元器件老化和存储器老化测试系统.pdf

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1、工程论坛中国科技信息2005年第11期CHINASCIENCEANDTECHNOLOGYINFORMATIONJun.2005元器件老化和存储器老化测试系统蔡杰哈尔滨海格通江敏感技术公司摘要：为减少元器件在高速测试设备上的测试时间，采用在元器件老化的同时进行功能测试的方法，降低了测试成本。同时介绍国外存储器老化测试系统的种类和性能，及影响测试系统的整体性能的诸多因素。关键词：元器件；老化；老化系统；功能测试1，引言失效所需的时间。器件，将其存入的数据读出并与原来的值相比较，由于大多数存储器件具有引脚选通功能，因为了

2、提高元器件的可靠性，元器件的制造DriveVector此老化测试系统采用簇方式读回数据。某些系和使用企业通常要对元器件进行老化。老化的↓统具有很宽的数据总线，每一族可同时读取多效果直接影响到仪器仪表的运行是否正常，检DUT个元器件，再由电脑主机或单片机对元器件进测结果的准确性及其使用寿命。↓行划分。增加老化板上的并行信号数量可提高2，元器件的老化和老化系统ExpectVectors→比较速度，减少同一条并行信号所连元器件数，并且↓2.1，元器件的老化就是通过让元器件进行降低板子和元器件的负载特性。Pass/Fail

3、超负荷工作而使缺陷在短时间内出现，避免在图2存储器功能示意图5，国外存储器老化测试系统的种类使用早期发生故障。一般来讲，老化工艺通过工作环境和电气和性能比较老化系统中的“测试”可以是对元器件的每性能两方面对元器件进行苛刻的试验使故障尽国外存储器老化测试系统的生产厂商较多，一管脚进行基本信号测试，也可以是对老化板早出现。提高温度、增加动态信号输入以及把工设备用户主要为各存储器制造厂商和专业测试上的所有元器件几乎100%功能测试，这取决于作电压提高到正常值以上等等，这些都是加快公司，国内目前也开始研制这种老化测试系统，

4、器件的复杂性及所选用的老化测试，大型老化故障出现的通常做法；典型的半导体寿命曲线对存储器老化测试方法的研究也不断深入。在板的物理电气特性不能同只测试一个元器件的如图一所示。由图可见，主要故障都出现在元器2004年国内将推出我国自己生产的存储器老化小测试台相比，由于老化板上的容性和感性负件寿命周期开始和最后的十分之一阶段，元器测试设备。载对速度测试会造成一定影响，我们通常无法件在开始使用后的几小时到几天之内出现的缺由于老化测试系统的部分功能已经近似于在老化时进行所有功能测试。不过在某些情况陷（取新局面于制造工艺的成熟

5、程度和元件器专用测试系统，许多因素都会影响老化测试系下，运用特殊的关系设计技术在老化环境下进总体结构）称为早期故障。老化就是加快元器件统的整体性能，如系统对元器件测试方法的选行速度测试也是可能的。可以说对任何元器件在其寿命前10%部分的运动过程中，近使早期择；老化板的互连性、PCB设计以及偏置电路进行100%功能测试都是可以做到的，但是这样故障在几十小时或更短的时间内出现。的复杂性；计算机接口与数据采集方式；对高速采用的方法可能会减少老化板上的元器件密度，2.2，传统的老化方式和老化系统测试仪程序的下载及转换能力；

6、系统提供参数从而增加整体成本并降低IC老化数量。过去的老化系统设计比较简单，系统主要测试的能力、根据时间动态改变老化测试参数包括箱体、控制部分、加热器、冷却系统、直流4，存储器老化测试系统的能力以及计算机主机与测试系统之间的通信电源、驱动总分的老化板等。通过给老化板加上对存储器来说，在老化过程中进行测试是等因素，都会对系统的性能造成很大影响。直流偏压（静态老化）或动态驱动图形信号（动一种有效的筛选方法。下表为部分国外存储器老化测试系统生产态老化），同时施加一定的温度应力，使老化板由于在老化时可对元器件重复进行刷新测

7、厂商及主要产品的性能、指标：上的元器件在高温下进行带电工作，在规定时试，因此DRAM老化测试能够为后面的测试间（通常是168小时）后将元器件取出，在专业节省大量时间，刷新测试要求先将数据写入存测试设备上进行功能及参数测试，如果经过储器，再等待一段时间后使有缺陷的存储单元100%测试后仍然性能完好，就可以认为该元器放电，然后从存储件质量可靠。器中读回数据，通目前国内外此类的老化系统很多，制作水过比较找出有缺表1存储器老化测试系统生产厂商及主要产品性能/指标平也参差不齐。国内的元器件老化设备的生产陷的存储单元。将厂家主

8、要有杭可、中安等，产品主要包括各种规这部分测试放入模的IC动态老化系统和各种分立器件老化设备老化系统，意味着等。老化后的测试工3，在元器件老化的同时进行功能测试艺不必再进行这种很费时的检测，和传统的元器件老化的方法相比，在老化从而节省了时间。过程中进行功能测试的方法，可以将部分功能同时由于具有控测试移到老化时进行。制和数据采集软所谓功能测试，就是模拟芯片在实