M-330MX就真空计校正方法.pdf

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1、真空探头更换过程及校正方法1.以手动模式初始化设备真空腔体的冷凝泵（使温度达到２０Ｋ或者更低）2.确认真空腔体内的气压达到1ATM（一个大气压）后，然后拆下晶体电离真空计（同样也要把电缆插头拔掉）3.彻底松开紧固的螺丝（见图片１），然后就可以取出顶端的真空探头4.插入新的真空探头，锁紧固定螺丝（真空探头前端一个凹槽环，螺丝要对准凹槽固定）5.晶体电离真空计安装于图２所示的腔体下，电缆插头也连接好6.执行真空计的校正．将晶体电离真空计ZERO开关开启5秒或更长时间后,[CRYSTAL]LED指示灯将由闪烁的红色变为橘红色闪烁的绿色(当绿灯亮

2、时,真空计默认值为1ATM)7.完成第6项后,检查晶体电离真空计(M-391)的显示值是否达到1X10PA或以上.如果没有达到该数值,晶体电离真空计的大气压值将逐渐变化,直至达到这个数值.8.确认冷凝泵温度变为20K或更低后,然后在手动模式下按下触摸屏上的[HIGHVACUUM]开关,开始高真空排气9.如果M-391真空计的显示值达到30Pa(SP2值),主阀将打开,然后冷凝泵将开始排气10.在主阀打开之后,让冷凝泵排气5分钟(这时真空计上显示的数值不是准确的)11.上述动作之后,将晶体电离真空计的[ZERO]再次打开1秒或以上.那时,[C

3、RYSTAL]LED指示灯将马上变成橘红色,然后变成闪烁的绿色.同时[B-A]LED指示灯也会亮.12.第11项的状态保持15分钟(这时变为校正状态),与此同时,真空计上显示的数值是波动的，但是将逐渐变稳定,[CRYTAL]LED指示灯将马上变为橘红色,每五分钟变换一次.13.第12项的动作完成后,按下触摸屏上的[N2SUPPLY]开关,然后开始充入氮气至1ATM至1ATM后,确认是否与第7项的显示值一样为1X10Pa15.如果第14项没有达到这个数值,将继续调整[ATM]值，直至达到1X10Pa16.结束图1图2