压缩空气设备工艺初步总结

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1、压缩空气设备工艺初步总结一、压缩空气系统在太阳能非晶硅薄膜生产工艺的作用压缩空气在太阳能非晶硅薄膜生产中主要应用于激光机、磁控溅射、太阳模拟器、转向机、退火炉、PECVD、PECVD真空系统、层压机、液压装框机、传送带等设备中各种汽缸、气动阀门、自动化仪表及机器人等系统，实现生产过程的自动运行和自动控制设备的正常工作。压缩空气质量和供气压力的稳定直接影响到太阳能非晶硅薄膜生产的安全和稳定。二、压缩空气工艺参数及各点用气量根据生产实际需要，压缩空气系统设计流量为45Nm/min,供气压力为0.7MPa，常温露点温度为-40℃，含油量为0.03mg/m,

2、含尘粒径不应大于0.01μm。具体用气点及用量见图表。设备设备名称数量使用时间（h）同时使用系数负荷系数压力（Mpa）消耗量（m3/min）备注Ⅰ班Ⅱ班Ⅲ班单位设备最大消耗量设备同时使用系数消耗量上料清洗区域机器人1888　0.80.60.050.050　磁控溅射区激光机138880.330.80.6122.400平均0.8转向机28880.80.50.60.050.100　激光机238880.330.80.6122.400平均0.8磁控溅射1888　0.80.68.488.480　激光机338880.330.80.6122.400平均0.8激光机4

3、38880.330.80.6122.400平均0.8太阳模拟器3888110.60.050.100　转向机1888　0.80.60.050.050　退火炉28880.80.80.60.10.200　转向机1888　0.80.60.050.050　贴膜机1888　0.80.60.050.050　PECVD区PECVD388800.80.61811.700平均3.9　　　　　　　0.20.0310.093　机器人38880.80.80.60.050.150　盖板玻璃区域机器人1888　0.80.60.050.050　层压区层压机98880.80.80.6

4、0.54.500　太阳模拟器1888110.60.050.100　地下室PECVD真空系统1288800.80.60.050.600　PECVD燃烧系统6888　　　　　空气15m3/min封装区液压装框机68880.50.50.60.10.600预留1个供气点层压机108880.810.60.55.000预留1个供气点传送带1888　　　　　　　　　　　　　　　总计41　三、压缩空气生产工艺流程压缩空气的生产流程是：ATLAS风冷螺杆空压机（1）----油水分离器（2）------压缩空气缓冲罐（3）------风冷冷冻式干燥机（4）-------

5、精过滤器（5）------除油过滤器（6）------微热再生干燥装置（7）------高效除油过滤器（8）四、压缩空气系统设备工艺根据工艺要求，压缩空气系统设置3台风冷喷油螺杆空压机。压缩空气经冷冻干燥，微热再生空气干燥机干燥后，达到常温露点温度-40℃，并经三级过滤器过滤，压缩空气干管自综合动力站接出后，沿室外管线送到各用气点。l空压机组和空气干燥机组本身带有压力、露点指示仪表和各部位控制调节阀、机组故障报警等安全保护。控制调节阀、自动安全保护控制。l压缩空气过程检测及自动控制空压机成套配带配电、控制、保护装置，装置应可完成保证设备正常运行所需的

6、设备内部的配电、控制和保护。成套的配电、控制装置至设备内部的线缆均应随设备成套配带。成套的控制装置应具有启停控制、运行状态、故障状态、手自动状态的远传接点。空压机组和压缩空气干燥装置本身带有压力指示仪表和各部位控制调节阀，空压机根据负荷自动调节开机台数、机组故障报警等安全措施，本设计系统还增设如下自控、安全保护等内容：（1）压缩空气干管压力遥测显示、压力过低声光报警。（2）压缩空气干管露点遥测显示、超高声光报警。（3）所有转动设备的运转及故障信号显示。（4）干燥装置出口压缩空气流量计量、累计、显示。l压缩空气管道采用SS304BA不锈钢管，阀门采用不

7、锈钢球阀。l管道安装完毕无损检测后，必须进行压力试验，管道施工及试压验收按《工业金属管道施工及验收规范》（GB50235-97）和《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》（GB50236-98）的要求进行。l压缩空气管设计压力为1.0MPa，使用氮气或干燥压缩空气作为试验介质，实际工作压力为0.7MPa。压缩空气设备数量明细如下：设备名称型号单位数量螺杆空压机GA160-8.5台3微热再生吸附式干燥机MAD-30台3冷冻式干燥机RD-30SA台3离心式油水分离器FC30台3微油雾过滤器FA30个3主管道过滤器FT30个3高效除油过滤器FH30个3

8、MAD-30微热再生吸附式干燥机深度脱水性能指标及参数明细表：名称指标单位处理量32m3/min电源380V