第11章智能传感器

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1、第11章智能式传感器11.1概述11.2传感器的智能化11.3集成智能传感器11.1概述11.1.1智能式传感器的概述智能式传感器（Intelligentsensor或Smartsensor）利用计算机技术与传感器技术相结合智能式传感器，就是一种带有微处理机的，兼有信息检测、信号处理、信息记忆、逻辑思维与判断功能的传感器。传感器与微处理机结合途径：智能传感器,又称传感器的智能化。传感器与微处理机可分为两个独立部分集成智能传感器借助于半导体技术把传感器部分与信号预处理电路、输入输出接口、微处理器等制作在同一块

2、芯片上11.1.2智能传感器的功能和构成和传统的传感器相比，智能化传感器具有以下功能：①具有逻辑判断、统计处理功能。②具有自诊断、自校准功能。③具有自适应、自调整功能。④具有组态功能。。⑤具有记忆、存储功能。⑥具有数据通讯功能。智能传感器的结构框图11.2传感器的智能化11.2.1传感器的智能化概念智能传感器主要由传感器、微处理器及其相关电路组成。传感器将被测的物理量转换成相应的电信号,送到信号调理电路中,进行滤波、放大、模-数转换后,送到微处理机中。微处理机是智能传感器的核心,它不但可以对传感器测量

3、数据进行计算、存储、数据处理,还可以通过反馈回路对传感器进行调节。微型计算机或微处理机是智能式传感器的核心--软件实现对测量过程的各种控制、逻辑判断和数据处理以及信息输送等功能。控制功能包括：键盘控制功能量程自动切换功能多路与多路通道切换功能数据极限判断与越限报警功能自诊断与自校正功能11.2.2传感器的智能化实例智能式应力传感器的软件结构图11.3集成智能传感器11.3.1集成智能传感器的发展方向传感器的发展集中在集成化和智能化两个方面。传感器的集成化是指将多个功能相同或不同的敏感器件制作在同一个芯片上构

4、成传感器阵列。集成化主要有三个方面的含义：一是将多个功能完全相同的敏感单元集成在同一个芯片上，用来测量被测量的空间分布信息二是对多个结构相同、功能相近的敏感单元进行集成三是指对不同类型的传感器进行集成，智能化是将传感器(或传感器阵列)与信号处理电路和控制电路集成在同一芯片上。系统能够通过电路进行信号提取和信号处理，根据具体情况自主地对整个传感器系统进行自检、自校准和自诊断，并能根据待测物理量的大小及变化情况自动选择量程和测量工作方式。和经典的传感器相比，集成智能传感器能够减小系统的体积，降低制造成本，提高测量

5、精度，增强传感器功能，是目前国际上传感器研究的热点，也是未来传感器发展的主流。11.3.2智能传感器的研究热点1.物理转化机理由于智能传感器可以很容易对非线性的传递函数进行校正，消除了非线性传递函数对传感器应用的制约，这些稳定性好、精确度高、灵敏度高的转换机理或材料重新进行研究。2.数据融合理论数据融合通过分析各个传感器的信息，并依据一定的原则进行判断，作出正确的结论。数据融合技术能够利用其互补性、冗余性，提高测量信息的精度和可靠性，进而实现识别、判断和决策。3.CMOS工艺兼容的传感器制造与集成封装技术1

6、1.3.3集成智能传感器系统举例1.混合集成压力智能传感器混合集成压力智能传感器是采用二次集成技术制造的混合智能传感器2.多路光谱分析传感器3.三维多功能单片智能传感器