationandionassisteddepositionsystem,Byusingthemethodofcrystalcontrolledfilmsthickness.Throughtheanalysisoftheresultsofthetestsubstrateplatingsystem,Thefiltermeettheapplicationrequi

6、rementsofgreenlaser.thefiltermembranewithbetterspectralperformanceisobtained.Keywords:Laserfiltermembrane;Filmdesign;Vacuumcoating;IonassisteddepositiontechniqueII长春理工大学本科毕业设计目录摘要IAbstractII第1章绪论11.1薄膜的发展11.2激光薄膜的国内外发展及应用11.3研究内容2第2章光学薄膜的理论基础32.1光学薄膜的多光束干涉原理32.2光学薄膜的特性矩阵和导纳62.2

7、.1单层薄膜的特性矩阵导纳62.2.2多层薄膜的特性矩阵和导纳9第3章膜料的选取及其光学性质123.1材料的选取123.1.1高折射率材料的选取133.1.2低折射率材料的选取143.2膜系设计15第4章薄膜制备204.1镀膜设备204.2膜厚监控原理214.3蒸镀过程及制备工艺234.4离子源24第5章测试结果与分析255.1光谱测试与分析26总结27参考文献29致谢30II长春理工大学本科毕业设计第1章绪论1.1薄膜的发展光学薄膜作为现代光学的一个重要分支，己经被广泛应用于工业、农业、建筑、交通运输、医学、军事、天文、红外物理学、激光技术等领域，

8、在人们的日常工作和生活中起着越来越重要的作用。在科技日新月异的今天，现代通讯、能源利用、宇航技术等领域的飞速