sjt 10456-1993 混合集成电路用被釉钢基片

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1、rJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T10456一93混合集成电路用被釉钢基片Porcelainenameledsteelsubstrateforhybridintegratedcircuits中华人民共和国电子行业标准混合集成电路用被釉钢基片S1/T10456-93Porcelainenameledsteelsubstrateforhybridintegratedcircuits主题内容与适用范围1.1主题内容本标准规定了混合集成电路用被釉钢基片(以下简称基片)的型号、尺寸、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、贮

2、存及运输。1.2适用范围本标准适用于以低碳钢、不锈钢等金属为芯板、表面被覆一层瓷釉的混合集成电路用被釉钢基片。2引用标准GB191包装储运图示标志GB1958形状和位置公差检测规定GB2633日用搪瓷制品检验方法GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB3177光滑工件尺寸的检验GB4069电子陶瓷零件公差GB5593电子元器件结构陶瓷材料GB5594.5电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法体积电阻率测试方法GB5598氧化被瓷导热系数测试方法ST/T10243微波集成电路用氧化铝陶瓷基片3型号被釉

3、钢基片的型号由字母与数字两部分组成。字母部分用PES表示被釉钢基片，数字部盯/T10456一93示例2:PES045丁三位数字表示直径(mm)“被釉钢基片”的英文缩写4技术要求4.1基片的基本形状如图1和图2，通常厚度占为0.5一3.omm，其他尺寸参见附录A。公差应按GB4O69选用，有特殊要求的基片.供需双方可另行协商。巨井图1矩形-月几一且理井图2圆形基片外观应清洁，无缺釉、裂纹、融洞、坑点、划痕、粘砂等缺陷。:.:基片的物理性能、电性能、化学性能、表面质量及尺寸公差应符合表1规定。表1基片技术指标序号要求单位SJ

4、/T10456一93续表1序号项目测试条件要求单位8平面度烧后按GB4069中表2】t、】19表面祖糙度烧后R，(0一8产m一l0外观质量5，3.2条4.2条11尺寸及公差5.3.1条4.1条5试验方法5.1试验条件若无特殊规定，所有试验应在正常大气条件(温度为15一35℃、相对度为45%一75%，气压为86一106kPa)下进行。5_2样品测试样品的形状、尺寸和要求应符合表2的规定。当测试电性能时，样品的两面应按表2的规定要求用烧渗法覆上一层完整的银层作为电极。表2测试样品数、尺寸、形状及要求mm序号项目样品数形状及尺

5、寸要求50x50XI被银层l介电常数102介质损耗角正切值一蛋螃150火50xl被银层3体积电阻率5叠曝;于l.曰被银戛4击穿强度5，斌牙干5热稳定性1050x50xl尸，召6导热系数27密着性2.l8平面度545_-厅ꄀ—，갮扩‘一9表面粗糙度55.3试验项目与方法5.3.1尺寸及公差SJ/T10456-93可选用任何足以保证产品标准中尺寸精度的量具进行测量。5.3.2’外观质量采用目测并应符合4.2条要求。如有争议，可用4倍放大镜复测。5.3.3平面度应按GB1958的规定进行测量，应符合表1规定。乐3.4表面粗糙度

6、应按SJ/T10243中4.5.2条进行测量并应符合表1的规定。5.寻.5热稳定性应按GB5593中3.7条规定进行测试，试验温度650士10'C，重复10次后不浸人品红溶液，冷却后检查应符合表1规定。5.3.6导热系数应按GB5598的规定进行测试，应符合表1规定。5.3.7介电常数应按GB5593中3.10条规定进行测试应符合表1规定。5.3.8介质损耗角正切值应按GB5593中3.11条规定进行测试应符合表1规定。5.3.9体积电阻率应按GB5594.5规定进行测试应符合表1规定。5.3.10击穿强度应按GB559

7、3中3.15条的规定进行测试。试样厚度h为釉层厚度，应符合表1规定。5.3.11密着性应按GB2633中第7条的规定进行测试并应符合表1规定。检验规则6.1检验批应由相同的原材料和制造技术，在同一生产线上生产的同种型号基片组成。6.2交收检验应根据表1、表2和表3要求按GB2828，一次正常检查抽样方案，进行逐批检验。6.3周期检验制造厂应按表1规定的项目要求(尺寸公差除外)，进行周期检验。样品数为10个时，允许不合格数为1，样品数为5个或z个时，不允许出现不合格。周期检验每年不得少于一次，当制造工艺和原材料作重大更改时

8、，也要进行周期检验。表3逐批检验方案分组项目要求合格质量水平(AQL)}检查水平(IL)尺寸及公差4.1条A组外观质t4.2条平面度表1B组S一4表面粗糙度Rd-<0.BBpmSJ/T10456-93注如有特殊要求可由供需双方协商解决。7振志、包装、贮存、运输7.1标志除合同或订单中另有规定外，每个内包装和外包装均应