负偏压对pet基fc膜结构与性能的影响

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1、安徽工程大学毕业设计（论文）负偏压对PET基FC膜结构与性能的影响摘要聚四氟乙烯具有高度的化学稳定性、极小的吸水率等优异性质而倍受人们的关注，但利用磁控溅射技术，以其为靶材研制高附加值的多功能面料研究极少。本文通过在PET基体上镀FC膜的方法，来制备防水织物。本文采用磁控溅射技术。以聚四氟乙烯为靶材，在PET基底上沉积制备氟碳膜防水织物，在功率为50W，压强为0.55Pa，溅射时间为30分钟的条件下下，以聚脂（PET）为基体，采用磁控溅射的方法在基体上制备FC膜。研究在不同梯度的负偏压下，对基体镀膜的表面形貌、镀膜化学成分、以及亲疏水性能的影响

2、。利用扫描电镜(SEM)研究了成膜机理以及FC膜的表面形貌，观察了不同负偏压下对氟碳膜表面形貌的影响，系统研究了氟碳膜表面结构随负偏压变化规律，发现负偏压提高使得氟碳膜颗粒分布均匀，结合更加紧密。同时疏水性逐渐变优。关键词：负偏压磁控溅射结构与性能FC膜I安徽工程大学毕业设计（论文）I安徽工程大学毕业设计（论文）EffectsofnegativebiasonthestructureandpropertiesofPETbasedFCfilmsAbstractPTFEhashighchemicalstabilityandminimalwaterab

3、sorptionrateofexcellentpropertiesandhasbecomethefocusofattention，buttheuseofmagnetronsputteringtargetdevelopmentofmultifunctionalfabricwithhighaddedvaluetothefew.ThroughthemethodofFCfilmsdepositedonPETsubstrate，thepreparationofwaterprooffabric.Thispaperadoptsmagnetronsputter

4、ingtechnology.WithPTFEasthetarget,onPETsubstratebydepositionoffluorocarbonfilmwaterprooffabric,thepoweris50W,pressureis0.55Pa,thesputteringtimeof30minutesunderthepolyester(PET)substratebymagnetronsputteringmethodforpreparingFCfilmonasubstrate.Negativebiasstudiesindifferentgr

5、adient,thesurfacemorphologyofthesubstratecoating,chemicalcoating,andtheinfluenceofhydrophilicandhydrophobicproperties.Byusingscanningelectronmicroscopy(SEM)studyonsurfacemorphologyofthefilmformingmechanismandCFmembrane，observedtheinfluenceonthesurfacemorphologyoffluorocarbon

6、filmsunderdifferentnegativebias，studiedthesurfacestructureoffluorocarbonfilmschangeswithnegativebias，foundnegativebiasimprovesthefluorocarbonfilmparticledistributionmoreclosely。Keywords：negativebias，magnetronsputtering，structureandproperties，FCfilmIII安徽工程大学毕业设计（论文）III安徽工程大学毕

7、业设计（论文）目录第1章绪论-1-1.1课题的背景与意义-1-1.2防水织物国内外的研究进展-1-1.3磁控镀膜发展过程及特点-2-第2章PET基氟碳膜的制备-4-2.1选择磁控溅射的必要性-4-2.2磁控溅射实验设备-4-2.3磁控溅射实验步骤-4-第3章样品检测及数据分析-8-3.1样品检测所用仪器-8-3.2检测仪器原理-9-3.3数据分析-9-结论与展望-19-致谢-20-参考文献-21-附录-22-附录C外文文献-22-附录D主要参考文献的题录及摘要-38-V安徽工程大学毕业设计（论文）V安徽工程大学毕业设计（论文）插图清单图3-1不

8、同负偏压下的PET基FC膜的微观形貌图-10-图3-2不同负偏压下的样品表面F元素含量图-12-图3-3不同负偏压下样品的光电子能谱图-12-图3-4