适用于极端环境的高精度压力传感器开发与标定

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1、万方数据第20卷第10期传感技术学报v01．20No．102007年10月。m】ouRNALoF啦““40AcTUAToR5o(了．2007DevelopingandCalibratingoftheHigllPrecisionPressureSensorAppliedinExtremeEnvironment’，mNGKnil，YE甄“哪i”g¨，CHENHnn91，LVR伽g噎“n2，ZHOUH“Ⅱi—wn93r1．ofzE矿o，觇嘟硎阳f蹦g舢一”g＆l”j￡M黼￡jfi删f}t勘吖抽g哳f撕H的，m碍如“310027

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3、istheappropriatematerialtodevelopsuchsensorforitshigh—temperatureandhigh_pressurere8istance，corrosionresistance，andhighyield．strength．Anewpressuresensorappliedtoextrerrleenvir0啪entwasdeveIoped．(乃mbinedstructureanddisk_shapediaphragmstlckingtechniquesaswellasnovel

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5、0】ⅥPa，400℃environment，andthepre—cisionwashnprovedto土O．2％FS“tercaIibratioILThenewsensorcouldmeetthecommandofhighpre—cisionpressuredetectinginextremeenvironfrle她Keywords：pressuresensoo；extremeen、，ironment；titanium；calIbrationEEACC：7230；7320V适用于极端环境的高精度压力传感器开发与标定。蒋凯

6、1，叶树明h，陈杭1，吕荣坤2，周怀阳3r1．浙江大学生物医学工程与仪器科学学院，杭州310027；、2．浙江大学力学实验教学中心，杭州310027；3．中科院广州地球化学研究所，广州510640摘要：设计一种可应用于高温高压、强腐蚀性环境的压力检测传感器，以满足极端环境科学研究的需求．利用可耐高温高压．抗腐蚀、具有高屈服强度的钛盒属作为传感器材料，采用组合式结构和特殊的圆膜片贴片与组桥技术，开发了适合于极端环境工作的钛压力传感器，并应用多维线性插值算法对传感器进行标定，以提高检测精度．实验检测结果表明，钍压力传感器在6

7、0MPa、400℃环境下的酸性或碱性溶液中都能正常工作，检测精度可以达到士o．2％Fs以内，满足极端环境高精度压力检测需求．关键词：压力传感器；极端环境}钛金属；标定中图分类号：TP212．1文献标识码：A文章编号：1004_1699(2007)10_2230．04现代海底热液系统的发现对地质学、地球化学和生命科学等一系列学科具有重大的意义[“，并引起了科学家们浓厚的兴趣，相关的研究产生了许多新的发现并对传统的理论进行了挑战‘2。“．对热液系统进行现场检测与试验模拟研究，是进行生物成矿作用、生命起源等科学问题研究必须采用

8、的方法．然而由于其处于深海极端环境的特殊性，对检测技术提出了极高的要求．热液系统的极端环境的特殊性基金项目：国家海底区域研究开发“十五”攻关资助项目(DYl05一03_0l一16)；国家自然科学基金仪器专项资助(40327001)收稿日期：2007一03—25修改日期：2007_05—22万方数据第10期蒋凯，叶树明