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时间:2019-03-17
《纳米尺寸mgo薄膜制备及工艺参数对其沉积的影响研究》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、、.^扇::韓燃.、材纖‘净侄谦义锦當1証泰./—纳米尺寸O薄Mg膜制备及工芝參数其巧巧的J巧’:.一.--影响硏究:...心和..——;巧知:叫.逼繫'--^-..雖知V扣八隹.避薄譯旅編義-<'齡嫁知谴踞?封-、—犧藻終聲蔓磯讓I藏:―脊'续覇.葡廷*女-*?*--5表媒’,I^1;^*'‘.J--.'-‘'攜导教鄉姓名:;餐v;锦瓣萍教授东北林业大_y,f5,式另‘'’’'—?::.心.申请学位级额额圭.举科专化生物物理学导二叫—、:论文提交曰期;M6年4月论
2、文答銷日期2016表人;年6月7目苗-^v-"授予学位華位-.^1;东北林业大崇授f学位巧期:20化年6月>'巧違;—:阅-.斯-?谁文巧嚴掉苗該奪换:V為心'、.^’:V;.;,義聲;—絲祖杀如如担r麗讀学校代码:10225学号:S16028学化冷文纳米尺寸MgO薄膜制备及工艺参数对其沉巧的影响研究封敬艳指导教师姓名:韩亚萍教授东北林业大学申请学位级别;硕±学科专业:生物物理学论文提交日期:2016年4月论文答辩日期:20化年6月7日授予学位单位;东北林业大学授予学位日期
3、;2016年6月答辩委员会主席:论文评阅人:UniversityCode:10225RegisterCode:S16028Dissertationfor化eDegreeofMaster-ONanosizedMg則mPreparationand民esearchofParameterInfluenceontheDeositionpCandida化:JingyanFengSupervisor:ProfYapingHanAssocia化Suervisor;
4、pAcademicDereeAliedfor:MastergppSpeciality:BiohsicspyDa化ofOralExamination:June42016,Universit:NortheastForestrUniversityyy摘要摘要分析检测生物样品中所关注的物质是否存在、测定其中的成分含量、检测成分含量的变化、表征成分结构有多种手段。其中生物传感器具有高度的选择性、极高的灵敏度、响应快、样品用量少、体积小、准确度高等优点,已经被广泛的应用在医学、生物工程、食品工业
5、和环境污染物检测等领域。传统的生物传感器换能器的栅介质材料为Si〇2,随着生物传感器的发展,绝缘栅介质层等效厚度己减小到纳米量级,超薄的Si化作为栅介质材料导致换能器的稳定性和可靠程度降低,纳米尺寸的MgO薄膜具有良好的绝缘性、高的介电常数、价格低廉和多种制备方法等特点,具有替代Si〇2的可能。本文主要研究内容如下:-1、使用磁控繊射技术,在Si衬底上制备优良的纳米尺寸MgO薄膜。利用SGC10薄膜测厚仪对薄膜厚度进行精准测量。2、构建了磁控繊射法制备纳米MgO薄膜厚度分布的理论模型,推导出厚度分布方程,并W离散
6、值模拟出图像。同时我们也将实际测得的厚度值进行拟合,发现其与理论模型得到的结果符合的较好。结果表明,磁控漉射法制备的纳米MgO薄膜厚度不是完全均匀的,基片中也厚,向四周渐薄。3、首先,在理论上研究了王艺参数(瓣射能量、Ar气流量、帶基距、衬底湿度和较高的瓣射气压)对薄膜沉积速率的影响。然后通过实验分别改变瓣射气压、衬底温,计算了不同样品的沉积速率。结果表明繊射气压增大度制备了不同的MgO薄膜,沉积速率不断下降,衬底温度对沉积速率的影响不太明显。为磁控概射法制备优良的MO薄膜提供了参考。g关键词生物传感器;磁控繊射
7、;纳米MgO薄膜;膜厚分布模型;沉积速率--1AbstractAbsfradTherearevarietiesofmethodstodetecttheexistenceof泣substancein过biologicalsample,determinetheinredientsdetectthechaneofcomonentcontentandcharacterize化eg,gp,constituentstructure.Thebiosensorhasbee
8、nwidelaliedinmedicinebioloicalypp,gengineering,foodindustryanden
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