一种新型测温刀具的研制.pdf

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1、!"#$年%月机床与液压(789!"#$第%%卷第&期'()*+,-.//01*234(50+)6:;<9%%,;9&!"#!#"=>?$?@A9BCCD9#""#E>FF#9!"#$9"&9""G一种新型测温刀具的研制#!###郑晓峰!曾其勇!李柱!陈锋!蒋立正"#=浙江机电职业技术学院机械工程学院!浙江杭州>#""G>#!=中国计量学院质量与安全工程学院!浙江杭州>#""#F$摘要!采用磁控溅射法在b)H,刀具的前刀面上镀制,B)8和,B6B薄膜&形成一种新型的,B)8a,B6B薄膜热电偶测温刀具'详细阐述了薄膜热

2、电偶的制作过程&结合^6a!""G涂层附着力自动划痕仪和WCJaG$#"扫描电子显微镜分别测试分析了,B)8和,B6B薄膜的附着力和成分'通过现场切削试验表明&制备的,B)8a,B6B薄膜热电偶测温刀具能够实时(快速(准确地测量切削温度'关键词!薄膜热电偶#附着力#薄膜成分#测温刀具中图分类号!.b!&%VV文献标志码!(VV文章编号!#""#E>FF#"!"#$#"&E"#FE>!,:,0)+2,.%)*4O,;P,2+,/4%&/,E,41&/,2,.%-&%%5.

3、-,XkB;DY&0+jLS&)*-,IQDY&W+(,X0BeLQDY"#=6TL;;<;Z'QTLKDBTK<-DYBDQQ8BDY&jLQABKDY+DCPBPSPQ;Z'QTLKDBTK<1-#""G>&)LBDK#!=6TL;;<;ZkSK#""#F&)LBDK$=71%/46%!(DQN,B)8a,B6BP

4、LBDaZB

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6、QBD8QK,(;)/'1!.LBDaZBE%*!"前言压(溅射时间及基片偏压等'工艺条件的不同切削温度是影响切削加工的一个重要因素&尤其会影响薄膜的性能&如薄膜附着力(薄膜厚度(薄对于一些化爆材料来说&切削温度的变化会严重影响膜成分(薄膜形貌等'文中通过正交试验&在大量切削的安全性'目前&切削温度的测量方法有自然热的实验研究的基础上确定其最佳工艺参数如表#电偶法(人工热电偶法(

7、红外辐射测温法等)#E!*'这所示'些方法各有优点&但也存在着一些不足&比如前两者表#V磁控溅射参数需要将热电偶的一极埋入车刀内&这样影响了刀具的薄膜类型基片偏压@溅射时间@溅射功率@溅射气压@强度&同时动态性能也比较差#而辐射测温法容易受:JBD^bK到切屑等外部环境的干扰&影响测量的准确性',B)8E##">"?""9%G为了准确实时地测量高速切削温度&文中对传统,B6BE##"%"#"""9%"的切削温度测量方法进行了创新&即采用磁控溅射VV为了形成热电偶的热电极&在磁控溅射时需要覆法&直接在切削刀具的前刀面上制

8、备两种不同的金属盖掩膜板来实现&掩膜板如图#所示'首先使用掩膜电极",B)8a,B6B电极$&形成薄膜热电偶来测量切削板#覆盖b)H,数控刀具的前刀面&使用,B)8靶进温度'由于,B)8a,B6B薄膜热电偶热接点小(热容量行磁控溅射&于是刀具在掩膜板的空隙处就被溅射上小&因此可快速响应&实时动态地测量出切削温度的了,B)8'同理&