靶材就是高速荷能粒子轰击的目标汇报材料

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1、.靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。金属靶材一般是由高纯金属制成。高纯铝靶材就是工业上常用的耙材中的一种。对于金属靶材，一般要求表面需要数控加工，越光滑越好。溅镀后的模压盘片能够在播放器上读出，为确保读出信号的强度，需要溅镀金属层的反射率达到80％。靶材主要应用在ITO导电玻璃、DWDM（高密度多工分配器）、CD-R、CD-RW、DVD、EMI（抗电磁波干扰）、OLED、磁性材料、感测元件、压电材料、硬化膜、高温超导等产品上。靶材主要有金属类、合金类、氧化物类等等。目前靶材主要制造商包括有德国HERAEUS，占率达60%，

2、第二位是日商HITACHI占有率23%，第三位为光洋科占10%，第四位是日商Nikko占6﹪。溅镀靶材大厂PLANSEE至2010年于奥地利扩厂投资将达1亿欧元充份供应全球大尺寸TFT-LCD用靶材。目前，只有中国、美国、日本、德国和法国等少数国家具备制造溅射靶材的技术。因此在全球范围内靶格行业还在处于一种垄断性非常强的时期。   靶材的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。目前，高端的靶材朝超大尺寸方向发展，主要有以下两个原因：(1)因为一次溅

3、射镀膜过程所生产的器件数量，与靶材的尺寸成平方关系。因此，靶材愈大，器件生产的成本越低，产品竞争力越强。这是电子、平板显示器、太阳能电池板生产企业不断追求的目标。(2)由于单个平板显示器、太阳能电池板等面积越来越大，需要的靶材尺寸也越大，才能满足薄膜性能的均匀一致性。由于靶材尺寸越来越大，对靶材的生产设备、制备技术、靶材结构、及靶材性能要求也越来越高。如要求靶材的密度更高，成份更纯、结构均匀性更好等,资金投入也更大。因为溅射镀膜的过程中，致密度较小的溅射靶受轰击时，由于靶材内部孔隙内存在的气体突然释放，造成大尺寸的靶材颗粒或

4、微粒飞溅，或成膜之后膜材受二次电子轰击造成微粒飞溅。这些微粒的出现会降低器件中薄膜品质。如在VLSI制作工艺过程中，每150mm直径硅片所能允许的微粒数必须小于30个。因此大尺寸靶材的密度要求更高。同时，靶材溅射时，靶材中的原子最容易沿着密排面方向择优溅射出来，材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大。因此，对于大尺寸靶材，获得组织结构细腻、均匀性好的靶材结构对解决上述问题至关重要。但要在大尺寸靶材中获得这样优良组织结构，存在较大的难度，需要对以往的生产制备设备和技术进行改进。因此，超大尺寸靶材的生产实施，对于

5、提高我国的靶材制备水平，提高器件的质量和竞争力至关重要。   近年来我国电子信息产业飞速发展,集成电路、光盘及显示器生产线均有大量合资或独资企业出现,我国已逐渐成为了世界上薄膜靶材的最大需求地区之一。但迄今为止,日本和德国是世界上从事靶材生产的先进国家，中国大量高性能靶材仍从国外进口。由于国内靶材产业的滞后发展,目前中国靶材市场很大部分被国外公司占领。随着微电子等高科技产业的高速发展,中国的靶材市场将日益扩大,为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。...随着全世界平面显示器需求不断成长的趋势下，台湾的TFT-LCD平面显示

6、器产业经过过去几年之努力，已有不错之成绩；基本上，平面显示器在生产过程中有许多薄膜制程，相对的，相关溅镀靶材之需求也将随之成长。台湾在平面显示器的发展模式与过去之半导体代工产业雷同，都是以购买国外原物料、原设备开始发展，透过台湾良好之制程管理降低成本，才能在世界高科技产业舞台占有一席之地。然台湾之平面显示器产业历经过去一年来韩国产品不断降价之压力下，尽管出货量并未有大幅度的下滑，但在获利率方面已受到严重之压缩。其中最大的关键在于台湾在相关原材料产业之发展脚步上较日本、韩国为晚，相关重要零组件过度依赖日本。以平面显示器所必须使

7、用之氧化铟锡(ITO)溅镀靶为例，目前韩国及台湾仍以使用日本相关产品为主，而韩国三星公司即于2000年向日本住友公司技术引进其生产技术，建立一年产30吨之产线，以期降低对日本之依赖。本文即针对TFT-LCD平面显示器相关溅镀靶材需求、发展作一简单之介绍。平面显示器的发展趋势近几年来，台湾已逐渐成为世界3大平面显示器生产王国之一。根据日本电子及通讯工业技术协会(JapaneseElectronicsandInformationTechnologyIndustriesAssociation，JEITA)之统计及预测，CRT及其它

8、平面显示器(FlatpanelDisplay，FPD)在2000年分别有2.5兆及2.2～2.5兆日圆之市场；而到了2005年则将分别有2.8～3.0兆及5～7兆日圆之产值。届时，CRT显示器在产量上将小幅领先其它平面显示器，但产值将为其它平面显示器所超越。然而在2005年各类平面显示器中