中国半导体硅材料(多晶单晶)材料发展60年

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1、本文由狗狗上刀球贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到木机杳看。创新？行业研究/中国半导体娃榭料（多品、華品）橱斟发展6年0中国半导体硅材料（多晶单晶）料发展6年材0口文/黎辉朱能源、信息、材料是人类社会的三大支柱。半导体硅（多品、单品）材料则是电子信息产业（尤其是集成电路产业）和新能源、绿色能源硅光伏产业的主体功能材料，硅材料的使用罐至今仍然占全球半导体材料的9%以上，5是第一人电了功能材料，R早已是一种战略性的物资和产业。半个世纪以来，美、日、徳等国的十大公司一直垄断着半导体材料的技术、市场和销售，对我国进行封锁，严重地制约着我

2、国的现代化进程。硅占地壳的四分之一，是地球上丰度最高的元索之一。我国已发现了高品位的硅（水晶、S02）i矿104亿吨以上，—•万年也用不完。国际半导体硅材料的研发儿乎与新中国的诞生同步。上世纪五十年代初开始广高纯度多晶硅生产技术的研发，以后逐步成熟的是“改良西门子法（三氯红硅蛍还原法，占全球多晶硅总产量的约8%）0”与新硅烷法（硅烷热分解法，占全球多品硅总产量的2%）约0”。为了降低成本，适应硅太阳能电池的需要，国内、外正在探索其它高纯度生产的低成木工艺。11年，96波兰人切克劳尔斯基发明了拉制金属单晶的肓拉C法工艺。15年，Z91美国人蒂尔和利特把C法移植到硅单晶生长工

3、艺上来，Z拉HITq10）0mm的单品。15年，92美国人普凡采用高频感应加热发明了硅单品牛长的无I廿竭悬浮区域熔炼F法。此后C法和F法的工艺与设备的不断发展使ZZZ之成为现代硅单晶生产的主要技术。硅单晶加工的后道硅片的切、磨、抛、清洗等工艺在不断向大尺寸、高精度迈进：微米技术、亚微米技术、深亚微米技术、其至纳米级加工技术的进步：硅外延片、SI0片、S0IG片、ME、NE等材料与工艺不断涌现满足了微电了技术、微纳电子技术及半导休MSMS纳米电子技术等发展的要求。中国半导体硅（多晶、单晶）材料发展历程大致经历了起步探索与快速发展两个阶段。1NN0VATION?30/31起步

4、探索阶段（901815-94）的推动下，尤其是在近5年间我国硅光伏产业加〜6速人发展的拉动下（同期，国际国内太阳不断暴涨至40元/斤以0公制约了我国的现代化建设），我国政府各部委相继出这一阶段标志性的事件有：1上世纪五十年代初，黄昆华牛、宛吉春等一批海外半导体学能级多品硅价格从2美元/斤0美公上，且供应极度紧张，严重台了一系列推动硅材谢希德、王守、武、林兰英、沈者相继回国。料技术发展的产业政策：20年国务院办公厅发布的关于“成电路和软oo集件产业若T政策”的I号文中关于硅单品生产可以享8受的增值税从1%降至6（以后又降至3）的政策7%%2、156年，由北京人学、清华人学、

5、南京人9学、复旦人学和兰州大学抽调物理系应届毕业牛，五校联办，由一些回国的半导体学教师在北大半导体物理师资班。这批学员于15年学成专业回到原大学组98在当时我国硅材料行业极度«难转而高速发展的过程屮所起的巨人作用，真实雪屮送炭。建半导体专业。16年8我国开始冇学半导体物理2刀9专业的学生毕业。3、此后，中科院内各相关研究所相继开展了一系列有关半导体硅材料的研究工作。国内各高等院校国家发改委、科技部、商务部联合编制的《当前优先发展的高技术产业化重点领域指南（0420年度）》第一部分“息”第1条“信8电子材料”中，明确提出多晶硅为近期产业重点。国民经济和社会发展第十个五年计划

6、…科技教亦同时或先后开设了半导体物理、半导体器件半导体材料、电了信息材料等专业学科及微电了研究所或研究院等研究机构。4、同年代，与日本儿乎同步，冇关研究所与企业逐步开始了二氧化硅的碳还原、硫铝还原、四氯化硅、锌还原四氯化硅氢还原和三氯氢硅氢还原等工艺制取高纯度多品硅的技术开发。到17年前后，09我国有多晶硅企业近三十家，但其产能都在年产几十吨水平，设备技术都和对落后，其还原工序的尾气都未能处理，污染环境；能耗、物耗都很高，以后逐步育发展重点专项规划（高技术产业发展规划）第三章“要任务与重大工程、重点专项”第（）节“主二垂人工程和重点专项”中的二十个重点专项“电子、微光电子

7、材料”部分，也明确提出要自主发展与引进相结合，迅速扩大产业规模，重点发展多晶硅等材料。20年2205月8日我国第十届全国人人常委会第十四次会议通过并颁布了《中华人民共和国可再牛能源法》，并与20年元月106日正式牛效。20年3105月6日，国家发改委办公厅发布了“关于组织实施可再生能源和新能源高技术产业化专项通知”的“改办高技（05）59文”，把发展硅发200号关、停、并、转，一20年只剩下峨眉半导体材料厂04家，当年生产了6吨多晶硅。0515年，中科院半导体研究所，北京有色金属硏究院和公安部七0三厂中电集团第4硏究所现6光伏