超硬材料薄膜涂层研究进展及应用

《超硬材料薄膜涂层研究进展及应用》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、中国农村医疗保险必须有商业保险公司进入，才能形成完整的医疗保障体系。面对巨大的农村医疗保险市场，保险公司却驻足不前，究其原因主要是缺乏政府政策支持，现有农村医疗卫生环境及其卫生管理体制与商业健康保险配套需求差距较大，风险较高。针对农村医疗保险市场，保险公司应积极主动地争取改善外部环境，同时应及早地制定公司进入战略，以获取新的保险业务增长点中国农村医疗保险必须有商业保险公司进入，才能形成完整的医疗保障体系。面对巨大的农村医疗保险市场，保险公司却驻足不前，究其原因主要是缺乏政府政策支持，现有农村医疗卫生环境及其卫生管理体制与商业健康保险配套需求差距较大，风险较高。针对农村医疗保险市场，

2、保险公司应积极主动地争取改善外部环境，同时应及早地制定公司进入战略，以获取新的保险业务增长点中国农村医疗保险必须有商业保险公司进入，才能形成完整的医疗保障体系。面对巨大的农村医疗保险市场，保险公司却驻足不前，究其原因主要是缺乏政府政策支持，现有农村医疗卫生环境及其卫生管理体制与商业健康保险配套需求差距较大，风险较高。针对农村医疗保险市场，保险公司应积极主动地争取改善外部环境，同时应及早地制定公司进入战略，以获取新的保险业务增长点中国农村医疗保险必须有商业保险公司进入，才能形成完整的医疗保障体系。面对巨大的农村医疗保险市场，保险公司却驻足不前，究其原因主要是缺乏政府政策支持，现有农村

3、医疗卫生环境及其卫生管理体制与商业健康保险配套需求差距较大，风险较高。针对农村医疗保险市场，保险公司应积极主动地争取改善外部环境，同时应及早地制定公司进入战略，以获取新的保险业务增长点文章来源毕业论文网www.biyelunwen.com.cn超硬材料薄膜涂层研究进展及应用文章来源毕业论文网www.biyelunwen.com.cn摘要：CVD和PVDTiN，TiC，TiCN，TiAlN等硬质薄膜涂层已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用，但仍然不能满足许多难加工材料，如高硅铝合金，各种有色金属及其合金，工程塑料，非金属材料，陶瓷，复合材料(特别是金属基和陶瓷基复合材料)等

4、加工要求。正是这种客观需求导致了诸如金刚石膜、立方氮化硼(c-BN)和碳氮膜(CNx)以及纳米复合膜等新型超硬薄膜材料的研究进展。本文对这些超硬材料薄膜的研究现状及化应用前景进行了简要的介绍和评述。关键词：超硬材料薄膜；研究进展；工业化应用1  超硬薄膜    超硬薄膜是指维氏硬度在40GPa以上的硬质薄膜。不久以前还只有金刚石膜和立方氮化硼(c-BN)薄膜能够达到这个标准，前者的硬度为50-100GPa(与晶体取向有关)，后者的硬度为50～80GPa。类金刚石膜(DLC)的硬度范围视制备方法和工艺不同可在10GPa～60

5、GPa的宽广范围内变动。因此一些硬度很高的类金刚石膜(如采用真空磁过滤电弧离子镀技术制备的类金刚石膜(也叫Ta：C))也可归人超硬薄膜行列。近年来出现的碳氮膜(CNx)虽然没有像Cohen等预测的晶态β-C3N4那样超过金刚石的硬度，但已有的研究结果表明其硬度可达10GPa～50GPa，因此也归人超硬薄膜一类。上述几种超硬薄膜材料具有一个相同的特征，他们的禁带宽度都很大，都具有优秀的半导体性质，因此也叫做宽禁带半导体薄膜。SiC和GaN薄膜也是优秀的宽禁带半导体材料，但它们的硬度都低于40GPa，因此不属于超硬薄膜。    最近出现的一类超硬

6、薄膜材料与上述宽禁带半导体薄膜完全不同，他们是由纳米厚度的普通的硬质薄膜组成的多层膜材料。尽管每一层薄膜的硬度都没有达到超硬的标准，但由它们组成的纳米复合多层膜却显示了超硬的特性。此外，由纳米晶粒复合的TiN／SiNx薄膜的硬度竟然高达105GPa，创纪录地达到了金刚石的硬度。    本文将就上述几种超硬薄膜材料一一进行简略介绍，并对其工业化应用前景进行评述。2  金刚石膜2．1金刚石膜的性质    金刚石膜从20世纪80年代初开始，一直受到世界各国的广泛重视，并曾于20世纪80年代

7、中叶至90年代末形成了一个全球范围的研究热潮(Diamond中国农村医疗保险必须有商业保险公司进入，才能形成完整的医疗保障体系。面对巨大的农村医疗保险市场，保险公司却驻足不前，究其原因主要是缺乏政府政策支持，现有农村医疗卫生环境及其卫生管理体制与商业健康保险配套需求差距较大，风险较高。针对农村医疗保险市场，保险公司应积极主动地争取改善外部环境，同时应及早地制定公司进入战略，以获取新的保险业务增长点中国农村医疗保险必须有商业保险公司进入，才能形成完整的医疗保障体系。面对