Dss炉使用说明书

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1、1.1安全标志以下这些安全标志能够清楚的告诉你设备对你存在的潜在危险，对此操作人员以及维修安装人员应充分理解每一个标志的危险或警告的严重性。表1安全标志及其意义危险危险，如果不注意可能会导致死亡或者严重的伤害。警告潜在的危险，如果不注意可能会导致严重的后果。注意危险，如果不注意可能会导致中等程度的伤害。1.2安全保护规定操作人员在打开或者维修设备时都必须遵守安全预防规则和本章节里所有安全说明。在操作之前必须注意以下几点，避免遭受伤害，如需要应协同他人一起处理紧急问题。1）在工作时，维修人员必须穿戴维修专用服装，穿上绝缘性比较好的橡胶鞋，以防与大地导通2）在周

2、围有通电导线的场所或者有高压设备的地方工作，应确认操作步骤是否符合要求。3）维修人员禁止佩戴一些饰品，特别是那些金属饰品，以防意外接触电路和接通导体电流。447）不能想当然的做一些没有根据事实的操作，任何事情都必须在有依据的情况下进行操作，当问题无法解决时，应向相关技术人员咨询怎样处理。5）断开设备保护时，相关人员都应明白为何断开，明白其原因和断开后的后果。6）炉子装有防爆装置，在炉子的顶部和侧面都有相应减压防爆装置。1.3氩气保护炉子在运行情况下的气体模式下，氩气是一直供应的，为了炉子能够正常工作，氩气必须有保障性的提供，当出现管道泄露或者一些其他情况时，

3、应避免强大的气流对人体造成的伤害。1.4压缩空气保护压缩空气为本台设备正常工作时的必备气体，主要应用于一些气动阀门的开启和关闭，突然强大的气压或飞溅的碎片会损害操作人员的眼睛或耳膜。1）只有会使用压缩空气设备的人方可操作压缩空气设备。2）更换与压缩空气相关的部件是应关闭压缩空气阀门，以防造成没有必有的损失。3）具体注意点和操作方法参见压缩空气提供商手册。1.5炉子在上升下降腔室时，严禁用手扶碰下腔室，防止在下降过程中腔室摆动，影响丝杠性能，以及对人危险。1.6当硅锭从炉子内拿出时应戴防护眼睛，防止在急冷情况下，石英碎片会飞溅入人的眼睛。如下图471.7热区检

4、查炉子在运行之前要进行对热区的检查，热场的螺母是否松动，隔热层与加热器之间的绝缘性应大于2千欧以上，加热电极上的陶瓷片是否碎掉，如碎掉应立即更换。防止出现热场短路或打火现象。如下图所示47检查螺母松紧测热场电阻分析其绝缘性47检查陶瓷片1.8安装坩埚护板螺母应用相同力，旋紧时往回旋半圈。使之达到平衡，防止加热期间出现力的不平衡，导致坩埚裂掉，且护板与坩埚间留有一定的空隙。1.9断水保护该报警分两级，水流不足为黄色报警（报警值），断水为红色报警（临界值）。出现断水情况，立刻检查断水原因，采取措施，如果是冷却水源出问题，应采取备用措施，确保冷却水的正常运行。1.

5、10硅液溢流保护当炉子出现硅液溢流报警时，复位不成功后，炉子会在从报警开始30S之后就会进入急停，此时如果复位不成功，操作人员可以直接进入急冷，不需要等待30S之后。硅液溢流属于危险报警，每个操作人员应该明白其后果，以及学会如何采取措施。471.11真空泵出现问题应急措施炉子在整个运行期间,机械泵是一直在运行的,通过机械泵的运行对炉子内压力按工艺来进行控制。如果在运行期间泵组出现异常,可手动进入手动界面,关闭进出气阀门,使炉子得以保压。本章节介绍了北京京运通科技有限公司JZ-460型多晶硅铸锭炉，操作人员必须仔细阅读和理解这些知识方可操作此设备，避免发生误操

6、作。2JZ—460型多晶铸锭炉概述2.1工作原理和设备硬件。2.1.1JZ—460型多晶铸锭炉工作原理JZ—460型多晶铸锭炉能生产460KG，优质的多晶硅锭，本设备的生产量很大，能在60个小时的时间内生产出合格的硅锭。设备操作简单，直观的界面，给操作人员节省很多时间来处理设备的运行情况，从而极大的提高了生产效率，节约了成本。JZ—460型多晶铸锭炉使用高纯度的内涂氮化硅的石英坩埚，运行过程中，通过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而从下往上定向长晶，在整个长晶过程中只有隔热层一个部件在运动，大大减少了故障的发生，从而提高了炉子的稳定性能。2.1.2JZ

7、-460型多晶炉的系统硬件1）炉体上腔室如一个倒扣的钟固定在三个支架上，上下腔室由三个丝杠连接。软轴驱动使3个丝杠作同步运动，通过电机驱动，打开或关闭下腔室，这样可以将坩埚装入加热区和取出长好的硅锭。上腔室顶部有与挠性驱动软轴相连的3个直线单元，能够上下移动隔热层以便控制硅锭的长晶过程。47由两个电容压力传感器测量压力，利用一个质量流量控制器和其相连的阀门控制长晶循环相应的阶段里传送的氩气。后支架的两个水冷管将冷却水分配给腔室，电极，和真空泵。在长晶阶段，大量的水直接流向下腔室，以便吸收辐射的热量。2）加热系统加热系统由五面加热，加热板之间由石墨连接板相连，

8、形成一个稳定加热区，隔热层保证加热区的温度，它由石墨