ICP等离子体仪器及原理介绍

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1、安捷伦电感耦合等离子体质谱仪（7700ICPMS）原理介绍安捷伦科技生命科学与化学分析仪器部TitleofPresentationDateAgilentRestrictedPage2ICP-MS简介ICP-MS全称电感耦合等离子体质谱（InductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometry），可分析几乎地球上所有元素（Li-U）ICP-MS技术是80年代发展起来的新的分析测试技术。它以将ICP的高温（8000K）电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的最强有力的元素分析、同位素分析和形态分析技术。该技术提供了极低的

2、检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特性。自1984年第一台商品仪器问世以来，这项技术已从最初在地质科学研究的应用迅速发展到广泛应用于环境保护、半导体、生物、医学、冶金、石油、核材料分析等领域。被称为当代分析技术最激动人心的发展。TitleofPresentationDateAgilentRestrictedPage3Agilent4500-#1sellingICP-MSworldwide1995-1998inclusive!!Source-Myers&AssocMarketStudy2/99等离子体色谱

3、软件Agilent4500SeriesAgilent7500SeriesShieldTorchInterface安捷伦ICPMS的发展历史1987年:第一代产品，第一台计算机控制ICPMS仪器，型号PMS-100。1988年：第二代产品，型号PMS-200,高基体分析接口。1990年：第三代产品，型号PMS-2000。技术发明：Omega离轴偏转透镜“被证明优于采用中心光子阻挡片的透镜"－《电感耦合等离子体质谱手册》1992年：发明专利屏敝炬系统（ShieldTorch）应用于半导体行业ppt级K,Ca,Fe等元素的测定1994年：第四代产品，型号HP4500。第

4、一台台式ICP-MS1998年：第五代产品，HP4500+；发明Plasma-Chrom软件，使ICPMS与色谱技术联用实现一体化，使形态分析成为标准技术1999年：HP4500按专业应用分为100型，200型，300型。2000年：第六代产品，Agilent7500系列,按专业应用区分：7500a：基本配置；7500i：快速、大量样品分析；7500s：半导体行业专用；2001年：第七代产品，Agilent7500c第一代八极杆反应池系统应用于环保、海水、临床、医药等高基体样品的分析及联用技术和形态分析2002年：第八代产品，Agilent7500cs，第二代八极

5、杆反应池系统应用于半导体高纯样品及其他高基体样品的分析2003年：第九代产品Agilent7500ce应用于海水、临床、医药、环保及联用技术和形态分析，高性能2007年：第十代产品Agilent7500cxHMI系统使仪器在高基体样品分析中更加稳定，高效2009Agilent7700seriesICP-MS上市TitleofPresentationDateAgilentRestrictedPage5ICP-MS的应用领域分布环境:49%饮用水、海水、环境水资源食品、卫生防疫、商检等土壤、污泥、固体废物生产过程QA/QC，质量控制烟草／酒类质量控制,鉴别真伪等Hg,

6、As,Pb,Sn等的价态形态分析半导体:33%高纯金属(电极)高纯试剂(酸,碱,有机)Si晶片的超痕量杂质光刻胶和清洗剂医药及生理分析6%头发、全血、血清、尿样、生物组织等医药研究，药品质量控制药理药效等的生物过程研究地质学:2%金属材料，合金等土壤、矿石、沉积物同位素比的研究激光熔蚀直接分析固体样品核工业:5%核燃料的分析放射性同位素的分析初级冷却水的污染分析化工，石化等:4%R&DQA/QC法医，公安等:1%射击残留物分析特征材料的定性来源分析毒性分析TitleofPresentationDateAgilentRestrictedPage6什么是ICP-MS?

7、ICP-InductivelyCoupledPlasma电感耦合等离子体质谱的高温离子源样品蒸发、解离、原子化、电离等过程MS-MassSpectrometer质谱四极杆快速扫描质谱仪通过高速顺序扫描分离测定所有元素高速双通道模式检测器对四极杆分离后的离子进行检测一种强有力的无机元素分析技术+ICP-MS的基本原理与Agilent7700介绍TitleofPresentationDateAgilentRestrictedPage7氩的第一电离能高于绝大多数元素的第一电离能(除He、F、Ne外)，且低于大多数元素的第二电离能(除Ca、Sr、Ba等)。因此，大多数元素

8、在氩气等离