基于印刷电子工艺的声表面波滤波器的研究

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1、分类号：密级：天津理工大学研究生学位论文基于印刷电子工艺的声表面波滤波器的研究(申请硕士学位)学科专业：微电子学与固体电子学研究方向：电路与系统作者姓名：黄媛昕指导教师：滕建辅教授2014年06月ThesisSubmittedtoTianjinUniversityofTechnologyfortheMaster’SDegreeTheResearchofSurfaceAcoustic嘶iveFilterDesignedOnPrintedElectronicsTechnologyByHuangYuanxinSupervisorTengJianfuJune2014独创性声明本人声明所

2、呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得墨盗堡墨盘望或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名：签字日期：如14年6月5日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解墨盗墨墨盘望有关保留、使用学位论文的规定。特授权墨盗墨墨太堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编，以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送

3、交论文的复本和电子文件。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)学位论文作者签名：导师签名：缛艄签字日期：沙脚年6月箩日签字日期：锄(中年厂月亍日摘要声表面波(SAw)器件具有结构简单、应用范围广等特点，而其中的SAW滤波器(SAWF)由于具有良好的滤波性能，在电子信息领域巾得到了广泛的应用。目前SAW器件多采用集成电路工艺制作，虽然能够得到线条精细的电路，但其生产过程巾涉及的工艺流程复杂且设备造价昂贵，因此如何实现大规模低成本地生产SAWF具有重大的现实意义。本文创新性地将印刷电子(PE)技术应用于SAWF的制备，既简化了操作流程，又大幅降低了设备成本，同时生产过程不会产生废

4、水废气，从根本上解决了微电子工艺存在的问题。在将PE技术用于SAWF制备的过程中，除却需要在理论上证明其可行性，同时还需对其进行进一步改善。本文从SAWF的相关原理入手，研究了其主要构成——叉指换能器(IDT)的结构和特性。文中依据实验室内PE设备可实现的线条精度对SAWF进行设计，并进行了理论计算，然后分别通过仿真和实验来验证该新方法的可行性，并总结可改善的方面。期间所获取的数据同时也能够有效服务于之后基于PE工艺进行大规模SAW器件的生产。本文研究内容如下：首先，本文在充分调研SAW技术和PE技术的国内外研究现状的基础上，提出将将PE工艺用于SAW器件的制备。其次，本文立足

5、于SAWF的基本理论，结合PE设备的加工精度，设计出适于PE技术的SAWF的版图，并选择适当的基材，进行仿真研究。最后，本文对PE工艺所制成的SAWF进行实验测量，并与仿真数据进行对比，以验证本文所提出工艺的可行性。并通过对比仿真和实验测量的结果，总结出影响实验结果的可能因素，为之后的研究打下基础。本文的主要创新点在于：1．将PE工艺创新性地应用于SAW器件的制作。由于该方法在理论上还存在大量的研究空白，因此本文的研究具有较重大的理论意义和研究价值。2．文中提出的制备方法与传统微电子工艺相比，工艺流程简单、设备和生产成本低廉、不产生废液、废气等有害物质，且适于大规模生产，具有良

6、好的应用前景和经济价值。关键词：声表面波；声表面波滤波器；印刷电子技术；叉指换能器；AbstractSurfaceacousticwave(SAW)devicehasasimples缸uctIlreandawiderangeofapplications．DuetoSAWfilter(SAWF)hasgoodcharacteristics，whichhasbeenwidelyappliedinthefieldofelectronicinformation．Currently,SAWdevicemostlyproducedbyintegratedcircuit．ItCanprodu

7、cethefinelinecircuit．However,theprocessinvolvescomplexoperationsandrequiresexpensiveequipment．Therefore，SAWdevicewithlow—costinlargescaleproductionhasgreatrealisticsignificance．ThispapercreativelypreparedSAWfilterwithPrintedElectronics(PE)technolog