nisio2光衰减片制备及光衰减性能与机理研究

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1、工学硕士学位论文Ni／Si02光衰减片制备及光衰减性能与机理研究郝姗姗哈尔滨理工大学2014年03月国内图书分类号：TN214工学硕士学位论文Ni／Si02光衰减片制备及光衰减性能与机理研究硕士研究生：郝姗姗导师：汤卉申请学位级别：工学硕士学科、专业：材料学所在单位：材料科学与工程学院答辩日期：2014年03月授予学位单位：哈尔滨理工大学ClassifiedIndex：TN214IMIIIIIIIIMillUlIIIIIIY2509181DissertationfortheMasterDegreeofEnginee

2、ringPreparationandOpticalAttenuationPerformanceofCandidate：Supervisor：Ni／Si02OpticalAttenuationSliceHaoShanshanTangHuiAcademicDegreeAppliedfor：MasterofEngineeringMaterialScienceDateofOralExamination：March，2014University：HarbinUniversityofScienceandTechnology哈尔

3、滨理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：此处所提交的硕士学位论文((Ni／Si02光衰减片制备及光衰减性能与机理研究》，是本人在导师指导下，在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期间独立进行研究工作所取得的成果。据本人所知，论文中除已注明部分外不包含他人已发表或撰写过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。作者签名：赭加函时日期：弘f唯年≥月；7日哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书((Ni／Si02光衰减片制备及光衰减性能与机理研究》系本人在哈尔滨理

4、工大学攻读硕士学位期间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归哈尔滨理工大学所有，本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解哈尔滨理工大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学校保留并向有关部门提交论文和电子版本，允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨理工大学可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文，可以公布论文的全部或部分内容。本学位论文属于保密口，在年解密后适用授权书。不保密囹。(请在以上相应方框内打√)作者签名：耐缶盱厶丹导师签名：i而牟1日期："lolq．：e-岁月3f日日期：2。件年；月

5、；1日哈尔滨理T大学T学硕士学位论义Ni／Si02光衰减片制备及光衰减性能与机理研究摘要光纤通信是一种弱功率激励行为，为了使光功率控制在需要的范围内，通常采用光衰减器控制和平衡光功率。本论文的目的是制备光衰减器的核心元件一光衰减片。利用金属镍容易吸收通信波长的特性来消耗光能量使其衰减。本课题采用HDJ．800磁控溅射仪，选择不同的溅射功率(300W’400W，600W，1000W，2000W)、溅射气压(0．2Pa，0．4Pa，0．6Pa，0．8Pa，1．0Pa)、溅射时间(5min，10min，15min，20r

6、ain)工艺参数制备Ni／Si02玻璃光衰减片。借助SEM、XRD、原子力、体视显微镜、722分光光度计等分析手段对镀层组织结构、平整性及光衰减性能进行表征，系统地研究了工艺参数对Ni／Si02光衰减片的表面形貌、晶体结构、粗糙度以及对光衰减率的影响。实验结果表明：采用磁控溅射法制备的Ni膜致密、连续，光滑、纳米级(约30nml晶粒分布均匀，Ni膜与Si02玻璃基片不是简单的物理吸附，而是形成了Ni／si02复合薄膜，且与Si02基体的附着力好。经光衰减性能分析可知，不同工艺参数下，光衰减片的光衰减率不同，主要与N

7、i膜的平整度以及金属膜所含的杂质和内部缺陷有关。不同溅射气压下，溅射气压为0．4Pa时，光衰减率最大，为0．49；不同溅射功率下，溅射功率为600W时，光衰减率最大，为0．49：光衰减率随着溅射时间的增加而增加，溅射时间为20min时，光衰减率达到最大值为0．56。结论：当溅射功率为400W，溅射气压为0．4Pa，溅射时间20min时，制得的Ni／Si02光衰减片膜层平整性和组织结构较佳，且此工艺条件下，光衰减片的光衰减率也达到最大值为0．56。最后，采用SRIM软件对磁控溅射过程模拟，模拟了不同能量的氩离子入射镍

8、靶过程中的能量损失和射程、不同能量的氩离子撞击靶材后的位置分布状态。关键词光衰减片：磁控溅射；Ni／Si02复合薄膜：SRIM模拟哈尔滨理T大学T学硕士学位论义PreparationandOpticalAttenuationPerformanceofNi／Si02OpticalAttenuationSliceAbstractOpticalfibercommu