semis2半导体制程设备安全准则

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1、专业技术资料分享SEMIS2半导体制程设备安全准则2003年9月29日Content:1.目的；2.范围；3.注意事项；4.参考标准；5.术语；6.安全理念；7.一般准则；8.评估过程；                           9.提供给使用者的文件；10.危险性警告标志；11.安全连锁装置；12.紧急停机；13.电气安全；14.消防安全；15.化学物质加热槽；16.人体工学；17.危险能量隔离；18.机械设计安全；19.地震保护；20.自动机械设备；21.环境因素；22.排气；23.化学品安全；24.游离辐射安全；25.非游离辐射安全；26.激光安全；27.噪

2、音1. 目的(PURPOSE)为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。2.范围(SCOPE)适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。3.注意事项(LIMITATIONS)3.1不可作为检验是否符合本地法规要求的依据；3.2没有提供非常详细的半导体制程设备ESH准则；3.3参考了众多的国际性法规、标准等。但只是被引用的条文适用于此标准，并不是被引用的标准或法规等所有条文都适用。4.参考标准(REFERENCEDSTANDARDS)4.1SEMIStandards4.2ANSIStandards(RadioFrequency)4.3CEN/CENELECSt

3、andards(Explosion)4.4IECStandards(Electrical)4.5ISOStandards(Robotmanipulation)4.6NFPAStandards4.7ACGIH(IndustrialVentilationManual)5.术语(TERMINOLOGIES)5.1不可燃物质（Non-combustiblematerial）：在一般条件（anticipatedconditions）下，受热或在火焰中不可燃烧，也不支持燃烧或遇热不可释放出易燃蒸汽之物质。典型不可燃物质有金属、陶瓷、石英等。5.2可燃物质(Combustiblemate

4、rial)：具有火焰传播能力或不满足上述“不可燃物质”定义之物质。 5.3易燃气体(Flammablegas)：在101.3KPa和20℃WORD资料可编辑专业技术资料分享下，可以和空气形成可被点燃的混合物的气体。5.4自燃物质(Pyrophoricmaterial)：54.4℃以下在空气中可以自燃的化学品。5.5易燃液体(Flammableliquid)：闪点小于37.8℃（100F）之液体。5.6游离辐射(Ionizingradiation)：α、β、γ粒子，X射线，中子，高速离子，高速质子等所有在人体器官内可产生离子之粒子或射线。5.7非游离辐射(Non-ionizi

5、ngradiation)：电磁波长在100nm以上者，包括普通电频、微波、红外线、紫外线及可见光等。5.8质量平衡(Massbalance)：输入与输出的质量流率定性(或定量)平衡。5.9灾祸(Mishap)：对人体造成死亡、伤害、职业病或对设备、财产、环境造成损失的未预计的或一系列的事件(events)。5.10职业曝露浓度极限(Occupationalexposurelimits,OELs)：以一天工作8小时为计算基础。PEL,TLV等皆属于职业曝露浓度极限定义之专业名词。不同国家对PEL等的定义之标准可能不一致。 5.11生殖毒害品(Reproductivetoxic

6、ant)：已证实或怀疑对胚胎产生畸形危险，或对胚胎发育及人  体生殖功能有明显负面影响的化学物质。5.12风险(Risk)：以危害严重性和危害机率表示发生灾难的可能性。5.13速度压力(Velocitypressure,VP)：使空气速度从零到要求的速度所需要的压力值。VP和空气流的动能成正比。5.14失效也是安全的(FailSafe)：一种设计，当系统中任何组件失效时，不可造成危险的升级。比如：一个具有失效也是安全设计的温度控制仪，如果失效，会立即停止制程，但同时还可以指示实际温度值。5.15危害性制程物料(HazardousProductionMaterial,HPM)

7、：一种固体、流体或气体，其危险程度依NFPA704标准之等级归类在健康危害、易燃性或反应性为3或4，直接用于研究、实验室或生产制程者，且其最终产品不具任何危害性。5.16无线电频率(RadioFrequency,RF)：频率范围由3KHz到300GHz的电磁波。微波是频率300MHz到300GHz之电磁波。 5.17连锁(Interlocks)：硬件连锁─一种由电气机械组件、电缆线或光连结,已经程序设定好的机械  控制电路。当电路被切断时，最终的控制部份无法操作。软件连锁─计算器控制程序。在其支配之下，装置可或不许