mtl-pi-010蚀刻工序作业指导书

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1、文件修改记录页码版本修改内容生效日期ALLA.0首次颁布2006-8-30ALLA.1修订蚀刻参数2006-12-26ALLA.24.4工艺参数及操作条件更改2007-1-18受控文件保管者记录序号分发单位总页数：共5页1电镀班编制：审核：批准：1.0目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓Z教材。2.0适用范围本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。3.0职责电镀班具休负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。4.0作业内容4.1作业流程4.1.1内层（负片）蚀刻作业流

2、程烤板一检查一蚀刻〜氨水洗一压力水洗一水洗一退膜一清洗一烘干一蚀检一转黑化工序4.1.2镀锡板蚀刻作业流程退膜一检查〜蚀刻〜氨水洗一压力水洗水洗一强风吹干f自检〜退锡〜烘干-蚀检一转下工序4.1.3镀金板蚀刻作业流程退膜一检杳一蚀刻一氨水洗一压力水洗一水洗一强风吹干一口检〜酸洗〜清洗烘干一蚀检一转下工序4.1.3若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.Io蚀刻工序设备及物料清单蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、蚀刻了液、褪铅锡约水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。基本流程说明4.3.14.3.24.3.34.

3、3.44.24.3退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜。蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上Z多余铜而除去。退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。4.4槽名控制成份控制范围操作条件分析频率退膜NaOH2%〜5%喷淋室温2次倜退膜速度0.8〜1.5m/min蚀刻Cu2+130~145g/L喷淋压力：A泵上压3.0±0.IKg/cm1次/天cr160~200g/L1.190-1.200］次/班PH7.8〜&2槽名控制成份控制范围操作条件分析频率工艺参数及操作条件1/40Z:4.5~5m/minHOZ：3.

4、5~4.5m/min10Z:2.0-2.5m/min20Z:1.2~1.4m/min蚀刻放板速度下压3.0±0.IKg/cm2B泵上压2.8±0.2Kg/cm230Z:0.9〜l.lm/minb压2.4±0.2Kg/cm2温度：48±2°C4OZ:0.6~0.8m/min5OZ以上厚铜板请工艺跟进制作。退锡1.15-1.35喷淋1次/天输送速度1.0〜3.0m/min30°C4.5工艺维护4.5.1退膜槽配槽4.5.1.1打开槽底排水开关和水泵，把废液抽至污水处理站，抽完后关闭水泵。4.5.1.2戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，关闭排水开关，注满清水；4

5、.5.1.3开启电源与泵浦，对整个槽体全面喷洒5min,然后关闭电源与泵浦;4.5.1.4打开盖板，用清洗工具彻底清洗槽内壁；4.5.1.5打开槽底排水开关，把废液排出，并用高压水枪冲洗干净；4.5.1.6将槽内注入3/5槽体积的清水；1.7另用一小槽注满水，加入9kgNaOH,搅拌至完全溶解4.5.1.8将泵浦电源打开，让水流动起來，再緩緩将NaOII溶液倒入槽内；4.5.1.9添加完成后，循环20min,使药水达到完全搅拌均勻；4.5.1.10通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。4.5.2每月对蚀刻清洗维护一次，步骤如下：4.

6、5.2.1戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，接好冋收管路；把母液抽至储存槽，盖上纸盖以避免PH值过低；4.5.2.2用清水冲洗干净蚀刻槽，排掉废水；4.5.2.3加入2/3槽体积的清水，然后再加入10ml/L的工业盐酸，再加水至液位，开机循环搅拌30min；4.5.2.4排掉盐酸清洗废液，用清水彻底清洗槽内、槽盖等部件；4.5.2.5拆下上下喷嘴，清理干净后按原位置安装上去；4.5.2.6在槽内注入4/5休积的清水，加入1/5槽休积的新液；4.5.2.7檢查各视窗盖板是否盖好，确认ok后，将循环泵浦与药水泵浦及摆动开启，喷淋1小时；4.5.2.8检查喷管、

7、喷嘴有无堵塞（并疏通堵塞的喷管、喷嘴）；4.5.2.9将废液抽到废液储存槽，用碎布擦拭槽壁，并清理槽底残余的朵质,及用高压水枪沖洗槽休（注意將水排干净）；4.5.2.10通过冋收管道及冋收泵浦将母液从储存槽抽冋至蚀刻槽内；2.11打开循环泵浦与药水泵浦讣药水循环起來，并适当添加一瓶純氨（2L）；4.5.2.12通知化验人取样化验，齐项管控点都在要求范围Z内后方可进行生产。4.5.3退锡4.5.3.1开缸4、用清水冲洗干净退锡槽；b、注入10LHNO：；开启喷嘴喷洒30min,检查喷嘴是否正常；c、直接排出废液，用清水冲洗干净；d、注入200LPC2000即

8、可开始生产。4.5.3.2维护a、当比重达到1.35吋，更换整缸药