烧结炉与退火炉培训

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1、烧结炉与退火炉工艺技术部卢正险2007年8月8日7/21/2021P-主要内容一、基本知识二、COC量产烧结炉三、COC烧结工艺介绍四、COC退火工艺介绍P-基本知识P-基本知识－PDP用玻璃基板简介PDP应用的玻璃都是采用浮法工艺生产出来的。浮法就是在平板玻璃的生产过程中，熔融的玻璃液流漂浮在熔融的金属（一般采用锡）上生产的方法。当前的使用的玻璃基板都是形变较小的PD200（应变点达570℃，退火点达620℃）等高品质玻璃。浮法工艺示意图P-基本知识－烧结炉的作用烧结炉的温度要求很严格，在保温区内，样品有效面内的温度偏差小于±3℃。为了改善烧结炉

2、内的洁净度，炉内的传输机构由高铝陶瓷棍柱式替代了网带式，减少了传输部分带来的污染。此外，炉膛内壁均有耐热玻璃制作的内胆。另外，烧结炉使用了多路排气系统防止有机成分的燃烧不完全造成的炭化。印刷的样品只有经过烧结才能去除浆料中的有机载体，才能使低熔点玻璃粉熔化并粘住浆料中的固体成分。P-基本知识－扇形形变在连续式烧成炉中，由高温区到低温区，前边先冷却凝固，并带动后边凝固，逐级带动后边冷却，而形成“扇形形变”。因此烧结炉的徐冷部（600～350℃）采用间歇传送方式。玻璃弯曲P-设备的主要组成（1）炉体（2）装载部（3）加热器（4）温度控制系统（5）传送系

3、统（6）送气和排气系统（7）载板基本知识－烧结炉结构P-烧结炉可以是单层，双层，甚至是3层。目的是为了缩短节拍时间，减小炉子的长度。基本知识－烧结炉结构P-炉温曲线的第一个保温区为“脱气区”，目的是让浆料内部的有机载体稳定地挥发，这时的温度较低还没有达到低熔点玻璃粉熔融的温度，有利于降低浆料内部气泡的产生。同时该区加入一定流量的压缩空气，让载体迅速地离开炉内防止有机成分的燃烧不完全造成的炭化。脱气区基本知识－炉温曲线P-基本知识－炉温曲线保温区根据材料的配方选择合适的温度使浆料中的低熔点玻璃粉稳定融化并粘结浆料中固体成份。由于有机载体在脱气区已挥发

4、完毕，为了保证较高的温度均匀性，该区不需要额外的供排气系统。间歇区为了防止玻璃基板出现扇形形变，选择整个玻璃基板同时降温。P-基本知识－退火炉的作用作用：减少玻璃基板在高温烧结时的变形量。玻璃在生产、加工、储存和运输等过程中均可造成玻璃内部的应力集中，因此，在彩色PDP基板玻璃还没有涂敷任何涂层前，应对该基板玻璃以较高温度退火（该退火温度要比以后PDP任何涂层的烧结温度都高），使得PDP在退火时将因应力的原因使玻璃易发生变形的地方在涂敷前充分变形，这样在以后较低的烧结温度下玻璃变形将大大减小。P-COC量产用烧结炉P-COC量产用烧结炉－目的烧结炉

5、用于PDP中国量产线烧结工艺，以印刷/干燥工艺结束后的基板表面形成的材料为目标的温度进行加热、排气从而完全消除Binder均匀的烧结。烧结炉退火炉退火处理炉为了FHD生产，在烧结工艺前对玻璃面板提前进行高温处理，使得烧结工艺后面板的变形最小化。P-COC量产用烧结炉－玻璃基板尺寸玻璃基板尺寸42〞×850〞×6前玻璃基板（mm）1964*2252*2.8/1.82328*1950*2.8/1.8后玻璃基板（mm）1926*2328*2.8/1.82288*2010*2.8/1.8P-COC量产用烧结炉－设备清单设备名称数量Layer备注Pre-An

6、nealingFurnace_F14Total：8台Pre-AnnealingFurnace_R14BS&BUSElectodeFiringFurnace13FrontDielectricFiringFurnace13AddressElectrodeFiringFurnace13RearDielectricFiringFurnace13BarrierRibFiringFurnace13Phosphor&SealLineFiringFurnace13P-COC量产用烧结炉－基本规格区分规格与内容备注制作数量8台退火处理炉:2台,烧结炉:6台结构烧结2

7、层，Ruturn1层退火处理炉:烧结3层,Return1层TactTime100Sec/SetterSetterSize2500mmW×2200mmL×5mmT单边方向进行温度Profile炉出口温度:60℃以下排气方式利用Fan直接排气有机排气炉体长度温度准于ProfileHeater电源1Φ380V50HzMotor电源3Φ220V50Hz控制及冷却Fan电源UPS(1Φ220V50Hz)COC提供Heater配置上部配置下部Heater必要时考虑T/C配置入口~2次维持区间:左,中(上),右冷却区间:左,中(上),右Setter间隙100mm

8、P-COC量产用烧结炉－烧结炉结构COC一期“烧结炉和退火炉”（共8台）选定的制造商为Hanwha公司，下面主要以Hanw