nt干涉显微镜的应用研究

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1、---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------NT9100干涉显微镜的应用研究摘要表面的三维测量和评定是影响表面加工生产的重要因素，本课题就是在此背景下开展工作，旨在解决光伏电池多晶硅表面微观轮廓参数、手机背光板V-CUT器件微棱角参数测试等的技术难点。我们采用白光干涉原理，基于VeecoNT9100白光干涉显微镜作为硬件平台进行测量与分析，研究三维表面的评定方法。本文重点介绍了NT910

2、0白光干涉显微镜的测量原理，并结合图像处理与数据分析，讨论了一种测量大斜率V-CUT加工面的检测方法，最终完成手机背光板V-CUT器件各项参数的测量。11520关键词白光干涉显微镜V-CUT检测微观轮廓毕业设计说明书（论文）外文摘要TitleTheapplicationofNT9100interference9/10---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------microscopeAbst

3、ractThesurface3dmeasurementandevaluationistheimportantfactorofsurfaceprocessingproduction,andthetopicisinthisbackgroundtodothework,aimingtosolvethetechnicaldifficultiesofthemicrosurfaceprofileparametersofPolycrystallinesiliconandthemicroangularparametersoftheV-CUTofmobilephonebackpanels.Weadoptt

4、hewhitelightinterferenceprincipleanduseNT9100whitelightinterferencemicroscopeashardwareplatformformeasurementandanalysis.Combinedwiththeimageprocessinganddataanalysis,thispaperintroducestheNT9100whitelightinterferencemicroscopemeasuringprincipleanddiscussedamethodofmeasuringlargeslopeV-CUTdevice

5、.FinallygettheparametersoftheV-CUTdeviceofphoneback9/10---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------panels.KeywordsWhitelightinterferencemicroscope,V-CUTdetection,Microprofile目次1引言11.1概述11.2表面微观形貌的测量方法11.2.1接触式测量法21.2.

6、2非接触式测量法39/10---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------1.2表面微观形貌的测量方法表面三维形貌的测量方案可分为两种：接触式测量法和非接触式测量法。如下图所示，对各种测量方法简单总汇[1-2]：图1.1表面微观轮廓检测方法汇总1.2.1接触式测量法接触式测量方法一般为触针式测量法，基于杠杆原理，按传感系统的不同分为电感式、电容式、压电式、干涉式和光栅式等，其中以电感式最为普

7、遍[3]。图1.2接触式表面形貌测量仪器原理图图1.39/10---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------激光干涉式位移传感器激光干涉式位移传感器基于迈克尔逊干涉测长原理，激光经分光镜分为两路，参考光束b与测量光束a原路反射，在分光点产生干涉，其