外层蚀刻作业指导书

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1、外层蚀刻（SES线）作业指导书编写部门编写人编写人签名/日期审核人签名/日期批准发行口期1・0目的为电镀部SES线建立标准操作指引，指导生产操作人员正确操作，保证品质。2.0适用范围本文件适用于电镀课SES线。3.0定义和职责有无去膜不净、线路夹膜等现象。退锡退膜检査1r碱性蚀刻1蚀刻检查f▼结束a.作业员按照参数点检农进行点检，确保无并常后生产。b.作业员检查喷咀是否堵塞，冇堵塞情况则要立即清除。c.退膜药水升温到控制范围后先做二片首板确认无退膜不净再批虽生产。a.开启蚀刻电源开关，升温至工艺范围。b.作业员按照参数点检表进行点检，确保无异常后生产。c.作业员检查喷咀是否堵

2、塞，冇堵塞情况则要立即清除。d.做首板时按不同铜箔厚度调整蚀刻传送速度，确认无蚀刻不净、线宽线距符合品质要求后确认蚀刻速度。•生产时一般采用将线隙较小或线路较密的一面朝下蚀刻的原则。检查蚀刻不净，将有蚀刻不净的板挑出并调整蚀刻参数并进行相应改善，并对蚀刻不净的板调整蚀刻速度后重新蚀刻，注意幼线。a.开启退锡电源开关。b.先放2PNL首板确认无退锡不净后调整速度。a.接板时注意板面质量。b.每1PNL板收板时必须隔胶片，以防刮伤。c.板与板传送方向要冇3〜5cm的间距，板边距机器内壁冇3〜5cm的间距,以免造成叠板。a.关闭各段电源，排放所有水洗缸内的废水并冲洗掉。.关闭各水洗

3、缸阀门。6.2工艺参数:线别项II要求范围反应计划测试频率退膜退膜喷淋压力（膨松、退膜）2.0-3.Okg/cm2调整1次/4IINaOIl浓度（膨松、退膜）1.0-3.0%调整1次/班溢流水洗压力1.0-3.Okg/cm'调整1次/4H温度（膨松、退膜）45-55°C调整1次/4H蚀刻Cu2>120-170g/L调整1次/班Cl175-220g/L调整1次/班SG1.19-1.23调整1次/班PH&0-&8调整1次/班蚀刻喷淋压力见6.4调整1次/4H蚀刻液温度45-55°C调整1次/4II加压水洗压力2.0-3.Okg/cm'调整1次/4H烘干温度75-85°C调整1次/

4、4H氨水洗压力1.0-3.Okg/cm2调整1次/4H退锡烘干温度75-85°C调整1次/4H喷淋压力1.5-2.5kg/cm2调整1次/4H退锡液温度W35°C调整1次/4II6.3退膜速度控制在2.0-4.Om/mino6.4蚀刻参考参数^底铜厚度蚀刻控制WH/H0Z$1/1oz22/2oz上喷压力2.0-2.2kg/cm22.0-2.5kg/cm22.0~3.0kg/cm"下喷压力0.6-1.0kg/cm21.2-2.0kg/cm21.5-2.0kg/cm2蚀刻速度4.0-5.4m/min1.5-3-5m/min1.0~2.Om/min注:蚀刻工作槽为子液添加时参考参数

5、实际以首板制作结果为准调整蚀刻速度6.5退锡速度:1.5-4.0m/min,退锡液温度严禁超过35°C。6.6自动加料器控制：6.6.1每周出化验室对自动加料器电子比重进行测定，保证浮子能正常工作。6.6.2生产部每隔1H检查自动加料器加料口是否正常，如有异常，及吋知会相关人员。7.0注意事项7.1从车架上取板时轻拿轻放，避免划伤锡保护膜蚀刻吋造成开路。7.2蚀刻后检验时发现冇蚀刻不净的板每1PXL板之间须垫胶片，不允许叠板，待调整蚀刻速度丿j亍重新蚀刻。7.3退锡烘干后收板每1PNL都必须垫胶片，防止刮伤板面。7.4添加强酸(H2SO.J、强碱(NaOH)药水时应戴好防护面

6、具、耐酸碱手套，穿好水鞋，严格按规定操作。7.5蚀刻段上下喷管喷淋压力分别曲两个不同的阀门控制。前段喷管为横向设计，并各配一个总压力表；后段喷管为竖向设计，每条喷管都配有压力表，可通过各自阀门进行压力调整.严禁员工调整蚀刻后段喷嘴压力，遇到问题及时反馈给当班组长或课长解决。7.6药液操作注意事项：7.6.1蚀刻液操作注意事项7.6.1.1定期检查自动控制比重和槽液比重是否符合而做适当校正。7.6.1.2每口使用子液冲洗蚀刻机前后进出之滚轮，避免氯化铜的积累，造成卡板。7.6.1.3长期不使用时口J添加3-5%的子液，改善氨水过量挥发导致PH值过低。7.6.1.4停机超过45天

7、需对蚀刻段做月保养。7.6.2退锡液操作注意事项：7.6.2.1严禁强碱进入槽液。因强碱会与退锡水发生强烈的中和反应，造成槽液沸腾，其至损坏设备，故退锡槽禁止混入此类物质。7.6.2.2设备上应有排气装置，避免现场生产人员不适。此排风管应与其他碱性药液排风管分离避免异常。7.6.2.3铜离子会使药液中的铜保护剂分解，须避免裸铜板放入槽液中，重工板退锡将速度调快，以刚好除去为准。7.6.3设备操作注意事项7.6.3.1每周检查一次链轮、链条、轴承有无磨损、松动、清除汕污并加润滑汕。7.6.3.2每周清理风