roll-to-roll磁控溅射镀膜系统设计论文

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1、Roll-to-Roll磁控溅射镀膜系统设计论文Roll-to-Roll磁控溅射系统设计目录中文摘要..............................................................3英文摘要..............................................................41绪论................................................................51．1真空卷绕镀膜技术及设备的现状与发展..

2、............................51.1.1真空卷绕镀膜技术的应用领域...................................52磁控溅射原理及溅射沉积工艺参数.......................................52.1磁控溅射原理与磁控溅射物理过程..................................52.2磁控溅射的工艺参数...............................................62.2.1磁控溅射的功率......

3、.........................................62.2.2磁场强度.....................................................72.2.3溅射气压.....................................................72.2.4基片的温度...................................................73ROLL-TO-ROLL磁控溅射镀膜系统...................

4、.....................83.1ROLL-TO-ROLL磁控溅射镀膜系统的主要组成和工作过程..................83.1.1Roll-to-Roll磁控溅射系统的组要组成..........................83.2平面磁控溅射靶的类型选择.........................................84磁控溅射镀膜真空室的设计要求与原则..................................94.1设计参数........................

5、.................................94.2磁控溅射镀膜真空室的主要设计原则................................104.3磁控溅射镀膜室对抽气系统的要求..................................105ROLL-TO-ROLL磁控溅射真空镀膜室主要部分的设计与计算................115.1真空系统的设计与计算............................................115.1.1真空室壳体的类型选择.....

6、...................................115.1.2真空室壳体的计算............................................115.1.3抽气系统的设计与计算........................................115.1.4主泵的选择..................................................125.1.5计算扩散泵与真空室排气口管路的流导，验证选K-200型扩散泵是否合适................

7、..................................................125.1.6前级泵的选择................................................145.1.7抽气时间的计算..............................................141/29Roll-to-Roll磁控溅射系统设计5.2卷绕系统主轴的ANSYS分析........................................155.3真空室的气流速度和压强

8、的FLUENT分析.............................205.3.1气体压强分析................................................215.3.2气体的速