能新技术在电子工业中的应用

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1、节能新技术在电子工业中的应用（1）TFTLCD行业。TFTLCD是半导体技术和液晶光学技术相结合的新型显示技术。由于其均有重量轻、厚度簿、无辐射、低能耗，能够大规模集成电路直接驱动等优点，在平板显示技术中占据了主导地位，占全部平板显示产业产值的90%以上。TFTLCD产业为我国实现电子强国战略，为中国电子信息产业的发展提供了一个重大的机遇。下面介绍TFTLCD洁净室HVAC系统节能技术：1）洁净室HVAC系统的耗能特点。洁净室HVAC系统的能耗主要是空气系统及排风系统的输送能耗以及制冷系统的能耗，一般都是很大的，尤其是制冷系统。它主

2、要受生产工艺特点（工艺设备散发热、湿量及排风量等）、对洁净室的要求（洁净度，温、湿度参数及其精度等）以及规模等影响。2）洁净室HVAC系统的节能措施。a合理确定工艺的要求，优化生产并节能。应在优化生产基础上实现节能。对各工序，特别是主要耗能工序，优选工艺参数，加强监测控制，改进加工方法，降低能源消耗，预热、调试等引起的能量损耗，并充分利用已建立起的洁净和空调环境。主要工艺设备和动力设备采取自动化控制系统，提高其生产效率。严格控制工艺参数，提高成品率，保证生产线均衡生产，降低能源消耗。生产工艺清洗水应全部回收处理，并做到二次利用。工艺冷却水

3、应循环使用。b暖通空调节能措施。通风、空调设备选用节能设备。降温空调、净化空调系统均应采用自动控制，以利节能。空调房间围护结构采取保温措施，以降低能耗。新风采用集中处理的方式：送风采用MAU+FFU+DC(FCU)系统。新风空调机、接工艺设备的局部排风系统的风机均采用变频风机。c气体动力节能措施。采用高性能制冷机组能耗低，制冷机组自动控制水平较高，自动根据需要进行冷量调节、节省能耗。冷水供应分为低温和中温冷冻水供应系统，提高设备效率，降低电耗。纯水加热用热水采用热回收的方式获得，减少换热机组和蒸汽的使用，节约能耗，降低运行费用。换热器采

4、用板式换热器，换热效率高，对所有热设备及热管道需进行保温，选用导热系数低（λ≤0045W/m·k）、性价比合理的保温材料，满足节能的要求。蒸汽经换热后产生的冷凝水，考虑节水及回收热量，故将这部分冷凝水经凝结水回收装置加压，送至开发区供热外网。选用变频空压机，根据负荷调节排气量，有利于节能。真空设备配带换热器，冷冻水循环使用，节约用水。（2）微电子行业。通常以为微电子行业既然是高科技产业，一定是省能工业，事实上，微电子行业耗能相当大。从国外资料看，以8inFAB为例，工艺设备能耗大致占40%，洁净室空气控制、纯水制造、废水制造及电力能耗约占

5、60%。因此，节能的重点还是在后者，加强这方面节能降耗工作是非常必要的。1）洁净厂房控制节能。微电子行业的生产对于洁净室内温度、湿度以及冷冻的水温均有极为严格的要求。这就要求室内环境控制系统具备高精度与高稳定性。这里介绍楼宇自动控制系统在电子洁净厂房的节能应用。在电子净化厂房的空调自控系统中，经常出现这样的问题：通常点数较多，现场设备的输入输出信号种类也较多的情况；传统的DDC系统点数及输入输出端口都较固定，从而使得系统配置往往造成“某些点数不够，而某些点数过多”的矛盾；而且，一旦遇到系统需要扩充时，传统的DDC系统根本无法满足要求。楼宇自

6、动控制系统从配置上很好地避免了上述弊端，使得各个端口都能被利用上，而且当某种点位的数量特别多时，还可以只增加该种点位，而不必浪费其他点位。这样就可以有效地降低成本，同时也节省了安装空间。a楼宇自控系统具有对电子净化厂房的空调风、水等系统进行实时监测与控制功能：冰水主机冷冻水供回水温度监测；冰水主机冷却水供回水温度监测；冷冻水循环泵状态监测；冷却水循环泵状态监测；二次冷冻水循环泵状态监测；二次冷冻水温度控制；新风空调箱出风温度、湿度控制；洁净室内温度、湿度、静压控制；洁净空气循环空调箱出口温度控制。b楼宇自控系统的优点在于：系统稳定、可靠

7、：运用“功能分散，风险分散”的设计理念，每个模块都有独立的电源和独立的处理器，确保一个模块的故障不会影响到其他模块正常运行。每个I/O通道都采用独立光电隔离，使得外界干扰不会对I/O模块产生影响。可扩展性强：采取积木化设计，系统组成灵活、方便，具有可扩展性。多种先进网络通讯技术综合运用：具有电流环总线通讯方式、CAN总线通讯方式、以太网通讯方式等多种通讯方式，适应于不同的现场需求。高兼容性：系统的数字量输入通道通过跳线，可以支持触点型、集电极开路型、电压开关型和电流开关型多种输入方式；模拟量输入通道通过跳线可以支持电压0～10V、电压0～5

8、V、电流0～20mA等多种输入方式；同一模块可以简单地实现与所有变送器的连接。调试方便：该系统支持模块带电插拔，所有模块均可带电插拔，单个模块出现故障不会影响到其他模块正常工作；