纳米尺寸mgo薄膜制备及工艺参数对其沉积的影响研究

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2、文答銷日期２０１６表人；年６月７目苗－＾ｖ－＂授予学位華位－．＾１；东北林业大崇授ｆ学位巧期：２０化年６月＞＇巧違；—：阅－．斯－？谁文巧嚴掉苗該奪换：Ｖ為心＇、．＾’：Ｖ；．；，義聲；—絲祖杀如如担ｒ麗讀学校代码：１０２２５学号：Ｓ１６０２８学化冷文纳米尺寸ＭｇＯ薄膜制备及工艺参数对其沉巧的影响研究封敬艳指导教师姓名：韩亚萍教授东北林业大学申请学位级别；硕±学科专业：生物物理学论文提交日期：２０１６年４月论文答辩日期：２０化年６月７日授予学位单位；东北林业大学授予学位日期

3、；２０１６年６月答辩委员会主席：论文评阅人：ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＣｏｄｅ：１０２２５ＲｅｇｉｓｔｅｒＣｏｄｅ：Ｓ１６０２８Ｄｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎｆｏｒ化ｅＤｅｇｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒ－ＯＮａｎｏｓｉｚｅｄＭｇ則ｍＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎａｎｄ民ｅｓｅａｒｃｈｏｆＰａｒａｍｅｔｅｒＩｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｔｈｅＤｅｏｓｉｔｉｏｎｐＣａｎｄｉｄａ化：ＪｉｎｇｙａｎＦｅｎｇＳｕｐｅｒｖｉｓｏｒ：ＰｒｏｆＹａｐｉｎｇＨａｎＡｓｓｏｃｉａ化Ｓｕｅｒｖｉｓｏｒ；

4、ｐＡｃａｄｅｍｉｃＤｅｒｅｅＡｌｉｅｄｆｏｒ：ＭａｓｔｅｒｇｐｐＳｐｅｃｉａｌｉｔｙ：ＢｉｏｈｓｉｃｓｐｙＤａ化ｏｆＯｒａｌＥｘａｍｉｎａｔｉｏｎ：Ｊｕｎｅ４２０１６，Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔ：ＮｏｒｔｈｅａｓｔＦｏｒｅｓｔｒＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｙｙ摘要摘要分析检测生物样品中所关注的物质是否存在、测定其中的成分含量、检测成分含量的变化、表征成分结构有多种手段。其中生物传感器具有高度的选择性、极高的灵敏度、响应快、样品用量少、体积小、准确度高等优点，已经被广泛的应用在医学、生物工程、食品工业

5、和环境污染物检测等领域。传统的生物传感器换能器的栅介质材料为Ｓｉ〇２，随着生物传感器的发展，绝缘栅介质层等效厚度己减小到纳米量级，超薄的Ｓｉ化作为栅介质材料导致换能器的稳定性和可靠程度降低，纳米尺寸的ＭｇＯ薄膜具有良好的绝缘性、高的介电常数、价格低廉和多种制备方法等特点，具有替代Ｓｉ〇２的可能。本文主要研究内容如下：－１、使用磁控繊射技术，在Ｓｉ衬底上制备优良的纳米尺寸ＭｇＯ薄膜。利用ＳＧＣ１０薄膜测厚仪对薄膜厚度进行精准测量。２、构建了磁控繊射法制备纳米ＭｇＯ薄膜厚度分布的理论模型，推导出厚度分布方程，并Ｗ离散

6、值模拟出图像。同时我们也将实际测得的厚度值进行拟合，发现其与理论模型得到的结果符合的较好。结果表明，磁控漉射法制备的纳米ＭｇＯ薄膜厚度不是完全均匀的，基片中也厚，向四周渐薄。３、首先，在理论上研究了王艺参数（瓣射能量、Ａｒ气流量、帶基距、衬底湿度和较高的瓣射气压）对薄膜沉积速率的影响。然后通过实验分别改变瓣射气压、衬底温，计算了不同样品的沉积速率。结果表明繊射气压增大度制备了不同的ＭｇＯ薄膜，沉积速率不断下降，衬底温度对沉积速率的影响不太明显。为磁控概射法制备优良的ＭＯ薄膜提供了参考。ｇ关键词生物传感器；磁控繊射

7、；纳米ＭｇＯ薄膜；膜厚分布模型；沉积速率－－１ＡｂｓｔｒａｃｔＡｂｓｆｒａｄＴｈｅｒｅａｒｅｖａｒｉｅｔｉｅｓｏｆｍｅｔｈｏｄｓｔｏｄｅｔｅｃｔｔｈｅｅｘｉｓｔｅｎｃｅｏｆ泣ｓｕｂｓｔａｎｃｅｉｎ过ｂｉｏｌｏｇｉｃａｌｓａｍｐｌｅ，ｄｅｔｅｒｍｉｎｅｔｈｅｉｎｒｅｄｉｅｎｔｓｄｅｔｅｃｔｔｈｅｃｈａｎｅｏｆｃｏｍｏｎｅｎｔｃｏｎｔｅｎｔａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅ化ｅｇ，ｇｐ，ｃｏｎｓｔｉｔｕｅｎｔｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｔｈｅｂｉｏｓｅｎｓｏｒｈａｓｂｅｅ

8、ｎｗｉｄｅｌａｌｉｅｄｉｎｍｅｄｉｃｉｎｅｂｉｏｌｏｉｃａｌｙｐｐ，ｇｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ｆｏｏｄｉｎｄｕｓｔｒｙａｎｄｅｎ