TDI CCD光谱响应曲线测量技术研究-论文.pdf

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1、～一-：-一走—麓木ELECTRONIC电M子EAS测URE量MEN技T术TECHN0LOGY第203714卷年第5月5期TDICCD光谱响应曲线测量技术研究张馥生(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033)摘要：光谱响应曲线是探测器的重要技术参数之一，随着探测技术的发展，精确测量探测器的光谱响应曲线变得越来越重要。为了解决TDICCD光谱响应曲线检测精度较低、检测方法不够准确等问题，提出了一套科学而准确的高精度TDICCD光谱响应曲线检测方法分析了TDICCD光谱响应曲线的测量原理，采用了直接比较法测定待测T

2、DICCD的光谱响应曲线，基于具有稳定性高、优异响应能力的LED组，建立了光谱响应曲线的测量装置。计算所有波长的LED对应的TDICCD光谱响应度，绘制在405～89Onm波长范围的光谱响应曲线。实验获取了TDICCD光谱响应曲线，从曲线中可以看出，TDICCD光谱响应范围为：405~890nm。不确定度分析结果显示，TDICCD相对光谱响应度曲线的最大不确定度约为4．15，满足测量要求。关键词：TDIcCD探测器；光谱响应曲线；比较法；不确定度中图分类号：TN230434．1文献标识码：A国家标准学科分类代码：140．30

3、25MeasurementtechnologyforrelativespectralresponseoftheTDICCDZhangFusheng(ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China)Abstract：Tosolvetheproblemsaslowdetectionprecisionandlackofefficientdetectionmethods，amoresci

4、entificandaccuratemethodforspectralresponsedetectionofTDICCDwanputforward．Thespectralresponsecurveisoneoftheimportanparametersofdetector．Withthedevelopmentofdetecttechnique，accuratemeasureforthespectralresponsecurveofdetectorbecomesmoreandmoreimportant．Ameasureprin

5、ciplewhichisbasedonthedirectcomparisonmeasuringmethodforspectralresponsecurvemeasurementoftheTDICCDisintroduced．Basedonthescientific—gradespectrometerwithspectralresponse，ameasurementfacilitywasbuilt．BycalculatingthecorrespondingspectralresponseofTDICCDforLEDofallw

6、avelengths，itisdrawnthespectralresponsivitycurveofTDICCDinthewavelengthscopefrom405nmtO890nm．ThespectralresponsecurveoftheTDICCDwasobtained．ThecurveindicatesthatthespectralresponseofTDICCDisfrom405nmto890nm．Theanalysisoftheuncertaintyshowsthatthemostlargestuncertai

7、ntyofmeasurementforspectralresponsecurveoftheTDICCDis4．15andmeetstherequirement．Keywords：TDICCDdetector；spectralresponsecurve；comparisonmeasuring；uncertainty电荷量与入射照度成正比例地形成大小不等的电荷包空间1引言分布；然后利用移位寄存器将这些电荷包转移到电荷检测CCD电荷耦合器件是2O世纪70年代初发展起来的区，再经检测后输出，形成幅度不等的实时脉冲序列。新型半导体集成

8、光电器件。CCD器件以其自扫描、高分辨TDICCD探测器具有将接收到的光信号转换为电荷、率、易与计算机连接等特点，以及输出噪声低、动态范围大、在积分时间内积累电荷、将电荷以电荷包的形式暂时储存、量子效率高、电荷转移效率高、光谱响应范围宽、几何稳定按时钟转移和转换为电信号输出的功能。多光谱T