新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus.ppt

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1、发之于心察之于微究之以底亲而为之新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus1课程内容SentaurusTCAD介绍与概述SentaurusWorkbench介绍与使用SentaurusProcessSimulator介绍与使用SentaurusStructureEditor介绍与使用SentaurusDeviceSimulator介绍与使用Sentaurus其他工具介绍2/110TCAD概述什么是TCAD？TCAD计算机辅助技术(TechnologyComputerAidedDesign)ProcessSimulation；DeviceS

2、imulationTCAD工具有哪些？SentaurusWorkbench(SWB)SentaurusProcess(sprocess)SentaurusStructureEditor(sde)SentaurusDevice(sdevice)TecplotSV/Inspect3/110Synopsys公司简介Synopsys公司总部设在美国加利福尼亚州MountainView，有超过60家分公司分布在北美、欧洲与亚洲。2002年并购Avant公司后，Synopsys公司成为提供前后端完整IC设计方案的领先EDA工具供应商。Sentaurus

3、是Synopsys公司收购瑞士ISE(IntegratedSystemsEngineering)公司后发布的产品，全面继承了ISETCAD,Medici和Tsuprem4的所有特性及优势。4/110TCAD概述T4/MediciSentaurusISESilvacosprocesssdesdeviceTCAD*_fps.tdr*_fps.cmd*_bnd.tdr*.tdr*_msh.tdr*.plt*_dvs.cmd*_des.cmdWorkbench(SWB)5/110TCAD概述T4/MediciSentaurusISESilvacos

4、processsdesdeviceTCAD*_fps.tdr*_fps.cmd*_bnd.tdr*.tdr*_msh.tdr*.plt*_dvs.cmd*_des.cmdWorkbench(SWB)6/110SentaurusWorkbench介绍与使用GettingStartedCreatingProjectsBuildingMultipleExperiments7/110Workbench基于集成化架构模式来组织、实施TCAD仿真项目的设计和运行，为用户提供了图形化界面，可完成系列化仿真工具软件以及诸多第三方工具的运行，以参数化形式实现

5、TCAD项目的优化工程。SWB的工具特征8/110SWB的工具特征SWB被称为“虚拟的集成电路芯片加工厂”SWB环境科集成Synopsys公司的系列化TCAD仿真工具，使用户在集成环境下实现TCAD仿真及优化。SWB基于现代实验方法学和现代实验设计优化的建模。用户可根据进程进行实验结果的统计分析、工艺及器件参数的优化。SWB支持可视化的流程操作，用户可方便地安排和检测仿真的动态过程。9/110安装在137服务器下利用putty软件在137中取得端口号：vncserver–geometry1280x960利用VNC软件登陆137服务器Gett

6、ingStarted10/110打开软件指令：source/opt/demo/sentaurus.envGENESISe&重装license指令su-（进入root，密码向机房管理员索取）/opt/sentaurus09/linux/bin/lmdown–c/opt/license/synopsys.dat(关闭license)/opt/sentaurus09/linux/bin/lmgrd–c/opt/license/synopsys.dat（安装license）exit(退出root权限)GettingStarted11/110Crea

7、tingProjects主菜单仿真工具菜单项目编辑环境12/110CreatingProjects13/110新建文件夹和项目CreatingProjects14/110构造仿真流程SP工艺仿真SE网格策略和电极定义SD器件特性仿真SE器件绘制以网格定义SD器件特性仿真CreatingProjects15/110CreatingProjects16/110BuildingMultipleExperiments17/110BuildingMultipleExperiments18/110BuildingMultipleExperiments1

8、9/110BuildingMultipleExperimentsParameter在cmd文件中的定义与使用:20/110TCAD概述T4/MediciSentaurusISES