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1、DSS炉的操作新余学院XingyuCollege毕业设计(论文)(2011届)题目DSS炉的操作学号姓名所属系太阳能科学与工程系专业材料工程技术班级08材料工程班指导教师熊明辉老师2011年5月28日新余学院教务处制21DSS炉的操作目录摘要I第一章多晶硅锭的制备原理及工艺II1.1多晶硅的兴起51.2硅锭的制备方法61.3定向凝固法铸造多晶硅的原理71.4多晶硅铸锭工艺8第二章热场102.1定向凝固铸造多晶硅过程中的热传输112.2多晶硅铸锭的减压工艺12第三章加热器的优化133.1加热方式分析133.2加热器
2、材料的分析及结构选择143.2.1加热器材料选择143.2.2加热器结构选择14第四章隔热屏的研究174、1隔热屏材料的分析及选择174、2隔热屏的结构设计18第五章结论与展望19参考文献2021DSS炉的操作DSS炉的操作摘要热场是指多晶硅铸锭炉加热系统中的温度分布,它对多晶硅晶体的生长至关重要:晶体的冷却过程、固液界面的形状、晶体中的热应力分布等都是由生长过程中晶体中的温度场和温度梯度分布所决定的,因此,本文对多晶硅铸锭炉的热场进行了重点研究。主要研究工作如下:1.研究了多晶硅的制备工艺和多晶硅铸锭炉的工作原
3、理。2.研究了热场、温度梯度、固液界面对多晶硅的影响及解决方案。同时对热场中的加热器进行了优化设计,确定了加热器的材料与结构形状。提出了隔热屏的解决方案,对隔热屏的选材及结构进行了分析。关键词:多晶硅铸锭炉;热场;温度梯度;优化设计21DSS炉的操作ABSTRACTSThermalfieldreferstothetemperaturedistributionoftheheatingsystemforthepolycrystallinesiliconingotproductionfurnace.Itisvitalt
4、othegrowthofpolycrystallinesiliconcrystals.TheCrystalcoolingprocess,theshapeofsolid-liquidinterface,thethermalstressdistributionofcrystalandsofortharealldeterminatedbythethermalfieldandtemperaturegradientduringcrystalgrowthprocess.Therefore,thethesisputtheemp
5、hasisonthethermalfieldisstudyofthepolycrystallinesiliconingotproductionfurnace.Themainachievementsinthethesisareasfollows:1.Preparationofthepolysiliconandpolysiliconingotfurnaceworks.2.Theheattransferandthedecompressionwerestudiedduringthedirectionalsolidific
6、ationofthepolycrystallinesiliconingotproductionfurnaceOptimizationdesignwasputforwardforthethermalfieldisheater.Theheaterismaterial、thestructureshapeweredetermined.Atthesametime,Thetechnicalsolutionoftheheatshieldwasproposed.Theheatshieldismaterialandconfigur
7、ationwasanalyzed.Configurationformandgeometrydimensionofthevacuumheatingchamberwasresearched.thetemperaturedistributionofthecrystalandmeltingrowthprocesswasdiscussed.Andthetemperaturefieldofthesolid-liquidinterfacewasstudied.Asystematictheoreticalanalysis.Key
8、words:polycrystallinesiliconingotfurnace;Thermalfield;Temperaturegradient;Optimizationdesign.21DSS炉的操作第一章多晶硅锭的制备原理及工艺1.1多晶硅的兴起直到20世纪90年代,太阳能光伏工业还是主要建立在单晶硅的基础上。虽然单晶硅太阳能电池的成本在不断下降,但是与常规电力相比
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