中国半导体硅材料(多晶、单晶)材料发展60年

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1、中国半导体硅材料(多晶、单晶)材料发展60年中国半导体硅材料(多晶、单晶)材料发展60年.txt你妈生你的时候是不是把人给扔了把胎盘养大？别把虾米不当海鲜。别把虾米不当海鲜。本文由狗狗上月球贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。创新?行业研究／中国半导体娃榭料（多晶、荦晶）橱斟发展６年　０中国半导体硅材料　（多晶　单晶）料发展６年　材　０－　口文／黎辉　朱能源、信息、材料是人类社会的三大支柱。半导体硅（多晶、单晶）材料则是电子信息产业（尤　其是集成电路产业）和新能源、绿色能源硅光伏产业的主体功能材料，

2、硅材料的使用量至今仍然占全　球半导体材料的９％以上，５是第一大电子功能材料，且早已是一种战略性的物资和产业。半个世纪以　来，美、日、德等国的十大公司一直垄断着半导体材料的技术、市场和销售，对我国进行封锁，严重　地制约着我国的现代化进程。　硅占地壳的四分之一，是地球上丰度最高的元素之一。我国已发现了高品位的硅（水晶、ＳＯ２）ｉ　矿１０４亿吨以上，一万年也用不完。　国际半导体硅材料的研发几乎与新中国的诞生同步。上世纪五十年代初开始了高纯度多晶硅生　产技术的研发，以后逐步成熟的是“改良西门子法（三氯氢硅氢还原法，占全球多晶硅总产量的　约８％）０”与　新硅烷

3、法（硅烷热分解法，占全球多晶硅总产量的２％）约０”。为了降低成本，适应硅　太阳能电池的需要，国内、外正在探索其它高纯度生产的低成本工艺。　１１年，９６波兰人切克劳尔斯基发明了拉制金属单晶的直拉Ｃ法工艺。１５年，Ｚ９１美国人蒂尔和利　特把Ｃ法移植到硅单晶生长工艺上来，Ｚ拉出了ｑ１０）０ｍｍ的单晶。１５年，９２美国人普凡采用高频感　应加热发明了硅单晶生长的无坩埚悬浮区域熔炼Ｆ法。此后Ｃ法和Ｆ法的工艺与设备的不断发展使　ＺＺＺ之成为现代硅单晶生产的主要技术。硅单晶加工的后道硅片的切、磨、抛、清洗等工艺在不断向大尺　寸、高精度迈进：微米技术、亚微米技术、深亚

4、微米技术、甚至纳米级加工技术的进步：硅外延片、　ＳＩＯ片、ＳＯＩＧ片、ＭＥ、ＮＥ等材料与工艺不断涌现满足了微电子技术、微纳电子技术及半导体　ＭＳＭＳ纳米电子技术等发展的要求。　中国半导体硅（多晶、单晶）材料发展历程大致经历了起步探索与快速发展两个阶段。　ｌＮＮ０ＶＡＴＩＯＮ?３Ｏ／　３１一、起步探索阶段（９０１８　１５－９４）的推动下，尤其是在近５年间我国硅光伏产业加　～６速大发展的拉动下（同期，国际国内太阳能级多晶　硅价格从２美元／斤不断暴涨至４０元／斤以　０公Ｏ美公上，且供应极度紧张，严重制约了我国的现代化建　设），我国政府各部委相继出台了一系列

5、推动硅材　这一阶段标志性的事件有：　１上世纪五十年代初，黄昆、谢希德、王守　、武、林兰英、沈华生、宛吉春等一批海外半导体学者　相继回国。　料技术发展的产业政策：　２０年国务院办公厅发布的关于“成电路和软　００集件产业若干政策”的１号文中关于硅单晶生产可以享　８受的增值税从１％降至６（以后又降至３）的政策　　７％％２、１５　６年，由北京大学、清华大学、南京大　９学、复旦大学和兰州大学抽调物理系应届毕业生，五　校联办，由一些回国的半导体学教师在北大半导体物　理师资班。这批学员于１５年学成专业回到原大学组　９８在当时我国硅材料行业极度困难转而高速发展的过程

6、　中所起的巨大作用，真实雪中送炭。　建半导体专业。１６年８我国开始有学半导体物理　　２月９专业的学生毕业。　３、此后，中科院内各相关研究所相继开展了一　系列有关半导体硅材料的研究工作。国内各高等院校　国家发改委、科技部、商务部联合编制的《当　前优先发展的高技术产业化重点领域指南（０４２０年　度）》第一部分“息”第１条“信　８电子材料”中，明　确提出多晶硅为近期产业重点。　国民经济和社会发展第十个五年计划…科技教　亦同时或先后开设了半导体物理、半导体器件、半导　体材料、电子信息材料等专业学科及微电子研究所或　研究院等研究机构。　４、同年代，与日本几乎同

7、步，有关研究所与企　业逐步开始了二氧化硅的碳还原、硫铝还原、四氯化　硅、锌还原、四氯化硅氢还原和三氯氢硅氢还原等工　艺制取高纯度多晶硅的技术开发。到１７年前后，　０９　我国有多晶硅企业近三十家，但其产能都在年产几十　吨水平，设备技术都相对落后，其还原工序的尾气都　未能处理，污染环境；能耗、物耗都很高，以后逐步　育发展重点专项规划（高技术产业发展规划）第三章　“要任务与重大工程、重点专项”第（）节“主二重　大工程和重点专项”中的二十个重点专项“电子、微　光电子材料”部分，也明确提出要自主发展与引进相　结合，迅速扩大产业规模，重点发展多晶硅等材料。　２０

8、年２２０５月８日我国第十届全国人大常委会第　十四次会议通过并颁布了《中华人民共和国可再生能　源法》，并与２０