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1、建材世界2014年第35卷第3期doi:10.3963/j.issn.1674-6066.2014.03.025磁控溅射铝镜生产中的关键技术问题及解决办法刘增喜,张金镌(青岛环球集团股份有限公司,青岛266400)摘要:磁控溅射铝镜生产线经过合理设计配置了真空溅射镀膜段,自动化程度高,大幅度降低了磁控溅射铝镜生产线的造价,实现了磁控溅射铝镜的低成本、高效率生产,是制镜行业生产设备的转型升级,也进一步实现了大型镀膜设备的国产化。该文针对在真空镀铝过程中经常遇到的问题做了简要阐述,同时针对这些问题给出了相应的修改建议。关键词:镀膜室;跑偏;漆刀;漆膜KeyTechnologicalIssuesan
2、dSolutionsDuringtheProductionofMagnetronSputteringAluminumMirrorLIUZeng-xi,ZHANGJin-jun(QingdaoHICORPGroupCo,Ltd,Qingdao266400,China)Abstract:Themagnetronsputteringaluminummirrorproductionlinedistributedwithvacuumsputteringcoatingsectionthroughproperdesignimprovesthelevelofautomation,remarkablydecre
3、asesthecostofproductionlineanda-chievestheeffectiveproductionofmagnetronsputteringaluminummirrorwithlowcost,whichisatransformationandupgradingofproductionequipmentofmirrormakingindustryandimplementsdomesticationoflargescalecoatinge-quipment.Thisarticlebrieflyillustratesissuesoccurredintheprocedureof
4、vacuumaluminumcoatingandproposesrelevantmodificationagainsttheseissues.Keywords:coatingroom;deviation;paintknife;paintfilm磁控溅射铝镜生产线结构复杂,涵盖机械设计制造、真空技术、物理学、材料学、力学和控制工程等多方面的学科知识,在生产过程中遇到了诸多技术难题。该文分析了真空镀铝过程中经常遇到的问题,并给出了相应的参考意见。1真空镀膜室的密封真空镀膜室的密封性是控制真空度的关键,也是控制镀膜质量的关键。真空镀膜室是九室八锁,除四五六室相通外,其他每个室与外界都是完全隔离的,只
5、是在玻璃通过时真空锁才瞬间打开,然后瞬间关闭。因此,真空镀膜室在焊接加工过程中对密封性要求很高。为提高真空室的密封性,首先在焊接过程中全程采用氩弧焊和手工电弧焊,并要求连续焊接,无漏焊、气孔、虚焊、焊瘤、夹渣等焊接缺陷。其次,在真空室安装完成进行试机时,用氮质谱检漏仪进行检漏,检出漏点重新进行补焊再检漏,直至极限压力达到3×10-3Pa,升压率低于1Pa/h。1)采用直流磁控溅射镀膜工艺,磁控靶采用旋转模式。2)真空镀膜室为九室八锁,真空锁的锁板用铝材加工而成,锁板开关由电磁换向阀、气缸、传动齿轮齿条驱动,密封性能好。3)粗抽真空室采用台阶式抽气模式,盖板为下凹型,传动轴之间设置填充方管可大幅
6、减少抽真空的时间,提高生产效率。收稿日期:2014-02-10.作者简介:刘增喜(1963-),高级工程师.E-mail:hi.corp@163.com91建材世界2014年第35卷第3期4)破真空充气系统采用双层槽式分流结构,避免了玻璃板因破真空充气系统破裂而导致的停机,降低了玻璃板原料的损耗,节约了成本。5)抽真空系统分为粗抽和精抽,可分级自动控制。6)扩散泵的加热电流都依据电流表分别显示其加热电流大小,方便监控扩散泵电炉丝是否正常工作。7)水冷系统有断水保护装置,水压不足或断水时,报警器就会发出连续响声,同时自动关闭扩散泵加热电源及磁控靶电源。8)旋转靶、真空机组各为独立的闭环式冷却水系
7、统,配置冷却塔后可循环使用,节约了生产用水。9)传动轴为铝合金管轴,重量轻,转动惯性小,使玻璃定位准确。2玻璃的跑偏磁控溅射铝镜生产线总线长200~300m,输送速度3~6m/min,基片在输送过程中会由于各种原因产生横向偏移。当偏移量达到12mm/m时,真空镀膜会受到影响,因此必须解决玻璃输送过程中的跑偏问题。玻璃的跑偏跟安装过程及输送辊道的质量都有密切的关系。辊道有胶辊、全胶辊、海绵辊等特殊材
