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《高频声表面波滤波器的纳米压印技术制备的研究（可编辑）》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、高频声表面波滤波器的纳米压印技术制备的研究华中科技大学硕士学位论文高频声表面波滤波器的纳米压印技术制备研究姓名:张晓庆申请学位级别:硕士专业:物理电子学指导教师:徐智谋2011-01-041华中科技大学硕士学位论文摘要随着通信系统向高频率和高比特速率的发展,对声表面波(SAW)器件的频率要求也越高,GHz范围的高频SAW器件研究是目前的热点。SAW器件向高频化发展,主要由两方面决定:一是器件的叉指换能器线条向更微细化方向发展,二是器件材料的SAW声速向更高方向发展。器件线条的微细化可以直接提高器件的工作频率,利用纳米压印技术可以实现低成本的
2、,纳米级微细线条的制备。本论文研究基于纳米压印技术的高频声表面波滤波器的制备。介绍了声表面波技术背景,概述了叉指换能器、声表面波滤波器的基本理论,并详细推导了叉指换能器的δ模型和等效电路。阐述了带通声表面波滤波器的主要设计方法,比较了各种窗口函数加权减低旁瓣的效果,选用汉明窗加权的变迹叉指换能器,设计出了中心频率为100MHz,带宽10MHz的SAW带通滤波器,并用MATLAB仿真了其频响。利用纳米压印技术对声表面波滤波器进行制备,获得了高频声表面波滤波器的制备工艺流程。实验获得了叉指电极的线条宽度为350nm,厚度30nm和200nm的刻
3、蚀结果,刻蚀的结果用场扫面电子显微镜(SEM)观测,表面平滑,线条完好,没有发生连指断指等情况,取得了比较好的效果。为下一步研制出高频SAW滤波器器件打下了基础。关键词:声表面波滤波器叉指换能器纳米压印I2华中科技大学硕士学位论文AbstractAstheresultofdevelopmenttobehigh-frequencyandhigh-bit-rate,thecommunicationsystemrequireshigherandhigherfrequencyofSAWsurfaceacousticwavedevicesTheref
4、ore,SAWdevicesofGHzhighfrequencyhavebecomethecurrenthotspotsinstudyToincreasingthefrequencyofSAWdevices,therearetwodirections:first,maketheinterdigitaltransducerfingermoredetailed,thesecondistolookingforsubstratematerialswithahigherSAWvelocity.Reducingtheinterdigitaltransd
5、ucerfingerwidthcanincreasetheoperatingfrequencyofSAWdevices,andusingnano-imprinttechnologycanobtainlow-cost,nano-levelfinelines.Inthisstudy,wediscussusingnano-imprinttechnologytopreparehigh-frequencySAWfilterThisthesisintroducedthebackgroundofSurfaceAcousticWaveTechnology,
6、outlinedthebasictheoryofinterdigitaltransducerIDTandsurfaceacousticwavefilter,anddetaileddeducedtheδmodelandequivalentcircuitmodelofinterdigitaltransducerExplainedthemaindesignmethodsofthehorizontalsurfaceacousticwavebandpassfilter,comparedtheweightedwindowfunctiontoreduce
7、thesidelobeeffect,comparedtheresultwhichusingdifferentwindowfunctionweightedinterdigitaltransducertoreducethesidelobe;useHammingwindowweightedapodizedinterdigitaltransducer,designedtheSAWbandpassfilterwithcenterfrequencyof100MHz,10MHzBandwidth,itsfrequencyresponsewassimula
8、tedbyMATLABDescribetheprocessofusingnanoimprinttechnologypreparedhigh-frequencySAWfilter.
