34寸内圆切片机说明书中文版

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1、内圆切片机说明书（中文版）1681设备概要与安全1-1）机械概要本设备是切断8英寸以内的硅块的内圆刀式切断机。随着半导体装置的高集成化，对硅片提出了高精度化、大口径化的需求。但随着硅片的大口径化，切断时的“弯曲”“平坦度”变大等问题也随之产生。本设备利用高精度化技术与控制技术解决了这些问题，弯曲及平坦度比以前的设备提高了1/2~1/3精度。·自动弯曲控制技术【ABC】·针对在切断结晶块时发生的内圆刀片“弯曲”，通过在加工重进行测试控制，让其随时保持最佳的内缘刀片状态·对话式CNC控制·通过利用本公司

2、独立开发的TOYOMATIC容易操作，提高了局部控制精度及可靠性·分度精度的提高通过滚轮导向与NC控制，实现了高分度精度，提高了产品精度·通过紧密、压缩，节省了空间，实现了轻量化1—1ez1681-2）关于安全请根据本使用说明书，安全正确地使用本机包含卸料装置在内来，安装了连锁装置，确保安全。但因为做动部位很多，不仅平时动作时要注意安全，在检查、整理设备的时候也要十分注意安全。j自动允准中的注意事项1-1请注意在自动运转中不能进入设备的可动范围（下图斜线部）*伸缩罩1-2在自动运转中，不要交换BD装

3、置（刀片传感）的记录纸（在M/C周期停止状态下交换）k在进行初期切断条件设定时使用，必须将CRT画面的手动操作选择键关上后才能挂到挂钩上（在挂到挂钩之前如果不小心掉下去了，可能导致NC轴做动，很危险）l请不要在自动修正盖上覆盖东西等，避免给它施加荷重m在放装长形结晶块时，因很重，需2人一起作业n当人站在伸缩罩上时，请不要开动切断台o拆下与装上刀片时，安装结晶块时，设定倾斜角度时，按下紧急停止按钮，关掉电源开关后拔掉钥匙，钥匙由专人保管p检查、整备、清扫时，在进入1-1项所叙述的设备可动范围时，必须按

4、下紧急停止按钮，关掉电源的钥匙开关后，再进一步将控制柜的主闸关上之后才能作业。钥匙由专人保管。1-2B168q即便在以上的各操作以外的情况，如果要进入1-1项所述设备的可动范围，则必须按下紧急停止按钮，关掉电源拔掉钥匙，方可进行作业。钥匙由专人保管。2规格和各部位名称2-1设备规格（T-SM-200型、切割设备）{主机规格标准}项目单位内容切割方式内周刀片式加工控制自动刀片弯曲控制工件的切割方式mm6寸—8寸*600切割进给行程mm300进给速度m/minx轴5z轴2.5工件分度行程mm700分度量

5、设定范围mm0.0005—9.9995角度设定范围垂直方向±5度（手动）最小刻度水平方向±（手动）工件进给方向/结晶块插入方向横型/前方刀片尺寸mm刀片机械式主轴轴承/旋转数向心推力球轴承/Max1600pm主轴电机5.5Kw—4P分度驱动Kw0.6Ac伺服切割进给驱动Kw0.6Ac伺服设备大小mm（W）（L）（H）2300×2750Í2250设备重量Kg4200Kg31682-2各部名称1）ABC控制传感2）内圆切割刀片3）张紧盘4）工件（硅结晶块）5）硅棒托架6）冷却剂流量计7）清洗用冷却剂喷头

6、8）吸附器9）卸料机10）碳精剥离装置11）BD系统（刀片变位计）12)CNC操作盘13)工件分度装置14)倾斜装置（摇摆装置）15)切断台16)工作台17)电气柜18)真空装置19)20)冷却水排出口2-4e1683搬运及安装3-1）搬运j在设备原点停止运转k拆下工件、冷却水源、气源、真空软管、电源等的连结l倾斜部的倾斜、左右上下全部归零，拧紧个固定螺栓m用固定铁（A）（B）（C）（D）【红色】将各部固定起来安装固定块时，请拆下主轴皮带轮进行安装n倾斜上下调整螺钉o倾斜上下旋转调整螺栓（2根）p倾

7、斜左右旋转调整螺钉q倾斜左右旋转固定螺栓图3—1固定金3-11683-2）安装·安装的场所所要满足下述条件（1）周围温度：（2）温度：55%±15%（3）不能放在阳光直射的场所（4）周围不能有振动·安装基础此设备如果放置在外部的强烈振动不容易传递进来的地方的话，就没有必要进行特别的基础处理放置在平坦的水泥地上固定好就可以了·拆下固定块特别是主轴后面的固定块，因为在盖子内，所以要拆下盖子进行，另外，如果拆下了固定块，请将皮带轮装好·设备的水准调整设备被基座下的4个调整螺栓所固定，每个调整螺栓的下面放置

8、有水平块，设备安装在上面。在主轴罩上放置水准仪，将水平度调整为前后左右每1mm在0.02mm以内图3—2水准调整要领3-2B168·电源的连接在机壳右侧面的遮断器上进行1次电源的配线图3-3机械后部在设备左侧面，将空气源接到安装在空压机安装板上的调节器上，确认调节器上的表是否为4kg/c㎡·通道软管的连结图3-4机械左侧面3-3ez1684运转准备4-1）确认机身夹紧盘的旋转方向机身夹紧盘的旋转方向为从设备前方看的逆时针方向j内圆刀刀片k夹紧盘l第一密封环m旋转方向图