原料的腐蚀清洗工艺操作规范

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1、嘉兴五神光电材料有限公司文件编号：Q/WS9308-4-2009原料的腐蚀清洗工艺操作规范版本号：A/0页码：第3页共3页WINSAINT生效日期：2009年8月1日一、目的：为正确、规范原料的腐蚀清洗工艺操作，确保生产作业正常，特制订本规范。二、范围：适用于原料的腐蚀清洗作业。三、依据：使用说明书四、权责单位：原料腐蚀清洗生产车间五、作业流程：作业准备---原料浸泡---清水清洗---原料腐蚀---超声清洗---烘干---净化送检---包装。六、主要内容1、作业准备⑴、进入腐蚀车间须穿戴好洁净工作服、鞋。戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。[2]、检查化学试剂

2、规格、纯水质量。原料浸泡：氢氧化钠、硝酸、盐酸、氢氟酸、氟化铵、硫酸一律用工业级或分析纯原料腐蚀：硝酸(含量65%―68%)、氢氟酸(含量≥40%)、盐酸应为电子级；纯水电阻率大于15兆欧厘米以上。检查腐蚀手套安全不漏设置好烘箱的温度，并送电。2、作业[1]、原料的浸泡A、1、将片料称重后装入周转箱中，以大概上半箱为准。2、向原材料中分别倒入盐酸和硝酸，盐酸与硝酸的比例为2：1。3、在浸泡大概3-4天以后，用清水将酸冲洗干净。B、1、将埚底料称重后装入周转箱中，以大概上半箱为准。2、称取1-2公斤左右的氟化铵，加到埚底料中。3、向周转箱中加入工业级的纯氢氟酸，

3、以浸过原材料为准，其中氟化铵需溶解到氢氟酸中。4、埚底料浸泡的时间大概为4天左右。5、浸泡完毕，用清水清洗，尽量将酸给冲洗干净。注意事项：1、浸泡片料、埚底料的时间的长短要视实际效果，可适当的延长浸泡的时间。2、对于表面含有金属的片料，可适当的加大盐酸的量。3、因为浸泡埚底料所用到的工业级的氢氟酸为二次利用的回收酸，因此在浸泡埚底料前要视埚底料表面的石英及其它杂质，可适当的加入1-2桶的新的氢氟酸。4、操作人员一定要做好防护，戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。[2]、腐蚀清洗A、抛光片、彩片等硅片的腐蚀清洗1、清水冲洗硅片料。2、碱液腐蚀。根据清洗硅料的多少配

4、制氢氧化钠溶液。一般为氢氧化钠：水=1：1（质量比），腐蚀时间一般为2-4分钟，腐蚀过程中要不断的搅拌，使碱液与硅料表面充分反应。硅料表面光亮、干净即可。3、纯水多次超声清洗。纯水多次超声清洗，使表面残留的碱尽量洗净。防止有碱液残留。4、酸漂洗在氢氟酸中浸泡5分钟左右。（氢氟酸：水=1：1（体积比），嘉兴五神光电材料有限公司文件编号：Q/WS9308-4-2009原料的腐蚀清洗工艺操作规范版本号：A/0页码：第3页共3页WINSAINT生效日期：2009年8月1日5、水洗，超声。超声时间大概10分钟左右。甩干。注意事项：1、碱液腐蚀硅料时要视实际效果，根据实际

5、情况可适当的改变清洗的时间。2、硅料腐蚀后要及时用纯水清洗，且一定要清洗干净，防止造成表面氧化。3、操作人员一定要做好防护，戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。B、多晶料、头尾料、边皮料、提杂料、埚底料的腐蚀清洗1、分筐①、对于头尾料、提杂料须先进行打磨处理。然后按型号、电阻率破碎分筐。②、边皮料表面的杂污先用肥皂水浸泡，擦洗干净。表面如果有大量的杂质的话，可进行超声加热、擦洗干净后，然后按型号、电阻率破碎分筐③、对于埚底料须先进行浸泡处理。然后按型号、电阻率分筐。清水清洗硅材料2、混酸腐蚀。在HNO3：HF=3：1-7：1的混酸中浸泡1-2分钟左右，浸泡过程中

6、要适当的搅拌，使混酸与硅料表面充分反应。硅料表面光亮、干净即可。3、纯水多次超声清洗。纯水多次超声清洗，使表面残留的酸尽量洗净。应测试PH值为7-8，防止有酸残留。4、每腐蚀500㎏硅料需更换腐蚀液一次，具体更换时间需视硅料清洗效果。注意事项：1、混酸腐蚀硅料时要视实际效果，可适当的改变混酸的比例以及清洗的时间。2、硅料腐蚀后要及时用纯水清洗，且一定要清洗干净，防止造成表面氧化。3、操作人员一定要做好防护，戴防腐蚀手套、口罩，穿防护服、鞋。4、籽晶、母合金腐蚀方法与头尾料同.[3]、烘干。硅料送入设置好温度的烘箱高温干燥。注意硅料不能直接接触不锈钢的烘盘。[4

7、]、净化送检，包装。分选包装一定要高纯条件下进行，用高纯塑料袋封装。每袋5公斤操作者要穿戴高纯工作服、口罩、手套。[5]、记录嘉兴五神光电材料有限公司文件编号：Q/WS9308-4-2009原料的腐蚀清洗工艺操作规范版本号：A/0页码：第3页共3页WINSAINT生效日期：2009年8月1日腐蚀工艺控制表MN-10-A硅料名称　硅料批号　硅料型号　硅料来源　领料人　领料重量　入库重量　复洗重量　损耗重量　工艺配比HF：HNO3=（）:（）配液工　NaOH=（）%腐蚀工　本批硅料腐蚀使用化学品情况化学名称生产厂家生产日期化学品浓度及规格化学品重量化学品领用人备注

8、HF　　　　　　HNO3　　　　　　N