离子氮化炉(操作说明书)

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1、4北京电炉厂辉光离子氮化炉操作说明北京电炉厂北京世纪金工电炉有限公司4北京西城南菜园乙15号电话/传真010-635450504北京电炉厂一、准备：检查设备各部状态正常。工件清洗干净，不得有油污等影响工作的缺陷。工件的小孔和窄缝须屏蔽。二、操作：1、工件清洗干燥后，装炉。工件码放均匀及间隙足够。2、炉体闭合。3、电源通电。仪表设定至工艺温度。4、抽真空。先开机械泵，再缓慢开蝶阀至最大。5、真空度到十数帕斯卡。可以停一个泵。并将阀门调小调至合适位置。6、合高压。（电压电位器在零位置）通冷却水。电阻档位为打弧档位。打弧档位电阻值加较大，通过的电流小，

2、升温当阻值较小，通过的电流大。打弧档位的电流一般为额定电流的四分之一左右。7、缓慢调节电位器至一定位置，至炉内起辉。炉内工件清理打弧工作。不可使炉内打弧剧烈。8、初始阶段，电压约为300伏左右。9、根据炉内情况，调节电位器。不可使炉内打弧剧烈。10、随着时间的延长，炉内弧光点减少。然后再逐步增加一点电压，弧光点增多。反复此过程。4北京西城南菜园乙15号电话/传真010-635450504北京电炉厂11、根据炉内状态，边调电压，边打弧。温度也逐步提高。12、当电压逐步提高至600伏左右，可以少量通气。通气后，电压有一定下降，电流有一定增加。而炉内出

3、现打弧过程。13、在反复调节电压，逐步调节通气量。此清理打弧阶段时间，一般在数个小时。打弧比较剧烈时，档位为打弧档。当弧光较小后，电流增大后，应换电阻档位为升温档位。14、炉内温度升至350度左右，炉内弧光极少。15、炉内辉光稳定。调节阀门位置，按工艺调节合适的气体流量，观察辉光厚度。接近工艺温度时升温速度应为每分钟1度。16、工件升温到达工艺温度，进入保温阶段。（在达到工艺温度前，应确定工艺温度准确）。注意，因氮化炉的特点造成工件温度与仪表显示温度有差别。17、保温时间到，结束工作。电位器调至零位，断高压。关闭气体。开阀门，将炉内真空尽量抽高，

4、工件随炉冷却。先关闭阀门，再关闭真空泵。18、炉内温度降至180度左右。19、关闭冷却水。20、炉体放气，出炉。三、注意事项：1、热电偶不得碰撞，否则要损坏元件及仪表。2、工作中严禁触摸阴极，以免触电。4北京西城南菜园乙15号电话/传真010-635450504北京电炉厂3、开炉过程中，如发现连续在固定点出现弧光时，需停炉检查零件质量或是否有其它原因，切勿勉强工作。北京电炉厂2014年4北京西城南菜园乙15号电话/传真010-63545050