【硕士论文】_CMOS_集成电路片上静电放电防护器件的设计与分析.pdf

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1、目录目录摘要.......................................................................................................................................IABSTRACT.........................................................................................................

2、.....................II第一章引言............................................................................................................................11.1ESD简介..............................................................................................

3、............................11.2ESD测试方法..................................................................................................................21.2.1ZAPMASTER的ESD测试方法..............................................................................4

4、1.2.2TLP技术的ESD测试方法......................................................................................51.2.3ZAPMASTER测试与TLP测试的关联性..............................................................61.3ESD的TCAD仿真简介..............................................

5、...................................................61.3.1工艺仿真工具Tsuprem和器件仿真工具Medici简介...........................................71.3.2工艺器件仿真工具ISE-TCAD简介........................................................................71.3.3工艺器件仿真工具Silvaco-TCAD简介...

6、...............................................................71.4ESD防护器件简介..........................................................................................................81.4.1基于二极管的ESD防护器件......................................................

7、............................81.4.2基于场氧器件的ESD防护器件..............................................................................81.4.3基于MOS管的ESD防护器件................................................................................91.4.4基于SCR的ESD防护器件..........

8、.........................................................................101.5我的工作及其论文组织................................................................................................101.5.1我的工作....................