带形纳米压印光刻机的研究与开发

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1、分类号《TH703密级：硕士学位论文带形纳米压印光刻机的研究与开发学科专机械工程作者姓名：张寫饶播导教师：¥碰辦青岛理工大学二O—五年六月国内图书分类号：TH703国际图书分类号：硕士学位论文带型纳米压印光刻机的研究与开发硕士研究生：张富饶导师姓名：兰红波教授申请学位级别：工程硕士(全日制)学科、专业：机械工程所在单位：机械工程学院答辩日期：2015年06月学位授予单位：青岛理工大学ClassifiedIndex：TH703U.D.C：DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringResearchandDevelop

2、mentonBelt-typeNanoimprintLithographyToolCandidate:ZhangFuraoSupervisor:Prof.LanhongboAcademicDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpecialty:MechanicalengineeringDateofOralExamination:Jun,2015University:QingdaoTechnologicalUniversity本论文获下列项目资助青岛市创新领军人才（13-CX-18）III目录摘要.............

3、......................................................................................................IAbstract...................................................................................................................III第1章绪论...............................................

4、...........................................................11.1课题研究的背景及意义...........................................................................11.2纳米压印光刻技术的基本原理...............................................................31.3大面积纳米压印光刻技术国内外研究现状...............................

5、............51.3.1平压平纳米压印工艺.....................................................................51.3.2滚对滚纳米压印工艺.....................................................................91.3.3滚压平纳米压印工艺...................................................................121.3.4带型纳米压印工艺....

6、...................................................................141.4课题来源.................................................................................................151.5本文主要的研究内容.............................................................................151.5.1带型纳米压印光刻机的

7、总体分析...............................................161.5.2带型纳米压印填充机理..............................................................161.5.3带型软模具...................................................................................161.6本章小结...............................................

8、.................................