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1、CMN/CT叠层薄膜论文：界面层对CMN/CT叠层薄膜结构和介电性能的影响【中文摘要】薄膜科学的发展是在表面、界面物理基础上建立起来的,表面和界面的力学、热学和电学特性是很多薄膜器件的工作基础,对薄膜的结构和性能产生重要影响,所以复合薄膜材料的性能并不是其组分材料的简单加和,而是产生了“1+1>2”的协同效应。因此只有清楚地把握薄膜的表面和界面结构,深入地研究薄膜的结构和性能的关系,才能有效地进行多层结构功能薄膜材料的设计,制备出结构稳定、性能良好的薄膜材料。本文采用Pechini方法合成了Ca(Mg1/3Nb2/3)O3(CMN)和CaTiO3(CT)前驱体溶液,利用液相旋涂工艺制备出
2、Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3(CMN/CT)叠层介质薄膜,系统研究了电极界面层和异质界面层对薄膜结构、形貌与介电性能的影响及其规律。结果表明,采用叠层方式制备的CMN/CT叠层薄膜中CMN、CT两相均能独立存在,薄膜具有单一钙钛矿结构,薄膜厚度均匀,表面致密、平整,不同成分的电极界面层和不同个数的异质界面层对薄膜的相结构影响不大,但对薄膜的微观形貌和介电性能产生明显影响。在层数、异质组分及异质界面数相同时,以CMN为首层和最后一层的样品NI-4-2的表面形貌和介电性能均好于以CT为首...【英文摘要】Itiswellknownthatthedevelopmentofth
3、infilmsciencehasbeenbasedonthesurfaceandinterfacephysics.Themechanical,thermalandelectricalpropertiesofsurfaceandinterfacehavebeenthefoundationofmanythin-filmdevices,possessingvitalinfluenceonthestructuresandpropertiesofthinfilm,hereinthepropertiesofcompositethinfilmsratherhave“1+1>2”synergistice
4、ffectthanthesimpleaccumulationfromitsdifferentcomponents.Henceonlyhaveagoodcommandofsurfaceandinterface...【关键词】CMN/CT叠层薄膜界面层显微结构介电性能【英文关键词】CMN/CTMultilayeredThinFilmsInterfacelayerMicrostructureDielectricProperties【目录】界面层对CMN/CT叠层薄膜结构和介电性能的影响中文摘要4-5Abstract5-6目录7-9第1章绪论9-221.1电介质薄膜9-171.1.1薄膜的制备技
5、术及理论研究9-101.1.2电介质薄膜的性质及应用10-141.1.3异质叠层电介质薄膜的研究现状14-171.2异质叠层电介质薄膜的表面与界面17-201.2.1薄膜的表面与界面17-181.2.2异质叠层电介质薄膜的表面与界面18-191.2.3表面与界面对异质叠层薄膜结构和性能的影响19-201.3本文研究的目的、意义和内容20-22第2章CMN/CT叠层薄膜的制备和结构及性能分析22-322.1实验原料与设备22-232.1.1实验原料22-232.1.2实验设备232.2CMN/CT叠层薄膜的制备23-292.2.1旋涂法制备CMN/CT叠层薄膜23-242.2.2电极材料和
6、衬底基片的选择24-252.2.3前驱体溶液的制备25-262.2.4CMN/CT叠层薄膜的制备26-292.3CMN/CT叠层薄膜的结构和性能分析29-322.3.1X射线衍射分析(XRD)292.3.2薄膜的微观结构分析29-302.3.3薄膜介电性能测试30-32第3章界面层对CMN/CT薄膜结构和性能的影响32-443.1电极界面层对CMN/CT叠层薄膜的影响32-353.1.1电极界面层对薄膜相结构的影响32-333.1.2电极界面层对薄膜微观形貌的影响33-343.1.3电极界面层对薄膜介电性能的影响34-353.2异质界面层对CMN/CT叠层薄膜的影响35-393.2.1异
7、质界面层对薄膜相结构的影响35-363.2.2异质界面层对薄膜微观形貌的影响36-383.2.3异质界面层对薄膜介电性能的影响38-393.3界面处理对CMN/CT叠层薄膜的影响39-443.3.1界面处理对薄膜相结构的影响39-403.3.2界面处理对薄膜微观形貌的影响40-423.3.3界面处理对薄膜介电性能的影响42-44第4章CMN/CT叠层薄膜的等效电路分析44-564.1电介质极化44-474.1.1电介质的极化过程44
