具有核壳结构的纳米复合高频软磁材料

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1、“微纳电子技术”2008年第7期专家论坛P373-具有核/壳结构的纳米复合高频软磁材料纳米器件与技术P380-射频功率TrenchMOSFET研制P383-大功率激光二极管阵列正向特性研究纳米材料与结构P387-VO2热色智能玻璃研究进展P392-静电纺丝制备复合纳米纤维研究进展MEMS器件与技术P397-芯片上叉指电极介电电泳的模拟与实验研究P403-Parylene薄膜及其在MEMS中的应用P411-基于声表面波技术的数字微流体微加热器研究P416-电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究显微、测量、微细加工技

2、术与设备P419-nA级电流检测电路和抗干扰技术研究P423-钝化处理在消除多晶Si薄膜缺陷中的应用微电子器件与技术P428－半导体激光器焊接的热分析专家论坛P373-具有核/壳结构的纳米复合高频软磁材料钟伟，汤怒江，靳长清，都有为（南京大学固体微结构物理国家重点实验室，江苏省纳米技术重点实验室，南京210093）摘要：具有核/壳结构的复合纳米材料兼有外壳层和内核材料的性能，由于其结构和组成能够在nm尺度上进行设计和剪裁，因而具有许多独特的光、电、磁、催化等物理与化学性质。简要介绍了实验室在过渡金属纳米复合高频软

3、磁材料研究方面的最新进展，内容包括：绝缘壳层（如SiO2、Al2O3、C－SiO2等）复合材料，能显著改善过渡金属纳米颗粒的热温度性，有效防止氧化和团聚，具有饱和磁化强度高、高频软磁性能优异的特点；半导体壳层（如ZnO）复合材料，研究了材料的光致发光性能，观测到在ZnO材料中较少出现的700nm发光峰；螺旋碳纳米管与Fe组成的复合材料，实验结果表明该复合材料具有良好的高频吸波性能，有望成为新一代轻质高频吸波材料。关键词：核/壳结构；复合纳米材料；软磁；高频；螺旋碳纳米管纳米器件与技术P380-射频功率Trench

4、MOSFET研制苏延芬，刘英坤，邓建国，胡顺欣，冯彬，董四华（中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051）摘要：在国内首次研制出了一种采用条状元胞结构、特殊的栅槽刻蚀条件、特殊的栅介质生长前处理工艺及多晶硅栅的射频功率TrenchMOSFET器件。该器件漏源击穿电压大于62V、漏极电流大于3.0A、跨导大于0.8S、阈值电压2~3V、导通电阻比同样条件的VDMOS降低了19%~43%，在175MHz、VDS=12V下输出功率PO为7W、漏极效率ηD为44%、功率增益GP为10dB。关键词：TrenchM

5、OSFET；导通电阻；沟道密度；垂直沟道结构；饱和压降P383-大功率激光二极管阵列正向特性研究杨红伟，张世祖，陈玉娟，家秀云（中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051）摘要：大功率激光二极管阵列的正向特性失效问题严重影响器件的成品率和可靠性。对典型的失效现象进行了分类，确认了主要的失效现象是正向漏电。结合分阶段测试统计和对失效样品的显微分析，确定了造成激光二极管漏电的主要工艺环节以及工艺过程中机械损伤造成二极管漏电的机理。基于分析结果，改进了芯片结构设计和芯片工艺夹具。对改进后的芯片进行了统计实验验

6、证，结果表明，激光二极管阵列的正向漏电问题得到基本解决，正向特性成品率从60%提高到90%以上。关键词：大功率激光二极管；正向漏电；解理纹；保护区；成品率纳米材料与结构P387-VO2热色智能玻璃研究进展何云富1，徐刚2,朱俊1，陈德明2，王春平1(1.四川大学物理科学与技术学院，成都610065；2.中国科学院广州能源研究所可再生能源与天然气水合物重点实验室，广州510640)摘要：二氧化钒（VO2）是一种受人关注的热致变色材料，在68℃时发生从半导体相-金属相的转变，且相变可逆。在介绍智能玻璃在建筑节能中潜在

7、应用的基础上，重点阐述了VO2纳米薄膜应用于智能型节能玻璃的国内外研究进展。较全面地论述了利用光学减反射技术提高VO2智能玻璃可见光透过率的技术现状。总结了VO2智能玻璃在实际应用中存在的技术难点：节能效率偏低、薄膜沉积温度高、外观颜色不美观、保温性能上的缺陷等。展望了VO2智能玻璃的研究与应用前景。关键词：二氧化钒；热致变色；智能玻璃；节能；减反射技术P392-静电纺丝制备复合纳米纤维研究进展王璐璐，佘希林，袁芳(青岛大学化学化工与环境学院，山东青岛266071)摘要：静电纺丝技术近年来在制备纳米纤维领域得到广

8、泛应用，目前已成功制备出多种不同类型的纳米纤维,尤其在制备复合纳米纤维方面取得了显著成果，被认为是制备纳米纤维最有效的方法之一。总结了静电纺丝技术制备纳米纤维,特别是制备复合型纳米纤维方面的最新研究报道，如天然高分子复合纳米纤维、聚合物复合碳纳米管纤维、聚合物复合金属纳米纤维、共聚物纳米纤维以及无机复合纳米纤维等。静电纺丝纳米纤维将在生物医药、电子光学、制备复合材料等多个