基于绿色镀膜技术制备金属%2fsio2i光衰减片是研究

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1、哈尔滨理工大学T学硕_i：学位论文基于绿色镀膜技术制备金属／Si02光衰减片研究摘要光衰减器是光纤通信中控制与平衡光功率的重要无源器件，在光纤通信系统中具有难以取代的位置，光衰减片是光衰减器的核心元件。本课题选用绿色镀膜技术之一的真空蒸发镀膜法制备金属／Si02光衰减片，该方法是适用性最强、应用最广泛、经济成本最低、绿色环保的最佳镀金属膜的镀膜方法。绿色镀膜技术是表面工程领域的新技术，能很好地解决可持续发展与环境污染的矛盾，在应用上有着传统电镀或化学镀无法比拟的优势。使用绿色镀膜技术制备光衰减片，可实现社会效益与经济效益的双赢。本课题采用电阻式蒸发源DM．300B型真

2、空镀膜机，保持真空度在1．3×1O。2Pa以上，选择不同的轰击电压、烘烤电压、旋转电压等工艺参数，制备铝、铜、铬、镍／Si02玻璃光衰减片。重点研究蒸镀的轰击电压、烘烤电压、旋转电压等工艺参数对光衰减片组织结构及性能的影响。并利用原子能谱仪(EDS)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段，研究了工艺参数对衰减片的膜层成分、薄膜表面与剖面结构的影响；利用72I型分光度计测试并研究金属类型及工艺参数对衰减片透光率性能影响。经对光衰减片的组织结构研究分析表明，采用真空蒸镀法制备的金属／Si02光衰减片薄膜致密、连续，纳米级颗粒分布均匀，膜厚为微米级，金属与

3、玻璃基片不是简单的物理吸附，而是化学吸附与物理接枝，形成了金属／Si02复合薄膜。通过对光衰减片的组织结构与透光率性能的进一步研究分析可知，铝与铬金属是最好的镀膜材料，蒸镀的铜膜不透光，可与纯玻璃片组合制备可调式光衰减器，金属镍不适合作为本研究的镀膜材料。实验结果表町：‘当轰击电压为175V、烘烤电压为160V时蒸镀铝膜，轰击电压为200V、烘烤电压为100V时蒸镀铜膜，轰击电压为210V、烘烤电压为120V时蒸镀铬膜，可得组织结构较佳、光衰减性能优良的光衰减片。关键词绿色镀膜技术；光衰减片；真空蒸镀法；透光率哈尔滨理丁火学工学硕l：学位论文ResearchonPre

4、parationofMetal／Si02OpticalAttenuationSlicebyGreenCoatingTechnologyAbstractOpticalattenuatoriSvitalpassivedevicetocentrelandbalanceluminouspowerwhichisreplacedhardlyinfiber—opticalcommunication．Opticalattenuationsliceiscorecomponentofopticalattenuator．Weadoptvaccumevaporationcoatingmeth

5、odwhichisoneofgreencoatingtechnologiesforpreparingMetal／Si02opticalattenuationsliceinthistopic，thismethodisusedwidely,whichisakindofmetaldepositionwithstrongestandmostextensiveapplicationofapplicability，lowestcostineconomyandgreen．Greencoatingisanewtechnologyinfieldofsurfaceengineeringa

6、ndsolvesthecontradictionofsustainabledevelopmentandenvironmentalpollution，inaddition，ithasthedominantpositionwithotherkindofelectrofacingandchemicalplatinginapplication．Preparingopticalattenuationslicewithgreencoatingtechnologycanachievewin．wineffectinbotheconomicreturnsandsocialeffects

7、．Inthisthesis，A1，Cu，CrandNiwerespreadedseparatelyonthesurfaceofSi02glasswithDM一300Bvacuumevaporationmachinebykeepingvaccumabove1．3x10～Pa，Differentbombardmentvoltage，bakevoltageandrotationalvoltagewerechosen．Organizationstructureandpropertyofopticalattenuationslicewereresearched