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1、ZnO_Al绒面透明导电薄膜性能研究第29卷第4期2008年4月兵工学报ACTAARMAMENTARIIVol.29No.4Apr.2008ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究薛俊明1,黄宇1,2,熊强3,马铁华2,孙建1,赵颖1,耿新华1(11南开大学光电信息科学技术教育部重点实验室,天津300071;2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;31河北省信息产业厅唐山无线电管理分局,河北唐山063000) 摘要:利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(%)金属材料为
2、靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,,中浸泡一定时间,、工作压力、腐蚀时间以及溶液浓度对绒面ZAO。结果表明:低功率、低气压、腐蚀时间1%ZAO薄膜表面形貌较好,。 关键词:;;ZnO∶Al薄膜;绒面;溅射功率;工作气压 中图分类号:14+2文献标志码:A文章编号:100021093(2008)0420504205PropertiesofTexture2etchedZnO∶AlSubstratesXUEJun2ming1,HUANGYu1,2,XIONGQiang3,MATie2hua2,SU
3、NJian1,ZHAOYing1,GENGXin2hua1(11KeyLaboratoryofOptoelectronicInformationScienceandTechnology,ChineseMinistryofEducation,NankaiUniversity,Tianjin300071,China;21KeyLabofInstrumentationScienceandDynamicMeasurementofMinistryofEducation,NorthUniversityofChina,Ta
4、iyuan030051,Shanxi,China;31WirelessManageSubstationofTangshan,InformationIndustryOfficeofHebeiProvince,Tangshan063000,Hebei,China)Abstract:Usinga2%Al2dopedZntarget,ZnO∶Al(ZAO)thinfilmsweredepositedonaglasssub2stratebymid2frequencypulsedmagnetronsputtering.T
5、hetexture2etchedZAOsubstrateswerepre2paredbyetchingthesmoothfilmsindilutedHCl.Thedependenceofsurfacetexturesonpower,pres2sure,etchingtimeanddilutedHClchromawereinvestigated,andtheresistivityofZAOfilmsbeforeandafteretchingindilutedHClwereanalyzed.Theresultsi
6、ndicatethatthegoodsurfacetexturesofZAOthinfilmscouldbepreparedundertheconditionsoflowpower,lowpressure,etchingtimeof20sanddilutedHClchromaof015%,suchZAOthinfilmhasthepotentialapplicationinsiliconthinfilmsolarcells.Keywords:condensedmatterphysics;mid2frequen
7、cypulsedmagnetronsputtering;ZnO∶Althinfilm;texture2etchedZnO∶Alsubstrate;power;pressure0 引言透明导电氧化物(TCO)薄膜对硅基薄膜太阳电池是必不可少的。用于硅基薄膜太阳电池透明电极 收稿日期:2006-10-23的绒面TCO对于提高电池的转换效率起着十分重要的作用。硅基薄膜太阳电池要求透明电极具有极低的光、电损失,高透过率和电导率,以及在氢等离子体轰击下保持较好的稳定性。同时,硅基薄膜太基金项目:天津市科技发展计划项目
8、(06YFGZGX02100);国家“973”重点基础研究项目(2006CB202602和2006CB202603)),男,副教授。E2mail:xuejm@nankai.edu.cn作者简介:薛俊明(1966— 第4期ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究505阳电池还要求透明导电薄膜表面要具有同入射光波长相比拟的凹凸起伏的绒面结构,实现对入射太阳光的散射,从而增大入射光在电池中的光程,以增大电池的
