semi_s2半导体制程设备安全准则

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1、SEMIS2半导体制程设备安全准则2003年9月29日Content:1.目的；2.范围；3.注意事项；4.参考标准；5.术语；6.安全理念；7.—般准则；&评估过程；9.提供给使用者的文件；10.危险性警告标志；11.安全连锁装置；12.紧急停机；13.电气安全；14.消防安全；15.化学物质加热槽；16.人体工学；17.危险能量隔离；18.机械设计安全；19.地震保护；20.白动机械设备；21.环境因索；22.排气；23.化学品安全；24.游离辐射安全；25.非游离辐射安全；26.激光安全；27.噪音1.目的(PURPOSE)为半导体制程设备

2、提供一套实用的坏保、安全和卫牛准则。2.范围(SCOPE)适用于所冇用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。3.注意事项(LIMITATIONS)3.1不可作为检验是否符合本地法规耍求的依据；3.2没有提供非常详细的半导体制程设备ESH准则；3.3参考了众多的国际性法规、标准等。但只是被引用的条文适川于此标准，并不是被引川的标准或法规等所冇条文都适用。4.参考标准(REFERENCEDSTANDARDS)4.1SEMIStandards4.2ANSIStandards(RadioFrequency)4.3CEN/CENELECStandards(E

3、xplosion)4.4IECStandards(Electrical)4.5ISOStandards(Robotmanipulation)4.6NFPAStandards4.7ACGIH(IndustrialVentilationManual)5.术语(TERMINOLOGIES)5.1不可燃物质(Non-combustiblematerial):在一般条件(anticipatedconditions)卜受热或在火焰中不可燃烧，也不支持燃烧或遇热不可释放出易燃蒸汽Z物质。典型不可燃物质有金属、陶瓷、石英等。5.2可燃物质(Combustible

4、material):具有火焰传播能力或不满足上述“不燃物质”定义之物质。5.3易燃气体(Flammablegas)：在101.3KPa和20°C下,可以和空气形成可被点燃的混合物的气体。5.4自燃物质(Pyrophoricmaterial):54.4°C以下在空气中可以自燃的化学品。5.5易燃液体(Flammableliquid):闪点小于37.8°C(100F)之液体。4.6游离辐射(Ionizingradiation):a、B、Y粒子,X射线，中子,高速离子,高速质子等所有在人体器官内可产生离子Z粒子或射线。1.7非游离辐射(Non-ioni

5、zingradiation):电磁波长在lOOnm以上者，包括普通电频、微波、红外线、紫外线及可见光等。3.8质量平衡(Massbalance):输入与输出的质量流率定性(或定.量)平衡。5.9灾祸(Mishap)：对人体造成死亡、伤害、职业病或对设备、财产、环境造成损失的未预计的或一系列的事件(events)。3.10职业曝露浓度极限(Occupationalexposurelimits,OELs):以一天T作8小时为计算基础。PEL,TLV等皆属于职业曝露浓度极限定义之专业名词。不同国家对PEL等的定义Z标准可能不一致。5.11牛殖毒害品(R

6、eproductivetoxicant):己证实或怀疑对胚胎产牛畸形危险，或对胚胎发冇及人体生殖功能有明显负面彩响的化学物质。5.12风险(Risk)：以危害严重性和危害机率表示发生灾难的可能性。5.13速度压力(Velocitypressure,VP)：使空气速度从零到要求的速度所需耍的压力值。VP和空气流的动能成正比。5.14失效也是安全的(Fa订Safe):一种设计,当系统中任何组件失效时,不可造成危险的升级。比如：一个具有失效也是安全设计的温度控制仪，如果失效，会立即停止制程，但同吋还可以指示实际温度值。5.15危害性制程物料(Hazar

7、dousProductionMaterial,HPM):一种固体、流体或气体,其危险程度依YFPA704标准之等级归类在健康危害、易燃性或反应性为3或4,肓接用于研究、实验室或生产制程者，几其最终产品不具任何危害性。5.16无线电频率(RadioFrequency,RF)：频率范围由3KHz到300GHz的电磁波。微波是频率300MHz到300GHz之电磁波。5.17连锁(Interlocks)：硬件连锁——种由电气机械组件、电缆线或光连结，己经程序设定好的机械控制电路。当电路被切断时，最终的控制部份无法操作。软件连锁一计算器控制程序。在其支配Z

8、下，装置可或不许被人操作。任何涉及不同程度的安全，软件安全连锁需要硬件安全连锁作支持。5.18物质安全资料表(MaterialSafet