阿尔卡特中文说明书

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1、ADP/ADS系列2干泵使用说明书阿尔卡特高真空技术有限公司作为阿尔卡特集团的一部分，多年来一直为全球客户提供真空泵，检漏仪，真空计以及微加工系统等。由于产品非常齐全，阿尔卡特高真空技术有限公司在各个行业都成为了非常重要的供应商，这些行业包括：仪器仪表，研发，一般工业和半导体等。阿尔卡特高真空技术使用Adixen这个新品牌作为公司形象，在真空行业中占据其国际性重要地位。我们法国公司分别通过了ISO9001和ISO14001认证，提供专业的服务和支持，同时Adixen产品具备最高的质量并符合环境标准。阿尔卡特高真空技术有限公司拥有超过40年的经验，如今已成为一家全球性公司，在全球

2、都拥有他的网络，包括在各地都有非常有经验的全职子公司，经销商以及代理等。阿尔卡特高真空技术有限公司首先是在30年前在美国的Hingham-MA也建立了阿尔卡特产品中心，如今已经在美国的Fremont(CA)和Tempe(AZ)更增加了2个子公司。在欧洲，阿尔卡特（法国）总部以及3个子公司，阿尔卡特（德国），阿尔卡特技术（英国）（位于苏格兰）再加上阿尔卡特系统（意大利）共同构成了整个欧洲网络。在亚洲，我们在1993年成立了阿尔卡特真空技术（日本）并在1995年设立了阿尔卡特真空技术（韩国）。随后，在2001年成立了阿尔卡特真空技术（台湾），阿尔卡特真空技术（新加坡），并于2004

3、年成立了阿尔卡特高真空技术（上海）-中国公司。如今，阿尔卡特在全球各个地区共有超过40个代表处。因此，无论发生什么情况，阿尔卡特的用户总是能够得到我们的真空技术专家提供的最快捷的支持！尊敬的客户：非常感谢您购买了阿尔卡特的干泵，我们非常荣幸您能够成为我们众多客户中的一员。该产品得益于阿尔卡特多年以来在“半导体”工艺以及在干泵上的经验。为了能够确保您使用的干泵拥有最优的性能并使您满意，我们建议您能够在使用该泵之前详细阅读该使用说明书，尤其是关于安装和开机的章节。应用：òH型：针对非常苛刻的工艺òP型：针对中等工艺òLM型：针对干净的工艺优点：ò体积小，占地面积小ò使用成本低ò非常

4、高的性能（抽速以及极限压力）ò在苛刻环境下出色的运行效果ò易于一体化ò先进的监控功能（待机状态可减少N2的消耗量，断电保护）òSEMIS2-93标准的兼容性（可选）特性：ò多级罗茨技术ò水冷电机（高压/低压）ò排气口以及与各种接口位置可选在泵的上方或泵的背部ò阿尔卡特网络兼容性目录简介干泵的工作原理A10ADP/ADS系列2干泵的范围A20M4监控系统A30可选配置A40技术参数A50附件A60CE认证A70开机安全指导B00开箱/储藏B10真空泵的安装定位B20真空泵的加油B40冷却水路的连接B50不活泼气体吹扫的连接（N2接口）B60电气连接B70确认真空泵的转向B80真空

5、管路的连接B90J14远程控制接口的连接B100紧停接口的连接B110RS232或RS485接口的连接B120排气口加热带（附件）的安装B130运行运行模式C10进气口截止阀（附件）的使用C12M4监控系统的启动C20真空泵运行时M4监控系统的使用C30可选配置“断电保护”的使用C32M4监控系统的参数C40M4监控系统的功能表C50ADS602P和H型的水流量C60储存和读取真空泵的设置（M4监控系统）C70运输的M4监控系统设置C80串口连接的使用（M4监控系统）C90维护保养维护保养的安全指导D00基本的维护保养D10故障排除和诊断D31–D140维护保养的操作真空泵的放

6、油E10ADP/ADS标准大修前的操作E510–E560附录ADP/ADS的电路图（P/LM/H型）G10预示有潜在的危险，如果不避免的话，可能会造成轻度或中等的伤害。该标志也用来警告不安全的状况。预示有潜在的危险，如果不避免的话，可能会造成死亡或严重伤害。A10干泵的工作原理使潜在沉积物最小化的设计阿尔卡特干泵的设计可将潜在沉积物最小化：ò通过减小气体经过的中间腔的容积ò通过在泵的每一级进行N2吹扫从而稀释工艺气体（P和H型）ò通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺，从而限制气体在泵内的冷凝（P和H型）多级罗茨的工作原理ADP真空泵由5级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。压力较

7、低的三级罗茨称为“低压级”，而压力较高的两级称为“高压级”。真空泵的密封性（与周围环境之间）低压端的密封性真空泵低压端安装了用氟化脂润滑的球轴承。而在轴承的周围通过用中性气体的吹扫从而形成一个正压区。高压区和密封共同防止真空泵所抽气体向轴承端移动。对于带腐蚀性的工艺，轴承端的中性气体吹扫是必须的！高压端的密封性高压端轴承是用油润滑的。整个齿轮箱和高压级5之间是通过捕集阱和挡板共同密封的。1.高压级52.冷却板（捕集阱）3.冷却水4.高压级5的气体吹扫5.动态密封6.甩油盘7.齿轮箱8.挡板电