TCAD+速成手册

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1、TCAD 速成手册第1章:简介该指南手册针对首次应用SILVACOTCAD软件的新用户。它旨在帮助新用户在几分钟时间内快速并成功安装和运行该软件。该指南也演示如何快速有效查看手册，查找仿真器中使用的所有参数的解释和定义。它也参照相应章节，来理解等式以及其使用的根本规则。关于进一步的阅读和参考，用户可参照SILVACO网站的技术支持部分，那里有丰富的技术材料和发表文献。第2章:快速入门2.1:DeckBuild运行时间环境窗口"DeckBuild"是富含多样特征的运行时间环境，它是快速熟悉SILVACO的TC

2、AD软件的关键。Deckbuild主要特征包括：自动创建输入文件、编辑现有输入文件，创建DOE，强大的参数提取程序和使得输入文件中的参数变量化。更重要的是，DeckBuild包含好几百个范例，涵盖多种电学、光学、磁力工艺类型，便于首次使用该工具的用户。使用入门用户可打开一个控制窗口，创建一个目录，用于保存该指南范例将创建的临时文件。例如，要创建或重新部署一个名为"tutorial,"的目录，在控制窗口键入：mkdirtutorialcdtutorial然后键入下列命令开启deckbuild运行环境：deck

3、build屏幕上将出现类似于图2.1的DeckBuild运行时间环境。GUI界面包括两部分：上部窗口显示当前输入文件，而下部显示运行输入文件时创建的输出。 图2.1DeckBuild运行时间界面GUI 2.2:载入和运行范例输入文件可以由用户创建或者从范例库中加载。为了熟悉软件语法，最好载入第一个实例中范例。要从deckbuild运行时间环境的GUI载入范例，可点击：MainControl...Examples(范例)...屏幕将弹出一个窗口显示一列47个类别的范例。图2.2显示首15个类型范例。要查看剩余

4、的类别，则使用窗口右侧的滑动条滚动选择。图2.2首15个类别的DeckBuild范例 只需双击该类别，即可查看每个类别的范例。如果双击首个类别"MOS1:MOSApplicationExamples，"则得到如图2.3显示的列表。该类别有15个范例。图2.3MOS应用范例列表 双击任何期望的范例，即可查看其解释。双击首个范例"NMOS:Id/VgsandThresholdVoltageExtraction"，可查看该范例的解释。结果如图2.4显示。滚动拉下窗口可浏览全部解释。图2.4范例描述窗口 为了在De

5、ckBuild运行环境中载入特定范例，点击"DeckBuild:Examples"窗口右上部的"LoadExample"按钮。DeckBuild主窗口如图2.5显示。图2.5DeckBuild已载入输入文件 按下"run"按钮即可运行范例。运行完成后，屏幕出现两个图。第一个为显示仿真过程中网路掺杂的彩色轮廓图，第二个则是简单的阈值电压Vg相对Id图。它们分别为如图2.6和图2.7所示。一旦选中"LoadExample"按钮，结构文件和线图既加载在当前工作目录中，因此不必运行仿真即可浏览结果。图2.6显示网路

6、掺杂的工艺仿真结构 图2.7显示Vg相对Id的器件仿真线图 2.3:查看结果SILVACO的浏览工具"TonyPlot"是一个功能丰富的绘图工具。该指南中仅介绍它的某些基本性能。当SILVACO的TCAD软件包中保存一个结构文件或一个线图时，创建结构文件或线图的所有参量将自动包含仅该文件，供绘图之用。例如在结构文件绘图中，如果想要绘制其他变量如"DonorConcentration",则如下点击：Plot...Display...Define...Contours...然后向下滚动选择"Quantity:"

7、方框，得到一组可绘制变量。如果按照该顺序执行，将出现两个另外的GUI显示，如图所示2.8。选择新的参量并点击"Apply"。图2.8选中可绘制变量的相关GUI 运行时常需要查看一个图表的"cutline"片断。这时，关闭其它相关绘图相关视窗，点击"OK,"然后返回主要视图和选择下列命令：Tools...Cutline...现在将使用默认"verticalcutline"方框，但在"cutline"GUI中也可以选择水平或交叉的cutline方框。返回主图，在cutline起点处点击并按住鼠标左键。竖向直拖动

8、鼠标，到cutline终点处松开鼠标。松开左键后，cutline图表将自动显示当前现实的参量的cutline。完成操作后点击cutline方框上的"OK"键。要在新cutline图上覆盖显示其他变量，则左击线图，使之变为当前视图（图表的白色边框表示它为激活现行图表）。然后点击：Plot...Display...来选择要覆盖在线图上的其它参量。例如，如果在线图上添加Arsenic,Boron和Phosphorus，