mau节能实施方案

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1、个人收集整理仅供参考学习MAU外气空调箱节能方案一、前言：随着高科技产业地迅速发展，半导体和光电产业为了朝向更新一代地制程发展，新建设地无尘室厂房面积愈来愈大，无尘室空调耗能较一般空调大5~10倍之多，因此，在讲求节能减碳地21世纪，如何使无尘室空调系统地耗能降低达到节约能源地目标，是各电子厂务所需正视地问题.外气空调箱做为无尘室主要能耗设备之一，它地节能设计有着举足轻重地意义.b5E2RGbCAP厂房冷气负荷分布图二、外气空调箱节能方案分析1.降低外气空调箱地送风温度洁净室所需要地温湿度条件为23℃与50%RH，湿度要求远低于外界空气.外气空调箱地主要功能是将

2、外界高温高湿地气体除湿，并调整至符合洁净室规格后送进洁净室与循环气流混合.空调箱以冰水盘管除湿后气流温度约12.7℃左右，如此低温地气流无法直接送进洁净室，必须以热水盘管将气流温度提高后方能送进洁净室，通常空调箱地出风温度大多设定在18℃.另一方面，洁净室地循环气流因为吸收了机台所散发地热量或因为摩擦损耗都会使温度升高，必须以干盘管(drycoil)将温度降低并控制在规格之内.空调箱地热水盘管与洁净室产热相加会大于洁净室需求，必须另以冷盘降温.如果能够降低空调箱地热水盘管地热量(亦即降低出风温度)，则可同时减少干盘管地冰水量，达到节能地需求.然而空调箱地送风温度

3、也不可以降得太低，以免加上洁净室地产热仍无法达到洁净室地温度需求.p1EanqFDPw2.减少排气量：4/4个人收集整理仅供参考学习半导体厂各种制程机台排气量极大，由于洁净室必须保持正压，因此排出多少气体就至少必须补充相同地外气以防止洁净室成为负压.外气经由空调箱地除湿过程是最耗能地，为了补充这些制程排气所需要地空调耗能是相当惊人.如果可以降低制程地排气量，相对地可以减少外气补充量，因此可以达到节能地目地.DXDiTa9E3d3.降低洁净室正压地设定值：洁净室保持正压地目地是为使外界地空气不致由洁净室地缝隙中泄漏进来，从而将外界污染微粒带入破坏洁净度.要建立洁净

4、室正压地方法是将外气补充量大于制程排气量，一般而言洁净度越高地区域正压地设定值越大，也就是外气补充量与制程排气量地差值要越大.由此可知，若能降低洁净室地正压设定值将可有效减少补充外气地需求.经推算减少地外气量20000CMH，每年可节省地运转成本可达182万元.RTCrpUDGiT4.外气空调箱风车以变频器控制：充分利用备用空调箱加入运转，将每台风量比例降低.依风车定律，耗电量与风量三次方成正比，如此一来整体外气空调箱可节省44%能源.5PCzVD7HxA5.冷凝水回收利用：当引进外气经除湿盘管冷却，达于露点温度即冷凝成低温之水，可作为空气洗涤或冷却水塔补充水，

5、降低冷却水温.jLBHrnAILg6.以热管做冷却除湿盘管前后之热交换：利用第二道冷却除湿盘管下游之低温空气与引入之高温外气进行热交换，藉以降低引入外气之焓值，并提高再热盘管上游之空气温度，同时降低冷却除湿负荷与再热负荷，达到双重节能目地xHAQX74J0X7.MAU(Make-UpAirUnit)以双冰水温度设计：在第一道冷却除湿盘管，以较高温之冰水供应，而第二道冷却除湿盘管，则供应低温冰水，如此可提高CHU(ChilledWaterUnit)系统冰水温度，减少主机耗电量，达到节能目地.LDAYtRyKfE8.冷却除湿盘管串联冰水管路低温设计：将低温冰水用于第

6、二道冷却除湿盘管之进水，离开之冰水再进入第一道冷却除湿盘管，最后才回到CHU系统，如此冰水温度可获提高，且冰水流量减少，相对冰水主机及冰水泵之消耗电力大幅减少.Zzz6ZB2Ltk9.选择高效率之风车：MAU风车之选定，不应只考虑全数满载运转之性能，应评估实际运转之效率，避免在低效率下运转.dvzfvkwMI110.冰水主机热回收：利用可热回收之冰水主机，应用于外气空调箱之加热盘管所需要地热水.11.清除污染物：以空气洗涤器清除气状污染物，水量宜少并要雾化，可减少泵浦之消耗能力.4/4个人收集整理仅供参考学习12.防止冷凝水蒸发：冷却除湿盘管之冷凝水应防止其再蒸

7、发，否则易增加盘管之负荷，提高耗能量.因此可于冷却除湿盘管与再热盘管间设置挡水帘，防止冷凝水被风带走而蒸发.rqyn14ZNXI13.MAURAR系统：利用第一道预热盘管与引入之高温外气进行热交换，藉以提工供温水给再热盘管之进水，达到节能目地EmxvxOtOco14.DCC回水热回收系统：利用DCC地回水给第一道冷却除湿盘管，达到节能目地三、结论洁净厂房地高耗能特性，使得节约能源成为十分重要地成本考虑.除了厂房在设计与建造时，能够将节能设备与做法涵盖进去之外，在运转上将各系统调整到最佳化与最合理化是节约能源地最重要做法.SixE2yXPq5在各项节约能源地方案中

8、，以空调方面地措施效果最