磁控溅射卧式铝镜生产中的关键问题及解决办法

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1、磁控溅射铝镜生产中的关键技术问题及解决办法青岛环球集团股份有限公司刘增喜磁控溅射铝镜生产线结构复杂，涵盖机械设计制造、真空技术、物理学、材料学、力学和控制工程等多方面的学科知识，在生产过程中遇到了以下几个关键技术难题：1.真空镀膜室的密封问题真空镀膜室的密封性是控制真空度的关键，也是控制镀膜质量的关键。真空镀膜室是九室八锁，除四五六室相通外，其他每个室与外界都是完全隔离的，只是在玻璃通过时真空锁才瞬间打开，然后瞬间关闭，因此真空镀膜室在焊接加工过程中对密封性要求很高。为提高真空室的密封性，首先在焊接过程中全程采用氩弧焊和手工电弧焊焊接，焊接要求连续焊接，无漏焊、气孔、虚焊、焊瘤、夹渣等焊接缺

2、陷；其次在真空室安装完成进行试机时，用氮质谱检漏仪进行检漏，检出漏点重新进行补焊，再检漏，直至极限压力达到3x10-3Pa时，升压率低于1Pa/h。⑴采用直流磁控溅射镀膜工艺，磁控靶采用旋转模式；⑵真空镀膜室为九室八锁，真空锁锁板用铝材加工而成，锁板开关由电磁换向阀、气缸、传动齿轮齿条驱动，密封性能好；⑶粗抽真空室采用台阶式抽气模式，盖板为下凹型，传动轴之间设置填充方管可大幅减少抽真空的时间，提高生产效率；⑷破真空充气系统采用双层槽式分流结构，避免玻璃破碎；避免了玻璃板因破真空充气破碎而停机，降低玻璃板原料的损耗，节约成本。⑸抽真空系统分为粗抽和精抽，可分级自动控制；-9-⑴扩散泵的加热电流

3、都有电流表分别显示其加热电流大小，方便监控扩散泵电炉丝是否正常工作；⑵水冷系统有断水保护装置，水压不足或断水时，报警器就会发出连续响声，同时自动关闭扩散泵加热、及磁控靶电源；⑶旋转靶、真空机组各为独立的闭环式冷却水系统，配置冷却塔后可循环使用，节约了生产用水；⑷传动轴为铝合金管轴，重量轻，转动惯性小，使玻璃定位准确；1.玻璃的跑偏问题磁控溅射铝镜生产线总线长200~300m，输送速度3~6m/min，基片在输送过程中会由于各种原因产生横向偏移，当偏移量达到12mm/m时，真空镀膜会受到影响，因此必须解决玻璃输送过程中的跑偏问题。玻璃的跑偏跟安装过程及输送辊道的质量都有密切的关系。辊道有胶辊、

4、全胶辊、海绵辊等特殊材质辊道，其材质特性决定了辊道的直线度和圆度不好控制，为解决这个问题，我们在套上胶圈后，通过加工胶圈外表面来保证要求。安装过程中必须找正，调试，保证玻璃整线的跑偏量控制在±50mm以内。⑴自动上片机机械式翻转，全智能人机界面，可一次性自动设定各种参数，无需反复操作；⑵输送台是采用同步带输送，其升降由一套联动机构来操作，包括机架与位于其上方的输送平台。输送平台的底面固设承托支架，机架底部设置气缸与升降托架，气缸尾部与机架形成铰接相连，气缸伸缩轴端与升降托架形成铰接相连，机架的台面上均布铰接若干摆动件，摆动件的底端与升降托架形成铰接相连，摆动件的顶端与承托支架形成铰接相连。-

5、9-本机构是由一个动力设备来带动组件实现摆动，确保动作一致，平稳运行，减少了输送台的倾斜及颤动；并减省多台设备，降低成本；其操作实现独立性和可调节性，使得升降平台的高度可根据使用要求进行设计调节。升降平台升起时的外观图（图1-1）图1-1升降平台落下时的外观图（图1-2）图1-2⑴同步带采用新型带轮涨紧装置。-9-本带轮的张紧装置包括同步带轮与中轴，同步带轮套设于中轴上形成转动连接，中轴的两端处呈对称设置带轮支板，带轮支板上开设导滑槽，中轴的两端固设滑块，滑块嵌入导滑槽中形成滑动连接，滑块上连设调位机构。本带轮的张紧装置结构简单、实用可靠且易操作，既可长距离调节，也可微调，既满足了使用过程中

6、方便拆卸更换同步带的需要，又满足了正常运行时同步带张紧的需要；同时确保同步带平稳运行，实现即时调节，无需停机，无需特殊工具（见图1-6）。图1-31.电气失灵的保护问题自动上下片时，可能会因为电气失灵，而导致吸盘架无法控制，撞向玻璃架，造成损失。为解决这个问题，我们将吸盘架机械翻转机构设计为可往复旋转，吸盘架的自由翻转范围控制在-5°~100°，而吸盘架的工作范围是0°~95°，因此当电气失灵时，吸盘架仍然在安全区域内进行翻转，避免了意外事故的发生。2.加工难度和加工精度高磁控溅射铝镜生产线关键部套的加工精度要求很高，例如淋漆机的漆刀等主关键，还有部分大件在加工时也遇到了一些困难。-9-为了

7、提高加工件的精度，首先我们配置了大量的数控车床和立式、卧式加工中心，从硬件上提供了保证；其次，我们对关键的、要求精度高的零件，反复论证，确定了专用的工装和合理的加工工艺。1.漆刀的安装问题漆膜的厚度是通过控制漆刀和导油辊筒之间的间隙来调整的，本配置中的淋漆机漆刀垂直安装，漆刀底部有油漆接收槽，漆刀的调整有粗调和微调两种方式，既可操作手柄通过调整偏心套来调整导油辊筒和平面漆刀的间隙，达到粗调的目的，又可通过调整