ITO靶材制备技术进展

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1、B60ITO靶材制备技术进展孙本双张红梅扈百直刘孝宁王东新刘秉宁（西北稀有金属材料研究院，国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心，宁夏石嘴山市753000）摘要：本文详细介绍了氧化铟锡（ITO）靶材的性能与应用，分析了国内外ITO靶材制备技术的发展，比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况，最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研发和生产进展。1、ITO靶材的性能及应用掺锡氧化铟（IndiumTinOxide,简称ITO）材料是一种n型半导体材料，该种材料包括ITO粉末、靶材、导电浆料及ITO透明导电薄膜。ITO粉末

2、是制备ITO靶材和导电浆料的原料，ITO靶材是磁控溅射制备ITO透明导电薄膜的原料。这种透明导电薄膜对可见光透过率>85％，红外光反射率达90%，且导电性好，有优良的化学稳定性、热稳定性和刻蚀性，是一种用途十分广泛的特种薄膜材料，主要用作透明电极。其主要应用分为：1、平板显示器（FPD）产业，如液晶162显示器（LCD）、薄膜晶体管显示器（TFT-LCD）、电激发光显示器（EL）、场发射显示器（FED）、电致有机发光平面显示器(OELD)、等离子显示器(PDP)等；2、光伏产业，如薄膜太阳能电池；3、功能性玻璃，如红外线反

3、射玻璃、抗紫外线玻璃如幕墙玻璃、飞机、汽车上的防雾挡风玻璃、光罩和玻璃型磁盘等三大领域（图1）。163图1ITO靶材的应用领域在LCD上的应用，如图2所示，其可形成电极，与液晶电极构成正负极以驱动液晶分子旋转，以呈现出不同的文字、图案与画面。ITO透明导电薄膜在显示器及光电产品的应用上，扮演着关键的角色。ITO靶材是LCD产业链的重要一环，是基本的配套材料。近年来随着平面显示器行业的蓬勃发展，对ITO靶材的需求也大大增长。因此无论是靶材生产商或使用者，都非常关注ITO靶材的动向，其后续发展更是值得观注的课题。图2ITO在T

4、FT-LCD的应用示例2、ITO靶材的市场需求及供应164随着中国经济的发展和全球产业分工的深化，日本、台湾地区、韩国的许多平板显示器制造企业都将他们的制造基地移到中国大陆。如液晶显示器制造巨头三星、LG-Philips、台湾的友达光电等已纷纷在中国内地建厂，未来中国大陆将成为全球最大的液晶显示器制造中心。同时中国许多本土企业也正规划或已经涉入TFT-LCD、OLED、LCDTV等产品的研究与制造。未来几年全世界LCD市场整体数量将以每年20%以上的速度增长，预计2007年将增至420亿美元，2010年LCD产值将超过80

5、0亿美元。ITO靶材作为制造LCD的三大关键材料之一，需求量也随之稳[1]定成长。2007年国内ITO靶材需求量约150吨，预计2010将超过500吨（表１）。2001年以前ITO靶材的用途主要以STN及彩色滤光片为主，其中用于TN-LCD约占9％,用于STN-LCD约占17％,PDP约占12％，TFT-LCD18％，CF36％，其他约5％。随着平板显示产业的迅速发展，今后将向TFT-LCD应用转移。表１当前国内ＴＦＴ－ＬＣＤ生产线建设情况公司名称地址投资技术开建量产规格产能（片状态备注/月）深圳汕尾3亿USDG2.520

6、052007.9400×30k规模生＜4寸液晶信利500mm产上海上海33亿RMBG4.520062008730×30k规模生＜4寸产品天马920mm产京东方成成都31亿RMBG4.520082009.10730×30k规模生液晶、笔记都920mm产本京东方光北京13.4亿USDG520032005.51200×100k规模生小尺寸液晶电科技1300mm产165上广电上海80亿RMBG5200220041200×90k规模生液晶显示、NEC1300mm产笔记本龙腾光电昆山7亿USDG5200420051200×30k规模生

7、液晶显示、1300mm产笔记本深超广电深圳15亿USDG5200620081200×60k+规模生液晶显示、1300mm30k产笔记本武汉天马武汉40亿RMBG4.520082010.12730×30k建设中＜15寸产品920mm成都天马成都30亿RMBG4.520082010730×30k建设中＜15寸产品920mm京东方合合肥175亿RMBG620092010.121500×90k建设中液晶电视肥1850mm中电熊猫南京138亿RMBG6200920111500×60+建设中液晶电视1850mm20k龙腾光电昆山8.7

8、亿USDG7.5200920111950×90k建设中液晶电视2250mm京东方北京280亿RMBG8.520092011.32200×90k建设中液晶电视2500mm龙飞光电昆山33亿USDG8.5200920112200×90k建设中液晶电视2500mm深圳华星深圳245亿RMBG8.52010.1