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1、1、请导出电子衍射的基本公式20很小,一般为1~2°=2sbi9••8(cos292、},即由dl查出{h.kjj,由d2查出{h2k2l2},依次类推。(4)测定各衍射斑点之间的夹角。(5)决定离开中心斑点最近衍射斑点的指数。若K最短,则相应斑点的指数应为{hklj面族中的一个。对于h、k、1三个指数中有两个相等的晶面族(例如{112}),就有24种标法;两个指数相等、另一指数为0的晶面族(例如{110})有12种标法;三个指数相等的晶面族(如{111})有8种标法;两个指数为0的晶面族有6种标法,因此,第一个指数可以是等价晶面中的任意一个。(6)决定第二个斑点的指数。第二个斑点3、的指数不能任选,因为它和第1个斑点Z间的夹角必须符合夹角公式。对立方晶系而言,夹角公式为决定了两个斑点后,其它斑点可以根据矢量运算求得即h3=h]+h2k3=ki+k2L3=L】+L2根据晶带定律求零层倒易截面的法线方向,即晶带轴的指数.1^*1=xj3.电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途?答:主要有六种:1)背散射电子:能量高;來自样品表面几百nm深度范围;其产额随原子序数增大而增多•用作形貌分析、成分分析以及结构分析。2)二次电子:能量较低;來自表层5-1Onm深度范围4、;对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析•主要用于分析样品表面形貌。3)吸收电了:其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电了的衬度互补。吸收电子能产生原子序数衬度,即可用來进行定性的微区成分分析.4)透射电子:透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定•可进行微区成分分析。5)特征X射线:用特征值进行成分分析,來自样品较深的区域6)俄歇电子:各元素的俄歇电子能量值很低;來自样品表ifu'l-2nm范围。它适合做表面分析。4、波谱仪和能谱仪的优缺点优点:1)能谱仪探测X射线的效率5、高。2)在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数,在几分钟内可得到定性分析结果,而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。3)结构简单,稳定性和重现性都很好4)不必聚焦,对样品表面无特殊要求,适于粗糙表面分析。缺点:1)分辨率低.2)能谱仪只能分析原子序数大于11的元素;而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。3)能谱仪的Si(IJ)探头必须保持在低温态,因此必须时时用液氮冷却5、举例说明电子探针的三种工作方式(点、线、面)在显微成分分析中的应用。答:(1).定点分析:将电子束6、固定在要分析的微区上用波谱仪分析时,改变分光晶体和探测器的位置,即可得到分析点的X射线谱线;用能谱仪分析时,几分钟内即可直接从荧光屏(或计算机)上得到微区内全部元索的谱线。(2).线分析:将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X射线信号(波长或能量)的位置把电子束沿着指定的方向作直线轨迹扫描,便可得到这一•元索沿直线的浓度分布情况。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。(3)•面分析:电了束在样品表面作光栅扫描,将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X射线信号(波长或能量)的位置,此时7、,在荧光屏上得到该元素的而分布图像。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。也是用X射线调制图像的方法。6、画图说明衍衬成像原理,并说明什么是明场像、暗场像和中心暗场像明场成像:只让屮心透射束穿过物镜光栏形成的衍衬像称为明场镜。暗场成像:只让某一衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为暗场像。屮心暗场像:入射电子束相对衍射品而倾斜角,此时衍射斑将移到透镜的屮心位置,该衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为中心暗场成像。7、二次电子像和背散射电子像在显示表面形貌衬度时有何相同与不同之处?说明二次电子像衬度形成原8、理。答:二次电了像:1)凸岀的尖棱,小粒子以及比较陡的斜而处SE产额较多,在荧光屏上这部分的亮度较大。2)平而上的SE产额较小,亮度较低。3)在深的凹槽底部尽管能产生较多二次电子,使其不易被控制到,因此相应衬度也较暗。背散射电子像1)用BE进行形貌分析时,其分辨率远比SE像低。2)BE能量高,以直线轨迹逸出样品表而,对丁背向检测器的样品表而,因检测器无法收集到BE9、佃变成一片阴影,因此,其图彖衬度很强,衬度太大会失去细节的层次,不利于分析。因此,BE形貌分析效果远不及SE,故一般不
2、},即由dl查出{h.kjj,由d2查出{h2k2l2},依次类推。(4)测定各衍射斑点之间的夹角。(5)决定离开中心斑点最近衍射斑点的指数。若K最短,则相应斑点的指数应为{hklj面族中的一个。对于h、k、1三个指数中有两个相等的晶面族(例如{112}),就有24种标法;两个指数相等、另一指数为0的晶面族(例如{110})有12种标法;三个指数相等的晶面族(如{111})有8种标法;两个指数为0的晶面族有6种标法,因此,第一个指数可以是等价晶面中的任意一个。(6)决定第二个斑点的指数。第二个斑点
3、的指数不能任选,因为它和第1个斑点Z间的夹角必须符合夹角公式。对立方晶系而言,夹角公式为决定了两个斑点后,其它斑点可以根据矢量运算求得即h3=h]+h2k3=ki+k2L3=L】+L2根据晶带定律求零层倒易截面的法线方向,即晶带轴的指数.1^*1=xj3.电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途?答:主要有六种:1)背散射电子:能量高;來自样品表面几百nm深度范围;其产额随原子序数增大而增多•用作形貌分析、成分分析以及结构分析。2)二次电子:能量较低;來自表层5-1Onm深度范围
4、;对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析•主要用于分析样品表面形貌。3)吸收电了:其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电了的衬度互补。吸收电子能产生原子序数衬度,即可用來进行定性的微区成分分析.4)透射电子:透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定•可进行微区成分分析。5)特征X射线:用特征值进行成分分析,來自样品较深的区域6)俄歇电子:各元素的俄歇电子能量值很低;來自样品表ifu'l-2nm范围。它适合做表面分析。4、波谱仪和能谱仪的优缺点优点:1)能谱仪探测X射线的效率
5、高。2)在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数,在几分钟内可得到定性分析结果,而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。3)结构简单,稳定性和重现性都很好4)不必聚焦,对样品表面无特殊要求,适于粗糙表面分析。缺点:1)分辨率低.2)能谱仪只能分析原子序数大于11的元素;而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。3)能谱仪的Si(IJ)探头必须保持在低温态,因此必须时时用液氮冷却5、举例说明电子探针的三种工作方式(点、线、面)在显微成分分析中的应用。答:(1).定点分析:将电子束
6、固定在要分析的微区上用波谱仪分析时,改变分光晶体和探测器的位置,即可得到分析点的X射线谱线;用能谱仪分析时,几分钟内即可直接从荧光屏(或计算机)上得到微区内全部元索的谱线。(2).线分析:将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X射线信号(波长或能量)的位置把电子束沿着指定的方向作直线轨迹扫描,便可得到这一•元索沿直线的浓度分布情况。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。(3)•面分析:电了束在样品表面作光栅扫描,将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X射线信号(波长或能量)的位置,此时
7、,在荧光屏上得到该元素的而分布图像。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。也是用X射线调制图像的方法。6、画图说明衍衬成像原理,并说明什么是明场像、暗场像和中心暗场像明场成像:只让屮心透射束穿过物镜光栏形成的衍衬像称为明场镜。暗场成像:只让某一衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为暗场像。屮心暗场像:入射电子束相对衍射品而倾斜角,此时衍射斑将移到透镜的屮心位置,该衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为中心暗场成像。7、二次电子像和背散射电子像在显示表面形貌衬度时有何相同与不同之处?说明二次电子像衬度形成原
8、理。答:二次电了像:1)凸岀的尖棱,小粒子以及比较陡的斜而处SE产额较多,在荧光屏上这部分的亮度较大。2)平而上的SE产额较小,亮度较低。3)在深的凹槽底部尽管能产生较多二次电子,使其不易被控制到,因此相应衬度也较暗。背散射电子像1)用BE进行形貌分析时,其分辨率远比SE像低。2)BE能量高,以直线轨迹逸出样品表而,对丁背向检测器的样品表而,因检测器无法收集到BE
9、佃变成一片阴影,因此,其图彖衬度很强,衬度太大会失去细节的层次,不利于分析。因此,BE形貌分析效果远不及SE,故一般不
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