气囊式工具抛光新技术

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1、第!"卷第!期光学技术2345!"/35!#""$年%月&’()*+,(-*./)01-678#""$!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!文章编号：9""#:9%;#（#""$）"!:"!!!:"$气囊式工具抛光新技术"高波，谢大纲，姚英学，袁哲俊（哈尔滨工业大学机电学院，哈尔滨9%"""9）摘要：介绍了一种新型的光学加工技术———气囊式抛光。气囊为球形的柔性膜，外表面粘贴抛光模，内部充入低压气体。气囊具有可独立的控制变量：内部的压力、抛光接触区、进动运动、旋转速度。以)<’:#""型为例，介绍气囊抛光的

2、原理及其实用效果。研究和试验表明：气囊式抛光是一种实用、经济的高精度非球面抛光技术，有可能成为光学冷加工发展的一个主要方向。关键词：气囊式抛光；进动；抛光接触区；充气压力；中图分类号：(09=95>?;$；(@%;"59?9文献标识码：+!"#$"%&’()(*+(,-.))(’"$$((),(/0()12&1’*!"#$%，&’()*+,*-,，."#./-,+012，.3"4562+71-（ABC3343D6EBC7FGB747FH-4EBIJGB74-FKGFEEJGFK，.7JLGF)FMIGINIE3D(EBCF343K8，.7JLGF9%"""9，*CGF7）3-2$/.%$：+F

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4、DICEI3345+B:B3JHGFKI3ICE)<’:#""P34GMCGFKR7BCGFEI334，ICEPJGFBGP4E7FHPJ7BIGB74EDDEBI3DL7443FEIP34GMCGFKGMHEMBJGLEH5)IGMMC3OEHL8ICEJEME7JBC7FHEQPEJGREFIIC7IL7443FEII334P34GMCGFKGM7PJ7BIGB747FHEB3F3RGB74P34GMCGFKIEBCF343K83DCGKCPJEBGMG3F7FHP3MMGL48LEB3REM7R7GFHGJEBIG3F3D3PIGB74DGKNJGFKHESE43PREFI54"+#(/

5、52：L7443FEII334P34GMCGFK；PJEBEMMG3F；P34GMCGFKB3FI7BI7JE7；PJEMMNJGTEHPJEMM制光学表面（**&A）成型技术近年应用较普遍，国内6前言［#，!］外都有成功的经验，是一种有效的抛光方法。随着光电子技术的发展，在新型的具有高性能、在抛光工具上，学者们研究开发了利用各种材料和高精密、高集成的光电子系统中，采用光学玻璃和微原理的抛光新技术。晶玻璃等硬脆材料制造的非球面透镜的应用不断增在现有的抛光工艺中，由伦敦学院大学光学科多。众所周知，采用非球面透镜或反射镜有很多优学试验室和UEEV3有限公司于#"""年联合研究的点，不但使光学设备的

6、结构大为简化、重量减轻，而气囊式抛光技术［$，%］是一种富于竞争性的制造技且能大大提高其光学性能［9］。现在，在光学技术领术，有必要加以研究和应用。这里以)<’:#""型为域，广泛采用高精度低成本的非球面已成为势在必例，重点介绍抛光原理及其实用效果。笔者试作了行的发展趋势。但是这种非球面透镜，要求具有很试验装置，基于数控铣床的控制进行了气囊式抛光高的面形精度和超光滑的表面，因此高精度的镜面的初步试验，取得了高精度抛光的良好效果。抛光技术是必不可少的。7气囊式抛光原理在过去的几十年里，出现了许多抛光方法，如浮动抛光、磁性抛光、弹性溅射抛光、机械化学抛光、磁光学抛光是一个复杂的过程，影响因素很多。

7、流变抛光、离子束抛光、应力盘抛光、计算机控制小气囊式抛光采用了新颖的抛光气囊和独特的运动原工具抛光等等，以适应各种光学材料超高精度、超光理，这两种方法的结合应用，势必产生积极的影响。滑、无损伤的加工。但能用于光学玻璃非球面加工这里仅就气囊式抛光的特殊之处加以阐述，其内容的方法并不多。在各种自动抛光方法中，计算机控包括抛光气囊结构形式、运动方式、抛光接触区、充"收稿日期：#""!:";:#%；收到修