管状构件内表面真空镀膜方法研究进展

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1、檵檵殝檵檵综述·专论管状构件内表面真空镀膜方法研究进展赵彦辉1，贾莹2，于宝海1，肖金泉1(1．中国科学院金属研究所专用材料与器件研究部，沈阳110016;2．沈阳鼓风机集团股份有限公司，沈阳110869)摘要:综述了国内外真空镀膜方法，包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对管状构件内表面镀膜的研究进展，介绍了热化学气相沉积及各种等离子体(包括直流、射频及电子自旋共振等离子体)增强化学气相沉积方法在管状构件内表面镀膜方面的应用，分析了这种方法的优缺点;重点阐述了溅射镀膜方法(包括直流二极(或三极)溅射、磁控溅射及离子束(或激光束)溅射)及电弧离子镀技术在管状构件内表面

2、镀膜时对薄膜种类、沉积速率、薄膜厚度轴向均匀性、膜/基结合力等方面的特点。最后对管状构件内表面各种真空镀膜方法进行了分析对比，指出了存在的问题及今后的发展方向。关键词:管状构件;内表面;物理气相沉积;化学气相沉积中图分类号:TG174．444;TB43文献标识码:A文章编号:1001-3660(2014)02-0118-08ProgressontheStudyofVacuumCoatingMethodsfortheInnerSurfaceofTubularWorkpieceZHAOYan-hui1，JIAYing2，YUBao-hai1，XIAOJin-quan1(

3、1．DivisionofSurfaceEngineeringofMaterials，InstituteofMetalＲesearch，ChineseAcademyofSciences，Shenyang110016，China;2．ShenyangBlowerWorksGroupCo．，Ltd，Shenyang110869，China)ABSTＲACT:Inthispaper，researchprogressofvacuumcoatingmethodsincludingphysicalvapordeposition(PVD)andchemi-calvapordepos

4、ition(CVD)werereviewedfortheinnersurfaceprotectionoftubularworkpieces．ThermalCVDandvariouskindsofplasma-enhancedCVD(PECVD)includingdirectcurrentplasma，radio-frequencyplasmaandelectronspinresonance(ECＲ)plasmawereintroduced，andtheadvantagesanddisadvantagesofthesemethodswereanalyzed．Thest

5、udywasmainlyfocusedontheeffectsofsputteringmethod(includingdirectcurrentdiode(tripolar)sputtering，magnetronsputteringandionbeam(laserbeam)sputtering)andarcionplatingtechniquefortheinnersurfacecoatingoftubularworkpiecesonthefilmtype，filmdepositionrate，axialuniformityoffilmthicknessandfi

6、lm/substrateadhesion，etc．．Finally，theCVDandPVDmethodsfortheinnersurfacecoatingoftubularworkpieceswereanalyzedandcompared，andtheexistingproblemsatpresentanddevelopingdirectioninthefu-turewerepresented．收稿日期:2013-11-14;修订日期:2013-12-17Ｒeceived:2013-11-14;Ｒevised:2013-12-17基金项目:国家自然科学基金资助项目

7、(51171197)Fund:SupportedbytheNationalNaturalScienceFoundationofChina(51171197)作者简介:赵彦辉(1973—)，男，河北人，硕士，主要研究方向为金属材料表面改性及涂层。Biography:ZHAOYan-hui(1973—)，Male，fromHebei，Master，Ｒesearchfocus:metalmaterialssurfacemodificationandcoating．KEYWOＲDS:tubularworkpiece;innersurface;physicalvapord